실리콘 나노선 제조 방법
    23.
    发明授权
    실리콘 나노선 제조 방법 有权
    制造硅纳米管的方法

    公开(公告)号:KR101172358B1

    公开(公告)日:2012-08-14

    申请号:KR1020100020115

    申请日:2010-03-05

    Abstract: 유도 결합형 플라즈마의 반응성 이온 식각 장비를 이용한 원스톱 공정에 의한 하향식 실리콘 나노선 제조 방법이 개시된다. 상기 실리콘 나노선 제조 방법은 포토리소그래피 공정을 통해 기판의 소자 형성층에 포토레지스트 선 패턴을 형성하는 단계, 상기 포토레지스트 선 패턴의 크기 축소화를 통해 나노미터 선폭의 포토레지스트 선 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 나노미터 선폭의 포토레지스트 선 패턴을 마스크층으로 하여 상기 소자 형성층으로 실리콘 나노선을 형성하는 단계를 포함한다.

    실리콘 나노선 제조 방법
    24.
    发明公开
    실리콘 나노선 제조 방법 有权
    制造硅纳米管的方法

    公开(公告)号:KR1020110100993A

    公开(公告)日:2011-09-15

    申请号:KR1020100020115

    申请日:2010-03-05

    CPC classification number: B82B3/0095 B82Y40/00 G03F7/0002

    Abstract: 유도 결합형 플라즈마의 반응성 이온 식각 장비를 이용한 원스톱 공정에 의한 하향식 실리콘 나노선 제조 방법이 개시된다. 상기 실리콘 나노선 제조 방법은 포토리소그래피 공정을 통해 기판의 소자 형성층에 포토레지스트 선 패턴을 형성하는 단계, 상기 포토레지스트 선 패턴의 크기 축소화를 통해 나노미터 선폭의 포토레지스트 선 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 나노미터 선폭의 포토레지스트 선 패턴을 마스크층으로 하여 상기 소자 형성층으로 실리콘 나노선을 형성하는 단계를 포함한다.

    유연성을 갖는 뼈 고정용 고강도 생분해성 고분자 소재 및그의 제조방법
    25.
    发明授权
    유연성을 갖는 뼈 고정용 고강도 생분해성 고분자 소재 및그의 제조방법 有权
    用于固定骨的生物可降解聚合物材料具有高柔性和强度及其制备方法

    公开(公告)号:KR100772966B1

    公开(公告)日:2007-11-02

    申请号:KR1020060049711

    申请日:2006-06-02

    CPC classification number: A61F2/2803 A61L27/18 A61L27/365 A61L2300/604

    Abstract: A biodegradable polymer material for fixing bone and a method for manufacturing the same are provided to improve crystallizing degree and orientating property of PLCL copolymer, to minimize molecular weight loss by thermal decomposition of polymer, and to allow flexibility and high strength. A method for manufacturing a biodegradable polymer material for fixing bone including the steps of: manufacturing PLCL copolymer with an average molecular weight more than 100,000 Da by polymerizing PLLA AND PCL; cooling the manufactured PLCL copolymer after vacuum compression shaping; pressing out the above product; and performing thermal fixation of the above product.

    Abstract translation: 提供了用于固定骨的可生物降解的聚合物材料及其制造方法,以改善PLCL共聚物的结晶度和取向性能,通过聚合物的热分解使分子量损失最小化,并且允许柔软性和高强度。 一种用于制造用于固定骨的可生物降解的聚合物材料的方法,包括以下步骤:通过聚合PLLA和PCL制备平均分子量大于100,000Da的PLCL共聚物; 在真空压缩成型后冷却制造的PLCL共聚物; 压出上述产品; 并进行上述产品的热固定。

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