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公开(公告)号：KR101321051B1
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：KR1020120046652
申请日：2012-05-03
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: PURPOSE: A biopsy needle having multiple micro cutting edges and an inner cannula manufacturing method of the same are provided to form a cutting edge having multiple micro edges in the front end of an inner cannula, thereby reducing the penetration power when the inner cannula penetrates through tissue. CONSTITUTION: An inner cannula (110) has a tissue sampling groove for tissue sampling. An outer cannula (120) moves on the outer circumference of the inner cannula to cut out tissue. The inner cannula comprises a body part (111), a first incline (112), second and third inclines (113,114), and multiple micro cutting edges. The first incline is formed to be sloped at a fixed angle in the front end of the body part. Multiple micro dimples (140,150) are respectively formed on the first incline and the outer circumference of the body part by surface texturing.
Abstract translation: 目的：提供具有多个微切削刃的活检针及其内套管制造方法，以形成在内套管的前端具有多个微边缘的切割刃，从而当内套管穿透时减少穿透力 组织。 构成：内套管（110）具有用于组织取样的组织采样槽。 外套管（120）在内套管的外圆周上移动以切除组织。 内套管包括主体部分（111），第一倾斜部（112），第二和第三倾斜部（113,114）以及多个微切削刃。 第一斜面形成为在主体部的前端以固定角度倾斜。 多个微凹坑（140,150）分别通过表面纹理形成在主体部分的第一斜面和外周上。
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公开(公告)号：KR1020130094976A
公开(公告)日：2013-08-27
申请号：KR1020120016303
申请日：2012-02-17
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L51/56
CPC classification number: H01L51/56 , H01L2251/568
Abstract: PURPOSE: A non-thermal repair method of an active matrix organic light emitting diode (AMOLED) using an ultrashort pulse laser and a device thereof remove foreign substances and repair various defects by appropriately controlling a laser characteristic condition. CONSTITUTION: A laser light source (110) generates ultrashort pulse laser light. A lens unit (120) irradiates a laser with a set process condition to a processed part of a processed target (500). A stage (130) moves in three directions including X, Y, Z axes, and the processed target is laid on the stage. A photographing unit (140) obtains image information by photographing the processed part of the processed target. A control unit (150) controls the three-axis movement of the stage by using the obtained image information.
Abstract translation: 目的：使用超短脉冲激光器的有源矩阵有机发光二极管（AMOLED）的非热修复方法及其装置通过适当地控制激光特性条件来除去异物并修复各种缺陷。 构成：激光源（110）产生超短脉冲激光。 透镜单元（120）将具有设定的处理条件的激光照射到被处理目标（500）的处理部分。 舞台（130）在包括X，Y，Z轴的三个方向上移动，并且处理的目标被放置在舞台上。 拍摄单元（140）通过拍摄被处理目标的处理部分来获得图像信息。 控制单元（150）通过使用获得的图像信息来控制舞台的三轴移动。
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公开(公告)号：KR101136536B1
公开(公告)日：2012-04-17
申请号：KR1020100060416
申请日：2010-06-25
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , H01L21/312
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치는 코팅 대상물이 설치될 수 있도록 내부 공간을 갖는 진공 챔버와, 상기 코팅 대상물의 일측 단부를 지지하는 지그와 상기 지그와 연결 설치되며 진공 챔버에 대하여 회전 가능하게 설치된 제1 내부 마그네틱판과, 상기 진공 챔버의 벽면을 사이에 두고 상기 제1 내부 마그네틱판과 과 대향 배치된 제1 외부 마그네틱판과, 상기 제1 외부 마그네틱판으로 회전력을 전달하는 회전부재와, 상기 코팅 대상물로 코팅하고자 하는 물질을 공급하는 타겟을 포함하고, 상기 제1 외부 마그네틱판과 상기 제1 내부 마그네틱판에는 서로 다른 극성을 갖는 자석이 상기 제1 외부 마그네틱판과 상기 제1 내부 마그네틱판의 둘레 방향을 따라 교대로 배열될 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020120000201A
公开(公告)日：2012-01-02
申请号：KR1020100060416
申请日：2010-06-25
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , H01L21/312
CPC classification number: H01L21/0274 , G03F7/162 , G03F7/164 , H01L21/312
Abstract: PURPOSE: A coating apparatus using a magnet is provided to minimize power loss by transferring power in a contactless mode. CONSTITUTION: A vacuum chamber(12) has an internal space to arrange a coating object. Jigs(22,23) support the end portion of one side of the coating object. A first inside magnetic plate(25) is arranged to be rotatable to the vacuum chamber. A first outer magnetic plate(32) is placed to face the first inside magnetic plate. A rotating member(31) transfers torque to the first outer magnetic plate.
Abstract translation: 目的：提供使用磁体的涂布装置，以通过以非接触模式传递电力来最小化功率损失。 构成：真空室（12）具有内部空间以布置涂覆物体。 夹具（22,23）支撑涂层物体一侧的端部。 第一内部磁性板（25）布置成可旋转到真空室。 第一外部磁性板（32）被放置成面对第一内部磁性板。 旋转构件（31）将扭矩传递到第一外部磁性板。
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公开(公告)号：KR1020110124478A
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：KR1020100043865
申请日：2010-05-11
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for processing a color shape inside a transparent material are provided to improve the visibility of a processed transparent material by easily processing a three-dimensional color shape inside the transparent material. CONSTITUTION: An apparatus for processing a color shape inside a transparent material comprises a plate(5), a laser irradiation unit(10), an optical lens(30), and a controller(50). A transparent material(G) is placed on the plate. The laser irradiation unit is separated from one side of the transparent material and irradiates a microwave laser(L) toward the transparent material. The optical lens sets a focus on the transparent material by collecting the irradiated laser. The controller ascends and descends the plate depending on a set three-dimensional color shape and controls the output of the laser irradiation unit.
Abstract translation: 目的：提供一种用于处理透明材料内的彩色形状的装置和方法，以通过容易地处理透明材料内部的三维彩色形状来提高经处理的透明材料的可视性。 构成：用于处理透明材料内的彩色形状的装置包括板（5），激光照射单元（10），光学透镜（30）和控制器（50）。 将透明材料（G）放置在板上。 激光照射单元从透明材料的一侧分离，并将微波激光（L）照射到透明材料。 光学透镜通过收集照射的激光来对透明材料进行聚焦。 控制器根据设定的三维颜色形状上升和下降板，并控制激光照射单元的输出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101049381B1
公开(公告)日：2011-07-15
申请号：KR1020090026302
申请日：2009-03-27
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 레이저 가공 시 초음파를 사용하여 가공 대상물 또는 집광렌즈를 진동시킴으로써 가공 품질을 향상시키는, 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치는, 펄스형 레이저를 발생시키는 레이저 발생부(10); 상기 레이저 발생부(10)에서 발생된 레이저의 경로를 스테이지(40) 상에 놓여진 대상물(200)을 향하도록 변경하는 편광판(20); 상기 편광판(20)으로부터 반사된 레이저를 집광하여 상기 대상물(200)을 향해 조사하는 집광렌즈(30); 를 포함하여 이루어지는 레이저 가공 장치(100)에 있어서, 상기 레이저 발생부(10)로부터 상기 대상물(200)까지의 레이저 경로 길이의 연장 및 단축이 반복적으로 이루어지도록 초음파 진동을 발생시키는 진동 발생부(50); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
레이저, 초음파 진동, 하이브리드 가공, 마이크로 홀(micro hole), 드릴링(drilling), 고세장비 (high aspect ratio), 가공 홀 내부면 평탄화, 펨토초 레이저(femtosecond laser), 레이저 정밀 가공(laser precision machining)Abstract translation: 本发明涉及通过超声波振动使用的混合激光加工装置，利用超声波振动的混合激光加工是本发明的一个目的是通过振动将被处理的对象或通过在激光处理期间使用超声波会聚透镜，以提高加工质量 它是一个设备来提供。
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公开(公告)号：KR100859819B1
公开(公告)日：2008-09-23
申请号：KR1020070032330
申请日：2007-04-02
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B23K26/0665 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/0624 , B23K26/40 , B23K2201/40 , B23K2203/50
Abstract: A machining apparatus using an ultrashort pulse laser is provided to machine a nano-structure in air by using the ultrashort pulse laser and a high magnification lens. A machining apparatus(400) using an ultrashort pulse laser comprises: a stage(431) on which a sample(445) as a machining object is installed; a transfer member(435) for transferring the stage; a front confocal microscope(470) installed on the stage; a front laser generating part(412) installed between the front confocal microscope and the stage to generate the ultrashort pulse laser; and a front high magnification lens(418) for condensing the laser(415) projected from the front laser generating part. The machining apparatus further comprises: a cantilevered nanoprobe microscopy(447) installed between the front high magnification lens and the stage; a rear confocal microscope(480) installed under the stage; a rear laser generating part(452) installed between the stage and the rear confocal microscope to project a laser(455) to a rear face of the stage; a rear high magnification lens(458) installed between the rear laser generating part and the stage; a CCD camera(421) installed between the front high magnification lens and the front laser generating part; and an illuminator(427) installed between the CCD camera and the front laser generating part.
Abstract translation: 提供使用超短脉冲激光器的加工装置，通过使用超短脉冲激光器和高倍率透镜来加工空气中的纳米结构。 使用超短脉冲激光器的加工装置（400）包括：安装作为加工对象的样品（445）的载物台（431） 用于传送舞台的转印部件（435） 安装在舞台上的前共聚焦显微镜（470） 安装在所述前共聚焦显微镜和所述台之间的前激光产生部分（412），以产生所述超短脉冲激光; 和用于聚焦从前激光产生部分投影的激光（415）的前高倍率透镜（418）。 所述加工装置还包括：安装在所述前高倍镜头和所述台之间的悬臂式纳米探针显微镜（447） 安装在舞台下面的后共聚焦显微镜（480） 背面激光产生部件（452），安装在所述平台和所述后共聚焦显微镜之间，以将激光器（455）投影到所述平台的后表面; 安装在后激光发生部和台之间的后置高倍镜头（458） 安装在前高倍率透镜和前激光产生部之间的CCD照相机（421）; 以及安装在CCD照相机和前端激光产生部件之间的照明器（427）。
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公开(公告)号：KR100631048B1
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：KR1020050026118
申请日：2005-03-29
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/042 , B23K26/00
Abstract: An automatic focusing equipment suitable for laser machining, an automatic focusing equipment for laser machining which can be used even when processing a transparent material and tracks a focus by a fast response when a sample moves, and an automatic focusing equipment for laser machining that is less influenced by an inclined sample are provided. As an automatic focusing equipment for laser machining apparatus in which the processing laser is controlled such that a focus of a processing laser is placed on a processing surface of a workpiece, the automatic focusing equipment comprises: a beam focusing part(50) having a condensing lens for focusing a processing laser beam; and a light emitting part(60) and a light receiving part(70) respectively connected to both sides of the beam focusing part, wherein the light emitting part comprises a light irradiation part(63) that irradiates a light for measurement, and a first lens(69) for focusing the light so that the light irradiated from the light irradiation part is irradiated onto a processing surface; the light receiving part comprises a photosensor(73), and a second lens(79) for focusing the light so that the light for measurement reflected from the processing surface is irradiated onto the photosensor; the light for measurement irradiated onto the processing surface from the light emitting part is inclined in such a manner that an irradiation direction of the light for measurement has an acute angle with respect to the processing surface; and the light emitting part further comprises a mask(64) or a concave lens installed between the light irradiation part and the first lens.
Abstract translation: 适用于激光加工的自动调焦设备，即使在加工透明材料时也能使用的激光加工自动调焦设备，并且在样品移动时通过快速响应跟踪焦点，以及用于激光加工的自动调焦设备少 受倾斜样品的影响。 作为对加工用激光进行控制以使加工用激光的焦点位于被加工物的加工面上的激光加工装置的自动调焦装置，该自动调焦装置具有：光束聚光部（50） 用于聚焦处理激光束的透镜; 和分别连接到所述光束聚焦部分的两侧的光发射部分（60）和光接收部分（70），其中所述光发射部分包括照射用于测量的光的光照射部分（63） 透镜（69），用于聚焦所述光，使得从所述光照射部照射的光照射到处理表面上; 光接收部分包括光传感器（73）和第二透镜（79），用于聚焦光，使得从处理表面反射的用于测量的光照射到光传感器上; 从发光部照射到处理用面上的测定用光以使测定用光的照射方向相对于处理用面成锐角的方式倾斜， 并且发光部分还包括安装在光照射部分和第一透镜之间的掩模（64）或凹透镜。
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公开(公告)号：KR100593841B1
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：KR1020040027527
申请日：2004-04-21
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 패터닝 장치에 관한 것으로서, 특히 레이저 패턴닝 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 레이저빔으로 가공물에 패턴을 형성하는 패터닝 장치에 있어서, 레이저빔을 생성하는 레이저 광원과, 선단이 상기 가공물에 근접하며 상기 선단에는 상기 레이저 광원에서 발생한 레이저빔의 파장보다 작은 직경의 개구부가 형성된 프로브와, 상기 프로브의 선단과 상기 가공물 사이의 거리에 따라 변하는 상기 프로브의 진동상태를 측정하는 진동감지기와, 상기 가공물 또는 프로브를 상기 프로브의 개구부로부터 조사되는 레이저빔에 대하여 대체로 수직인 방향을 따라 평면이동시키는 스캐너부와, 상기 프로브의 선단과 상기 가공물 사이의 거리가 일정하게 유지하도록 상기 진동감지기의 신호에 따라 상기 프로브 또는 가공물을 이동시키는 거리유지부를 포함하며, 상기 레이저 광원으로부터 전송된 레이저빔이 상기 프로브의 개구부를 지나 상기 가공물에 조사되는 레이저 패터닝 장치가 제공된다.
레이저, 패터닝, 근접장, 집광렌즈, 프로브, 광도파로, 튜닝포크, 광검출기Abstract translation: 激光图案形成装置技术领域本发明涉及图案形成装置，更具体地涉及激光图案形成装置。 根据本发明，提供了一种用激光束在工件上形成图案的图案形成装置，该图案形成装置包括：用于产生激光束的激光束源; 形成在探头的开口，并且通常相对于该激光束和一振动传感器，用于测量所述探针的振动状态而变化，根据前端和探头的工作之间的距离，被照射到工件或从探头的垂直开口中的探针 以及距离维持单元，用于根据振动传感器的信号移动探针或工件，以保持探针的尖端和工件之间的恒定距离， 透射的激光束通过探头 到被设置在工件的被照射通过弯曲的激光图案形成装置。
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公开(公告)号：KR1020050102733A
公开(公告)日：2005-10-27
申请号：KR1020040027527
申请日：2004-04-21
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/2053 , B82B3/0004 , B82Y5/00
Abstract: 본 발명은 패터닝 장치에 관한 것으로서, 특히 레이저 패턴닝 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 레이저빔으로 가공물에 패턴을 형성하는 패터닝 장치에 있어서, 레이저빔을 생성하는 레이저 광원과, 선단이 상기 가공물에 근접하며 상기 선단에는 상기 레이저 광원에서 발생한 레이저빔의 파장보다 작은 직경의 개구부가 형성된 프로브와, 상기 프로브의 선단과 상기 가공물 사이의 거리에 따라 변하는 상기 프로브의 진동상태를 측정하는 진동감지기와, 상기 가공물 또는 프로브를 상기 프로브의 개구부로부터 조사되는 레이저빔에 대하여 대체로 수직인 방향을 따라 평면이동시키는 스캐너부와, 상기 프로브의 선단과 상기 가공물 사이의 거리가 일정하게 유지하도록 상기 진동감지기의 신호에 따라 상기 프로브 또는 가공물을 이동시키는 거리유지부를 포함하며, 상기 레이저 광원으로부터 전송된 레이저빔이 상기 프로브의 � �구부를 지나 상기 가공물에 조사되는 레이저 패터닝 장치가 제공된다.
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