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公开(公告)号：KR1020060044235A
公开(公告)日：2006-05-16
申请号：KR1020040092088
申请日：2004-11-11
Applicant: 한국기계연구원
IPC: C12Q1/68
CPC classification number: C40B40/06 , C12Q1/6806
Abstract: 본 발명에 의하면, 레이저빔으로 마이크로 어레이 패턴을 형성하는 방법으로서, 레이저빔의 파장보다 작은 직경의 개구부가 형성된 선단을 구비하는 프로브의 상기 개구부를 통해 레이저빔을 자기현상(self-developing)이 가능한 시료로 조사하는 단계와, 상기 레이저빔의 조사를 중지하는 단계와, 상기 시료 또는 프로브를 상기 프로브의 개구부로부터 조사되는 레이저빔에 대하여 대체로 수직인 방향을 따라 평면이동시킨 후 레이저빔을 상기 시료에 다시 조사하는 단계를 포함한다.
마이크로 어레이 패턴, 레이저, 근접장, 바이오칩, 자기현상-
公开(公告)号：KR102212422B1
公开(公告)日：2021-02-04
申请号：KR1020190027613
申请日：2019-03-11
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/20 , H01L23/00 , H01L21/768 , H01L29/16
Abstract: 본발명의일 실시예에따른광 유도전사방법은전사기판위에희생층을형성하는단계, 상기희생층위에전사층을형성하는단계, 상기전사기판의배면에광을조사하여상기전사층을상기전사기판과마주하는대향기판에전사시키는단계를포함하고, 상기희생층은그래핀을포함한다.
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公开(公告)号：KR101954697B1
公开(公告)日：2019-03-06
申请号：KR1020160094266
申请日：2016-07-25
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/062 , B23K26/064 , B23K26/067 , B23K26/046 , B23K26/70
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公开(公告)号：KR101769550B1
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：KR1020150155727
申请日：2015-11-06
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/08 , B23K26/06 , B23K26/046 , B23K26/04 , B23K26/70
Abstract: 본발명은공정속도를향상시키고, 및오차를감소시킬수 있는 3차원레이저조사장치를제공한다. 본발명의일 측면에따른 3차원레이저조사장치는제1 지령주기로이동이제어되는스테이지, 상기제1 지령주기보다더 짧은제2 지령주기로제어되어레이저빔을이동시키는스캐너, 상기제1 지령주기로상기스테이지의이동을제어하는제1 제어부, 상기스테이지의이동오차를측정하는오차측정부, 상기제2 지령주기로상기스캐너를제어하는제2 제어부, 및상기스테이지의이동오차를보상하도록상기스캐너의레이저조사경로를수정하는보상제어부를포함한다.
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公开(公告)号：KR101698448B1
公开(公告)日：2017-01-23
申请号：KR1020150058667
申请日：2015-04-27
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/762 , H01L21/268 , H01L21/28 , H01L21/768
Abstract: 본발명은더미기판을이용하여웨이퍼기판에형성된다수의소자를선택적으로박리하고, 박리된소자를유연기판으로선택적으로전사하는선택적박리및 전사장치에관한것으로서, 패터닝유닛과, 경화제분사유닛과, 실장및 경화유닛과, 보호필름도포유닛과, 드릴링유닛과, 전극연결유닛을포함한다. 패터닝유닛은도전성박막이형성된유연기판에레이저빔을조사하여전극라인및 소자가실장될실장위치를형성한다. 경화제분사유닛은레이저빔이조사되면경화되는경화제를실장위치에분사한다. 실장및 경화유닛은더미기판에부착된소자와실장위치를정렬하여소자를실장위치에실장하고, 경화제에레이저빔을조사하여소자를유연기판에고정시킨다. 보호필름도포유닛은소자및 유연기판의상면에보호필름을도포한다. 드릴링유닛은레이저빔을조사하여, 소자의제1전극부와, 전극라인중 제1전극부와전기적으로연결될제1전극라인과, 소자의제2전극부와, 전극라인중 제2전극부와전기적으로연결될제2전극라인상측의보호필름을관통하는관통홀을각각형성한다. 전극연결유닛은관통홀을통해제1전극부와제1전극라인을전기적으로연결하고, 관통홀을통해제2전극부와제2전극라인을전기적으로연결한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160139107A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：KR1020150072969
申请日：2015-05-26
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은튜브부재가공장치에관한것으로서, 와이어가공부와, 회전구동부와, 틸팅구동부와, 직선구동부를포함한다. 와이어가공부는튜브부재의단부를원하는형상으로가공하기위하여, 다수의롤러에의해회전하면서튜브부재와접촉하여튜브부재를가공하는와이어와, 와이어의장력을감지하는센서와, 센서에의해감지된와이어의장력을원하는목표장력으로조정하기위한장력조절부를구비한다. 회전구동부는튜브부재의길이방향을따라배치된회전축을중심으로튜브부재를회전시킨다. 틸팅구동부는회전구동부와연동하며, 와이어와튜브부재사이에형성되는각도가조정되도록튜브부재를틸팅시킨다. 직선구동부는회전구동부와연동하며, 튜브부재의길이방향을따라튜브부재를직선이송시킨다.
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公开(公告)号：KR1020150054564A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：KR1020130137170
申请日：2013-11-12
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/36 , B23K26/10 , B23K26/067
Abstract: 본발명의일 측면에따른레이저를이용한선택적박리장치는기판에서 LED 셀을박리하는레이저를이용한선택적박리장치에있어서, 레이저를발생시키는레이저발생부와, LED 셀이형성된기판을지지하는지지대, 및상기기판의하부에설치되며 LED 셀을기판에서박리하는분리부재를포함하고, 상기분리부재는상기 LED 셀과맞닿는박리팁과상기박리팁을진동시키는진동형성부를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例，使用激光器选择性分离装置来选择性地使用激光器将LED电池与衬底分离，包括：激光发生器，用于产生激光; 用于支撑形成有LED电池的衬底的支撑件; 以及分离部件，其安装在所述基板下方以将所述LED电池与所述基板分离。 分离构件包括与LED单元接触的分离尖端和用于使分离尖端振动的振动部分。
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29.发明授权
公开(公告)号：KR101450767B1
公开(公告)日：2014-10-17
申请号：KR1020130044803
申请日：2013-04-23
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: The present invention relates to a method and a system for non-thermal repair of an active organic self-light emitting device capable of repairing while minimizing damage to the active organic self-light emitting device by fundamentally solving a problem of delivering an unintended signal via the repair process, and a problem of corruption being occurred due to the defects affecting the periphery of the defect occurring portion during the repair process by proceeding the repair using the selective pulse width modulating ultrashort pulse laser when defective pixels are generated in the active organic self-light emitting device. In addition, the present invention is to perform a laser process using the ultrashort pulse laser while maximizing the process quality of the cutting efficiency by vibrating a target object or a focusing lens.
Abstract translation: 本发明涉及一种有源有机自发光装置的非热修复方法和系统，其能够通过从根本上解决传递非预期信号的问题而通过 修复过程，并且由于在修复过程中由于缺陷发生部分周围的缺陷而发生损坏的问题，通过在活性有机自身中产生缺陷像素时通过使用选择性脉冲宽度调制超短脉冲激光器进行修复 光发射装置。 另外，本发明是利用超短脉冲激光进行激光处理，同时通过振动目标物体或聚焦透镜来最大化切割效率的处理质量。
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公开(公告)号：KR101393702B1
公开(公告)日：2014-06-09
申请号：KR1020120048721
申请日：2012-05-08
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일 측면에 따른 레이저를 이용한 막대 가공 장치는 막대 형상으로 이루어진 피가공물을 이송하는 이송 스테이지와, 상기 피가공물에 레이저를 조사하는 레이저 조사부와, 상기 피가공물의 길이방향 제1단부를 고정하는 제1지그와, 상기 피가공물의 길이방향 제2단부를 고정하는 제2지그, 및 상기 이송 스테이지 상에 설치되며, 상기 제2지그를 피가공물의 길이방향으로 이동시키는 인장력 형성부를 포함한다.
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