Abstract:
A thin film transistor and a manufacturing method thereof are provided. A method for manufacturing a thin film transistor includes forming a gate electrode on a substrate; forming an active layer which is adjacent to the gate electrode and includes an oxide semiconductor; forming an oxygen providing layer on the active layer; forming a gate insulating layer between the gate electrode and the active layer; forming source/drain electrodes which are combined with the active layer; forming a planarization layer which covers the gate electrode and the gate insulating layer; forming a hole which exposes the active layer; and performing a thermal process on the planarization layer in an oxygen atmosphere. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S10) Forming source/drain electrodes on a substrate; (S20) Forming an active layer and an oxygen providing layer; (S30) Forming a gate insulating layer; (S40) Forming a gate electrode; (S50) Forming a planarization layer and a hole; (S60) Performing a thermal process in an oxygen atmosphere
Abstract:
플라스틱 기판이 제공된다. 이 플라스틱 기판은 매트릭스 형태의 망상(mesh) 구조의 탄소 나노 튜브 박막 및 적어도 망상 구조 사이의 공간을 채우면서, 탄소 나노 튜브 박막의 일 표면을 덮는 플라스틱 지지 박막체를 포함한다. 이에 따라, 플라스틱 기판은 낮은 열팽창 계수, 플렉시블 특성 또는/및 도전성을 가질 수 있다. 플라스틱 기판, 탄소 나노 튜브, 매트릭스, 열팽창, 플렉시블
Abstract:
자기 정렬이 개선되는 박막 트랜지스터의 제조 방법은 다음과 같다. 우선, 제1 기판 상의 희생층 상에 제1 도핑 영역, 제2 도핑 영역 및 채널 영역을 구비하는 반도체층을 형성한다. 다음, 반도체층을 제1 기판에서 분리하고, 제2 기판에 결합한다. 다음, 제2 기판과 반도체층 상에 절연층을 형성하고, 절연층 상에 제1 포토레지스트층을 형성한다. 이후, 제2 기판의 배면으로부터 제1 도핑 영역과 제2 도핑 영역을 마스크로 제1 포토레지스트층을 노광하고 현상하여 제1 마스크 패턴을 형성한다. 다음, 제1 마스크 패턴을 마스크로 절연층 상에 채널 영역과 중첩하는 게이트 전극을 형성하고, 제1 도핑 영역과 제2 도핑 영역 각각에 연결되는 소스 전극과 드레인 전극을 형성하여 박막 트랜지스터를 제조한다. 셀프 얼라인, 자기 정렬, 박막 트랜지스터, 제조 방법
Abstract:
PURPOSE: A plastic substrate is provided to ensure low thermal expansion coefficient and flexible property as well as conductivity by including a carbon nanotube thin film of a mesh structure and a plastic support thin film. CONSTITUTION: A plastic substrate comprises: a carbon nanotube thin film(110b) of a mesh structure in a matrix form; and a plastic support thin film(210) which fills a space(115) between at least mesh structures and covers one surface of the carbon nanotube thin film. The carbon nanotube thin film includes mingled carbon nanotubes. The carbon nanotubes includes at least one selected from single wall carbon nanotube, double wall carbon nanotube, multiwall carbon nanotube, and a mixture thereof.
Abstract:
PURPOSE: A method for manufacturing metal oxide nanoparticle is provided to be applicable in the plastic substrate weak on heat by forming a thin film at relatively low temperature in range of the room temperature to about 100°C. A manufacturing method of the metal oxide nanoparticle is provided to make an electric component including the metal oxide. CONSTITUTION: A method of manufacturing metal oxide nanoparticle comprises: a step(S11) of preparing an alcoholic solution including basic chemical species; a step(S12) of preparing a metal oxide precursor solution; a step(S13) of reacting the metal oxide precursor solution with the mixture of alcoholic solution to form metal oxide nanoparticle; a step(S14) of refining the metal oxide nanoparticle. The alcoholic solution comprises C1-C6 alcohol and basic chemical species is selected in the group consisting of LiOH, NaOH, KOH, NH4OH, their hydrate and their mixture.
Abstract:
An adhesion method of a flexible substrate to a carrier for a flexible display device is provided to facilitate manufacture of an integrated electronic device, an organic light emitting display, and a liquid crystal display by separating the flexible substrate with the electronic device. An adhesion method of a flexible substrate(140) to a carrier for a flexible display device includes the steps of: preparing a carrier substrate(110); forming an adhesion layer(120) on the carrier substrate; adhering the flexible substrate on the adhesion layer; and forming a protection layer(130) between the adhesion layer and the flexible substrate.
Abstract:
천연색 전기영동 디스플레이 및 그 제작방법이 제공된다. 본 발명은 하부막 위에 위치하며 일정 간격을 갖고 배치된 복수개의 하부 전극과, 복수개의 하부 전극 상에 배치된 제1 내지 제3 포토레지스트 챔버와, 제1 내지 제3 포토레지스트 챔버에 각각 수용되며 전기장에 차별적으로 동작하여 빨간색, 초록색, 파란색을 독립적으로 표시하는 제1 내지 제3 전자잉크, 그리고 제1 내지 제3 포토레지스트 챔버를 사이에 두고 복수개의 하부 전극과 마주하며 일정 간격을 갖고 배치된 복수개의 상부 전극을 포함한다. 전기영동 디스플레이, 전자잉크, 포토레지스트 시트, 칼라 표시
Abstract:
본 발명은 저온 경화형 고분자 게이트 절연막 및 이를 이용한 유기 박막 트랜지스터에 관한 것이다. 본 발명에 따른 게이트 절연막은 아크릴레이트계 화합물, 안하이드라이드계 화합물 및 에폭시계 화합물로부터 저온에서 형성될 수 있으며, 저온 형성이 가능하기 때문에 선공정막에 미치는 영향이 최소화될 수 있고, 이렇게 형성된 게이트 절연막은 내화학성, 고내열성 및 우수한 표면 특성을 갖는다. 또한, 본 발명에 따른 게이트 절연막을 유기 활성막, 게이트 전극 및 소스-드레인 전극을 구비하는 유기 박막 트랜지스터에서 게이트 전극 상부에 형성시킴으로써 우수한 전기적 특성을 갖게 한다. 게이트 절연막, 저온 경화, 유기 박막 트랜지스터
Abstract:
본 발명은 열경화성 유기고분자 게이트 절연막 조성물 및 이를 이용한 유기박막 트랜지스터를 개시한다. 본 발명에 따른 열경화성 유기고분자 게이트 절연막 조성물은 유기고분자 게이트 절연막 소재로써 폴리비닐 페놀에 열경화성 물질을 포함시켜 내화학성과 절연특성을 향상시킨 것이고, 유기박막 트랜지스터는 상기 조성물로부터 형성된 유기고분자 게이트 절연막을 구비한다. 본 발명에 따른 유기고분자 게이트 절연막 조성물은 유기 고분자에 열경화성을 부여하여 내화학성과 절연특성을 향상시키면서, 소자 특성이 향상된 막을 형성시킬 수 있다. 폴리비닐 페놀, 게이트 절연막, 열경화성, 유기박막 트랜지스터