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公开(公告)号：KR101227125B1
公开(公告)日：2013-01-28
申请号：KR1020110057981
申请日：2011-06-15
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01D5/347
Abstract: 본 발명은 하나의 트랙으로 고분해능의 절대 각도를 측정할 수 있어 소형화가 가능하고 경제적인 광학식 엔코더 및 이를 이용한 변위 측정 방법에 관한 것으로, 광을 조사하는 발광부와, 발광부의 광을 반사시키는 반사 부재와, 발광부와 반사 부재의 사이에 광의 진행 방향을 가로지르는 방향으로 이동하도록 배치되며 이동 방향을 따라 일정한 피치로 배치되는 회절 격자를 구비하는 이동 부재와, 이동 부재에 대하여 발광부와 같은 방향에 배치되며 반사 부재에 의해 반사되어 회절 격자에 의해 회절된 광의 적어도 일부가 간섭하는 광을 수광하는 제1 수광부를 구비하는 광학식 엔코더 및 이를 이용한 변위 측정 방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020120043526A
公开(公告)日：2012-05-04
申请号：KR1020100104862
申请日：2010-10-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B9/02 , G01N33/483
Abstract: PURPOSE: A visibility enhanced low coherence interferometer is provided to improve the visibility because reference light signal and reflected light signal individually reflected from a reference surface and measuring surface are formed to be the same or similar. CONSTITUTION: A visibility enhanced low coherence interferometer comprises a main optical source unit(20), a light splitting unit(30), a reference surface reflection unit, a measuring surface reflection unit(50), an optical detecting unit(60), an optical axis micro moving unit(70), and an auxiliary light source unit(80). The main optical source unit projects multi-wavelength light. The light splitting unit divides a light signal into two. The reference and measuring surface reflection units respectively reflect the light signals divided by the light splitting unit to each measuring surface of measuring objects. The light detecting unit observes the interference by gathering the reflected lights from the reference and measuring surface reflection units. The auxiliary light source unit amplifies weak reflected light so that the visibility is uniformly maintained. The optical axis micro moving unit minutely transfers the reference surface of a reference surface reflection unit or a measuring surface of the measuring surface reflection unit to an optical axial direction.
Abstract translation: 目的：提供可见度增强型低相干干涉仪以提高可视性，因为从参考表面和测量表面分别反射的参考光信号和反射光信号被形成为相同或相似的。 构成：可见度增强型低相干干涉仪包括主光源单元（20），分光单元（30），参考表面反射单元，测量表面反射单元（50），光学检测单元（60）， 光轴微动单元（70）和辅助光源单元（80）。 主要光源单元投射多波长光。 光分离单元将光信号分为两个。 参考和测量表面反射单元分别将由光分离单元划分的光信号反映到测量对象的每个测量表面。 光检测单元通过从参考和测量表面反射单元收集反射光来观察干扰。 辅助光源单元放大弱反射光，使得能见度被均匀地保持。 光轴微动单元将基准面反射单元的基准面或测量面反射单元的测量面精细地转移到光轴方向。
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公开(公告)号：KR1020110137955A
公开(公告)日：2011-12-26
申请号：KR1020100057993
申请日：2010-06-18
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A non-contact type three-dimensional coordinate measuring system is provided to ensure high resolution and precision as well as a compact structure and to enable position measurement from any distance within the range where the light of a light source can reach a light detecting part. CONSTITUTION: A non-contact type three-dimensional coordinate measuring system comprises a light source(1) which is installed in an object to be measured, a light detecting part(2) which is installed in a specified position and detects the light emitted from the light source, and a position calculating part(3) which measures the distance between the light source and the light detecting part using the light detected by the light detecting part and calculates the position of the light source form the measured distance.
Abstract translation: 目的：提供非接触式三维坐标测量系统，以确保高分辨率和精确度以及紧凑的结构，并且可以在光源的光达到光检测的范围内的任何距离内实现位置测量 部分。 构成：非接触型三维坐标测量系统包括安装在待测物体中的光源（1），安装在指定位置的光检测部（2），并检测从 光源，以及使用由光检测部检测出的光来测量光源与光检测部之间的距离的位置计算部（3），并计算出光源的距离。
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公开(公告)号：KR101088777B1
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：KR1020090107607
申请日：2009-11-09
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 카메라와 렌즈 사이에 초점흐림수단을 설치하여 초점이 흐려진 영상을 카메라에서 인식하고 이를 분석하여 피사체의 형상을 측정할 수 있게 한 입체형상측정장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 입체형상측정장치는 반도체 모듈 등의 피사체를 촬영하는 카메라를 포함하여 구성되는 입체형상측정장치에 있어서, 상기 카메라의 전면에 카메라로 입사된 피사체 영상의 초점을 흐리기 위한 초점흐림수단을 설치하여 구성됨을 특징으로 한다.
입체형상, 초점흐림수단, 굴절률, 초점거리-
公开(公告)号：KR1020110101537A
公开(公告)日：2011-09-16
申请号：KR1020100020597
申请日：2010-03-09
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G02B21/008 , G02B7/04 , G02B7/28 , G02B21/0032 , G02B21/006 , G02B21/06
Abstract: 본 발명이 해결하려는 과제는 종래 공초점 현미경의 광축주사 과정을 제거하여 한번의 측정 데이터로 초점위치를 검출하고 3차원 형상을 복원하는 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경을 제공하는 것이다. 본 발명 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경은, 복수의 광검출기로 구성된 공초점 현미경과; 상기 공초점 현미경을 통해 검출된 복수의 광을 이용하여 초점위치를 검출하는 처리부로 구성된 것을 특징으로 한다. 상기 처리부에서 초점검출 방법은 복수의 광검출기의 광축위치를 설정하는 단계와; 상기 광축위치에서 복수의 광검출기를 이용하여 광량을 검출하는 단계와; 상기 광검출기의 설정된 광축위치와 광축위치에서 검출된 광량을 이용하여 측정시편의 초점위치를 검출하는 단계로 구성된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 종래 공초점 현미경의 광축주사 과정을 제거하여 한번의 측정 데이터로 초점위치를 검출하므로 측정시편의 초점위치를 검출하는 시간이 감소하게 되고, 초점을 검출하는 시간이 감소함으로서 3차원 형상을 복원하는 시간이 감소하게 된다. 아울러, 광축주사 과정을 제거하여 광축주사 과정으로 인하여 공초점 현미경에 미치는 물리적 영향을 최소화하여 정확한 측정을 할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110023019A
公开(公告)日：2011-03-08
申请号：KR1020090080595
申请日：2009-08-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A high resolution interferometer using multi-pass optical configuration is provided to improve resolution function by simplifying the structure of an optical system and increasing optical paths. CONSTITUTION: A high resolution interferometer using multi-pass optical configuration comprises a polarized beam splitter(10) and a multi-path forming device(30). The polarized beam splitter guides incident light to a measurement path in order to measure the displacement. The multi-path forming device performs re-reflection light to the polarized beam splitter after multiplying the optical path by using a corner cube array. The multi-path forming device comprises a moving corner cube array(31) and a fixed corner cube array(32). The moving corner cube array performs re-reflection of the incoming light while moving in a horizontal direction. The fixed corner cube array re-reflects the light reflected to the moving corner cube array to the moving corner cube array.
Abstract translation: 目的：提供使用多通光学配置的高分辨率干涉仪，通过简化光学系统的结构和增加光路来提高分辨率。 构成：使用多遍光学配置的高分辨率干涉仪包括偏振分束器（10）和多路径形成装置（30）。 偏振分束器将入射光引导到测量路径以测量位移。 多路形成装置在通过使用角立方体阵列对光路进行乘法后，对偏振分束器进行再反射光。 多路径形成装置包括移动角立方体阵列（31）和固定角立方体阵列（32）。 移动的角立方体阵列在水平方向移动时执行入射光的再反射。 固定角立方体阵列将反射到移动角立方体阵列的光重新反射到移动的角立方体阵列。
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公开(公告)号：KR100997948B1
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：KR1020080048027
申请日：2008-05-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/00
Abstract: 본 발명은 스테이지미러(stage mirror)로 입사 및 반사되는 빛을 변화시키는 수단을 1/4파장판으로 구성하여, 빛의 세기가 감소되어 선명도(contrast)가 떨어지는 것을 방지한, 변위와 변각을 동시에 측정하는 장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 변위와 변각을 동시에 측정하는 장치는 광원으로 조사된 빛 중 일부는 반사시키고, 일부는 투과시키는 광분할기와, 광분할기를 통과한 빛을 콜리메이티드 빔(collimated beam)으로 만들어 주는 렌즈와, 상기 렌즈를 통과한 빛 중 P-편광을 통과시키고 S-편광은 반사시키는 편광분할기와, 편광분할기를 통과한 빛을 반사시켜 다시 편광분할기로 보내는 스테이지미러와, 편광분할기에 의해 반사되면서 선편광이된 빛의 편광방향을 바꾸어 기준미러로 보내는 1/4파장판과, 상기 편광분할기를 투과한 P-편광과 S-편광 중 일측 편광만을 광검출기측으로 투과시키는 선편광기와, 상기 스테이지미러에 반사되어 되돌아오는 빛을 검출하는 광검출기를 포함하여 구성된 변위와 변각을 동시에 측정하는 장치에 있어서, 상기 편광분할기와 스테이지미러 사이에는 편광분할기를 통과한 빛의 편광 방향을 바꾸어주는 1/4파장판을 설치하여 구성됨을 특징으로 한다.
간섭계, 오토콜리메이터, 1/4파장판-
公开(公告)号：KR100941981B1
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：KR1020070112788
申请日：2007-11-06
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 레이저 간섭계식 메코메타 및 이를 이용한 거리 측정 방법이 개시된다. 레이저 장치는 소정의 기간 동안 주파수가 일정하게 유지되는 빔을 주파수를 달리하며 방출하고, 방출된 빔 각각의 파장을 산출하여 출력한다. 광학 장치는 레이저 장치가 방출한 빔 각각을 변위광 및 기준광으로 분할하여 변위광을 측정대상물에 투사하고 측정대상물로부터 반사된 변위광과 기준광의 광경로 차이로 인한 간섭무늬를 각각 형성한다. 광검출수단은 광학 장치가 형성한 간섭무늬 각각을 검출한다. 거리산출부는 레이저 장치가 출력한 파장 및 광검출수단이 검출한 간섭무늬 각각을 기초로 상기 측정대상물의 거리를 산출한다. 본 발명에 의하면, 거리 측정에 사용되는 빔의 파장의 크기보다 미세한 크기의 거리까지 정확하게 산출하여 사용되는 빔의 파장의 크기의 한계로 나타나는 오차의 발생을 방지하고 고정밀도로 거리를 측정할 수 있으며, 측정대상물의 초기 위치에 대한 정보 없이도 측정대상물의 거리를 측정할 수 있다.
레이저, 메코메타, 파장, 주파수, 거리, 간섭무늬-
公开(公告)号：KR100925783B1
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：KR1020070091213
申请日：2007-09-07
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 레이저 간섭계를 이용한 나노 형상 측정장치 및 그 방법이 개시된다. 복수의 레이저 장치는 각각 빔을 생성하고 생성된 빔 중에서 특정 주파수의 빔을 방출하며, 생성된 빔의 파장을 검출하기 위한 간섭신호를 출력한다. 제어부는 출력된 간섭신호로부터 생성된 빔의 파장을 검출하고 검출된 파장을 기초로 복수의 상기 레이저 장치를 제어한다. 광학 장치부는 피검체의 표면에 레이저 장치가 방출한 빔을 투사시켜 피검체의 간섭무늬를 생성한다. 복수의 셔터는 개폐되며 폐쇄된 경우에는 레이저 장치가 방출한 빔이 광학 장치부로 조사되는 것을 차단한다. 촬상부는 생성된 간섭무늬를 촬상한다. 본 발명에 따른 형상 측정장치 및 그 방법에 의하면, 안정된 주파수를 방출하는 복수개의 다채널 주파수 스캐닝 레이저 장치를 이용하여 광을 방출함으로 높이가 큰 피검체의 형상을 정확하고 정밀하게 측정할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 형상 측정장치 및 그 방법은 기준면의 위치 이동을 요구하지 않으며, 이에 따라 기준면의 위치 이동으로 인한 시간 소요 및 오차 발생을 방지하여 피검체의 형상을 신속하고 정확하게 측정할 수 있다.
형상, 광, 파장, 간섭, 위상천이-
公开(公告)号：KR1020080110283A
公开(公告)日：2008-12-18
申请号：KR1020070058845
申请日：2007-06-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A device for measuring thickness variation and a method thereof are provided to measure the thickness of a sample regardless of external noise in a manufacturing procedure. A beam splitter(20) passes some beams generated by a laser(10) and splits the others vertically. A reflection mirror(30) reflects the split beams in parallel to the passed beams. A first lens(40) condenses the reflected beams with an incident angle(theta) to a sample substrate together with the passed beams. A polarization beam splitter(50) re-reflects the beams which are reflected against both surfaces of the sample substrate. Optical detectors(61,62) detect the laser beams re-reflected by the polarization beam splitter respectively. A data analyzer(70) analyzes thickness variation and the increase or decrease of the thickness according to interference signals of the detected beams.
Abstract translation: 提供了用于测量厚度变化的装置及其方法，用于在制造过程中测量样品的厚度，而不管外部噪声如何。 分束器（20）通过由激光器（10）产生的一些光束并将另一个垂直分割。 反射镜（30）反射与所通过的光束平行的分束。 第一透镜（40）将反射光束与所通过的光束一起将入射角（θ）聚集到样品基板。 偏振分束器（50）重新反射反射到样品基板的两个表面的光束。 光检测器（61,62）分别检测由偏振光束分光器重新反射的激光束。 数据分析器（70）根据检测到的光束的干涉信号来分析厚度变化和厚度的增加或减少。
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