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公开(公告)号：KR101091973B1
公开(公告)日：2011-12-08
申请号：KR1020100079155
申请日：2010-08-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A method fro forming a thermoelectric thin film and a manufacturing apparatus thereof are provided to obtain a thermoelectric thin film with the composition of Bi2Te3 by maintaining the decomposition temperature difference of a Bi(C2H5)2 precursor and a Te(t-Bu)2 precursor at about 50 degrees. CONSTITUTION: A substrate(124) is arranged in a substrate holder(122). A Bi(C2H5)2 precursor and a Te(t-Bu)2 precursor are vaporized. A vaporized Bi(C2H5)2 precursor and Te(t-Bu)2 precursor are carried into a treatment container(110). The vaporized Bi(C2H5)2 precursor and Te(t-Bu)2 precursor are carried to the substrate through a gas distribution plate(132). Bi2Te3 is evaporated on the substrate.
Abstract translation: 目的：提供一种形成热电薄膜的方法及其制造装置，以通过保持Bi（C 2 H 5）2前体和Te（t-Bu）2的前体的分解温度差来获得具有Bi 2 Te 3组成的热电薄膜， 2前体约50度。 构成：衬底（124）布置在衬底保持器（122）中。 将Bi（C 2 H 5）2前体和Te（t-Bu）2前体蒸发。 汽化的Bi（C 2 H 5）2前体和Te（t-Bu）2前体被运送到处理容器110中。 蒸发的Bi（C 2 H 5）2前体和Te（t-Bu）2前体通过气体分配板（132）被运送到基底。 Bi2Te3在基材上蒸发。
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公开(公告)号：KR101055868B1
公开(公告)日：2011-08-11
申请号：KR1020090044459
申请日：2009-05-21
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 진공 공정에서 발생한 입자 및 부산물을 모니터링하기 위해 사용하는 각종센서에 부착된 윈도우 표면의 오염을 방지하고 또한, 본 기술을 활용하여 진공공정 장비에 사용되는 배관 오염을 방지하는 기술에 관한 것이다.
음파발생기, 윈도우, 표면, 오염방지, 압전소자, 웨지부-
公开(公告)号：KR1020110067205A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：KR1020090123704
申请日：2009-12-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B01D45/12 , B01D53/24 , H01L21/203
Abstract: PURPOSE: A particle collecting apparatus is provided to offer the torque to contaminated gas without affecting the flux conductance of an exhaust line, and to effectively collect particles. CONSTITUTION: A particle collecting apparatus comprises the following: main exhaust lines(110a,110b) directly or indirectly connected to a vacuum container(100); exhaust lines(116a,116b) including first auxiliary exhaust pipes(112a,112b) and second auxiliary exhaust pipes(114a,114b); helical baffles(120a,120b) for applying the torque to contaminated gas supplied from the vacuum container by being mounted on the main exhaust lines; particle collectors(130a,130b) connected to the second auxiliary exhaust pipes; and vacuum pumps(140a,140b) connected to the first auxiliary exhaust pipes.
Abstract translation: 目的：提供一种粒子收集装置，以对受污染的气体提供扭矩，而不影响排气管线的通量，并有效收集颗粒物。 构成：颗粒收集装置包括：直接或间接连接到真空容器（100）的主排气管线（110a，110b）; 包括第一辅助排气管（112a，112b）和第二辅助排气管（114a，114b）的排气管线（116a，116b） 螺旋挡板（120a，120b），用于通过安装在主排气管线上将扭矩施加到从真空容器供应的污染气体; 连接到第二辅助排气管的颗粒收集器（130a，130b） 和连接到第一辅助排气管的真空泵（140a，140b）。
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公开(公告)号：KR1020100111375A
公开(公告)日：2010-10-15
申请号：KR1020090029762
申请日：2009-04-07
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/205
CPC classification number: H01L21/28556 , H01L21/02046 , H01L21/324
Abstract: PURPOSE: The low-temperature vapor deposition of the metallic foil the pure metallic foil can be formed on the low temperature. The deposition specification can be improved through the adjustment of the hydrogen gas and Lewis base. CONSTITUTION: The low-temperature vapor deposition of the metallic foil. By using the metal organic precursor and the amine compound including the metal covalent-bonding in one or more ligand, the metallic foil is formed on the substrate of the low temperature. The selective metal thin film deposition process characterizes to more include the hydrogen process of input.
Abstract translation: 目的：金属箔的低温气相沉积可以在低温下形成纯金属箔。 通过调整氢气和路易斯碱可以提高沉积规格。 构成：金属箔的低温气相沉积。 通过在一个或多个配位体中使用金属有机前体和包含金属共价键的胺化合物，在低温基板上形成金属箔。 选择性金属薄膜沉积工艺的特征在于包括氢过程的输入。
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公开(公告)号：KR1020100111012A
公开(公告)日：2010-10-14
申请号：KR1020090029361
申请日：2009-04-06
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67017 , B01D51/02
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for collecting contaminated particles using sonic waves are provided to collect, separate, and select the contaminated particles in a semiconductor and display process. CONSTITUTION: An apparatus for collecting contaminated particles using sonic waves includes a discharge pipe(100), a transducer(210), a sonic wave emitting unit(220), and a reflector(300). The discharge pipe includes an inlet(110) and an outlet(120). The transducer generates a sonic wave. The sonic wave emitting unit has a sonic wave emitting surface(220S) separated from the central axis of the discharge pipe in a transverse direction. The reflector has a reflective surface(300S) facing the sonic wave emitting surface from the central axis of the discharge pipe.
Abstract translation: 目的：提供一种使用声波收集污染颗粒的设备和方法，用于在半导体和显示过程中收集，分离和选择污染颗粒。 构成：使用声波收集污染颗粒的装置包括排放管（100），换能器（210），声波发射单元（220）和反射器（300）。 排出管包括入口（110）和出口（120）。 换能器产生声波。 声波发射单元具有在横向上与放电管的中心轴分离的声波发射表面（220S）。 反射器具有从排出管的中心轴线朝向声波发射表面的反射表面（300S）。
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Patent Agency Ranking26.发明授权
公开(公告)号：KR100944046B1
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：KR1020080000426
申请日：2008-01-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 DMA(Differential Mobility Analyzer)를 이용한 입자의 크기 분포 측정 방법 및 이 방법을 실행하기 위한 프로그램이 내장된 저장 기록매체에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 DMA에 청정기체 및 에어로졸을 통과시키면서 에어로졸에 포함된 입자를 어느 일정 구간의 전기이동도를 갖는 특정한 입자군으로 분리시켜 에어로졸에 포함된 입자의 크기 분포를 측정하는 방법 및 이 방법을 실행하기 위한 프로그램이 내장된 저장 기록매체에 관한 것이다.
DMA, FCE, 방전전압, 입자 크기 분포, 확률, 전기이동도-
公开(公告)号：KR1020090090672A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：KR1020080016029
申请日：2008-02-21
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A particle measuring device using DMA and a recorder for measuring the inside pressure of the DMA are provided to measure the discharge voltage between an inside electrode and an outer cylinder. A particle measuring device using DMA comprises an outer cylinder(31), a path, an inside electrode(32), a particle separator(32-1). The aerosol passing through a charge process and the clean air are flowed in the outer cylinder. The path is formed between the outside cylinder inner walls. The mixture of the clean air and the aerosol passes through the path. The particle separator separates the particle with the electric mobility from the particle among the aerosol.
Abstract translation: 提供使用DMA的粒子测量装置和用于测量DMA的内部压力的记录器来测量内部电极和外部气缸之间的放电电压。 使用DMA的粒子测量装置包括外筒（31），路径，内电极（32），粒子分离器（32-1）。 通过充气过程的气溶胶和清洁空气在外筒中流动。 该路径形成在外筒内壁之间。 清洁空气和气溶胶的混合物通过路径。 颗粒分离器将颗粒与气溶胶中的颗粒的电迁移率分离。
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公开(公告)号：KR100873975B1
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：KR1020070047448
申请日：2007-05-16
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/205
Abstract: The diagnostic apparatus is provided to measure accurately the state of precursor including the organic used to the chemical vapor deposition and inorganic chemistry agent or the organometallic compound etc. The diagnostic apparatus for diagnosing the precursor status using the dual sensing apparatus comprises the first guide(120) and the first diagnostic unit(100) formed on the first guide at the precursor magazine; the first diagnostic unit made including the first sensor(110) to measure the residual amount of precursor. The second guide(220) and the second sensor formed on the second guide at the precursor magazine; the second diagnostic unit including the second sensor(210) to measure the decomposition of precursor.
Abstract translation: 诊断装置用于准确测量包括用于化学气相沉积的有机物和无机化学试剂或有机金属化合物等的前体的状态。使用双重感测装置诊断前体状态的诊断装置包括第一指导（120 ）和在前体仓中的第一引导件上形成的第一诊断单元（100） 第一诊断单元制成包括第一传感器（110）以测量前体的残留量。 第二引导件（220）和第二传感器形成在前体匣上的第二引导件上; 第二诊断单元包括用于测量前体分解的第二传感器（210）。
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公开(公告)号：KR1020080101143A
公开(公告)日：2008-11-21
申请号：KR1020070047482
申请日：2007-05-16
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: C23C16/00
Abstract: A precursor container having a removable sensor unit is provided to reduce the failure rate by checking the residual amount of precursor in real time. A container of precursor used for chemical deposition includes a chamber(200) comprising a chamber body(210) which is formed in a box shape and in which a receiving part(220) is formed, and a second fixing unit(211) which is formed in the bottom of the chamber body and attached to a sensor unit; a stopper part(300) shutting the chamber; and the sensor unit(100) comprising a sensor unit body(110) in which a sensor(120) adhering closely to the bottom of the chamber body and measuring the residual amount of the precursor contained in the receiving part is equipped, a first fixing unit(111) attached to the second fixing unit, and a cable groove(130) through which a cable connected with the sensor passes.
Abstract translation: 提供具有可拆卸传感器单元的前体容器，以通过实时检查前体的剩余量来降低故障率。 用于化学沉积的前体容器包括：室（200），其包括形成为箱形的室主体（210），其中形成有接收部分（220）;以及第二固定单元（211） 形成在室主体的底部并附接到传感器单元; 关闭室的止动部（300） 传感器单元（100）包括传感器单元主体（110），其中装备有密封地附接到室主体的底部并且测量容纳在容纳部件中的前体的剩余量的传感器（120），第一固定 连接到第二固定单元的单元（111）和与传感器连接的电缆通过的电缆槽（130）。
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公开(公告)号：KR100855900B1
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：KR1020070001756
申请日：2007-01-05
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01F23/296 , G01F23/28 , G01F23/00
Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정 등의 화학증착 공정에 사용되는 용기 내의 액상 화학물질의 보충시 그 수위를 안정적으로 측정할 수 있는 용기 내 액상 화학 물질의 수위 진단장치에 대한 것으로서, 반도체 제조공정 등의 화학증착 공정에 사용되는 액상 화학 물질이 수용된 용기; 상기 용기 내부의 액상 화학 물질의 수위를 측정하기 위하여 용기 하부에 배치된 초음파 센서를 포함하는 액상 화학 물질의 수위 진단기구; 상기 수위 진단기구와 전기적으로 연결되어 수신된 아날로그 초음파 신호를 디지탈 신호로 변환하는 A/D 변환기; 상기 A/D 변환기에 전기적으로 연결되어 이미 설정된 기준 수위 데이터와 비교하여 용기 내 액상 화학 물질의 수위가 기준 수위 이하인 여부를 판단하는 제어부; 상기 제어부에 전기적으로 연결되어 용기 내의 액상 화학 물질의 수위가 기준 수위 이하인 경우 작동하는 경보기구; 및 상기 용기 내에 수용된 액상 화학물질 수위의 요동에도 불구하고 수위를 정확하게 진단할 수 있도록 설치된 수위진단 보조기구를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 용기 내의 화학 물질의 수위 진단장치를 제공한다.
화학물질, 전구체, 수위, 부유체, 스토퍼, 반도체, 화학증착
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