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公开(公告)号：KR1020160061181A
公开(公告)日：2016-05-31
申请号：KR1020140163761
申请日：2014-11-21
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor： 유일선
CPC classification number: B60H1/00742 , B60H1/00271 , G01K13/002 , G01K2201/02
Abstract: 본발명의진단센서는사용자의체내발열량을입력으로하는발열량측정부; 사용자의체온을입력으로하는체온측정부; 및상기발열량측정부및 상기체온측정부와전기적으로연결되고, 공조시스템과통신하는신호처리부를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的多功能诊断传感器包括：热量测量部件，其输入使用者的身体发热量; 体温测量部，其输入使用者的体温; 以及信号处理部，其与热量测量部和体温测量部电连接并与空调系统连通。 因此，本发明诊断用户的健康状态并控制空调系统。
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公开(公告)号：KR101610128B1
公开(公告)日：2016-04-08
申请号：KR1020140166782
申请日：2014-11-26
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor： 유일선
CPC classification number: H04R7/08 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/003 , H04R31/00
Abstract: 마이크로폰및 그제조방법이개시된다. 본발명의실시예에따른마이크로폰제조방법은기판의상면과하면에제1 산화막및 제2 산화막을각각형성하는단계; 상기제1 산화막상부에멤브레인, 제1 감광막패턴을순차적으로형성하고, 상기제1 감광막패턴을마스크로해서상기멤브레인을식각하여진동막과고정막을콤핑거(Comb Finger)형태로형성하는단계; 상기제2 산화막에제2 감광막패턴을형성하고, 상기제2 감광막패턴을마스크로해서상기기판을식각하여관통홀을형성하는단계; 및상기제1 산화막, 및제2 산화막을제거하는단계를포함한다. 또한, 본발명의실시예에따른마이크로폰은적어도하나의관통홀을포함하는기판; 및상기기판의상부에배치되어, 콤핑거형상의진동막과고정막을형성하는멤브레인을포함한다.
Abstract translation: 公开了麦克风及其制造方法。 根据本发明实施例的麦克风的制造方法包括以下步骤：在基板的上表面和下表面上形成第一氧化膜和第二氧化物膜; 在第一氧化膜上依次形成膜和第一感光膜图案，并通过使用第一感光膜图案作为掩模通过蚀刻膜将振动膜和固定膜形成为梳状形状; 在所述第二氧化膜上形成第二感光膜图案，并且通过使用所述第二感光膜图案作为掩模蚀刻所述基板来形成通孔; 并除去第一氧化物膜和第二氧化物膜。 此外，根据本发明的实施例的麦克风包括：包括至少一个通孔的基板; 以及设置在所述基板上以形成所述振动膜的膜和具有梳形指状的所述固定膜。
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公开(公告)号：KR101601229B1
公开(公告)日：2016-03-08
申请号：KR1020140160336
申请日：2014-11-17
Applicant: 현대자동차주식회사
CPC classification number: H04R17/02 , H04R2201/003 , H04R2410/03 , H04R19/005 , H04R19/04
Abstract: 본발명은마이크로폰에관한것으로, 구체적으로별도로회로를추가하지않고감도를증가시킬수 있는하이브리드마이크로폰에관한것이다.이를위해, 본발명의일 실시예에따른마이크로폰은외부로부터유입된음향에의해진동하여정전용량신호를출력하는진동막과상기음향의음압에의해압저항신호를출력하는압저항소자를포함하는음향감지모듈; 및상기음향감지모듈과전기적으로연결되어상기음향감지모듈로부터정전용량신호및 압저항신호를수신하고, 상기정전용량신호및 압저항신호를전기신호로증폭하는증폭기를포함하는반도체칩을포함하며, 상기증폭기는상기정전용량신호를입력받는비반전입력단또는반전입력단; 상기반전입력단과연결되며, 상기압저항소자와연결되는제1 저항; 상기정전용량신호및 압저항신호를전기신호로증폭하여출력하는출력단; 및상기반전입력단과상기압저항소자를통해연결되며, 상기출력단에연결되는제2 저항을포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种混合麦克风，更具体地说，涉及一种可以在不增加附加电路的情况下提高灵敏度的麦克风。 为了实现上述目的，根据本发明的实施例，麦克风包括：声音检测模块，其包括振动膜，其通过从外部引入的声音振动并输出电容信号和压电元件，其输出 抗压信号受压力的声音; 和与声音检测模块电连接的半导体芯片，从声音检测模块接收电容信号和抗压信号，并且包括放大器，其将电容信号和压阻信号放大为电信号。 放大器包括：非反相输入端子或反相输入端子，其接收电容信号; 第一电阻器，其连接到反相输入端子并连接到压电元件; 输出端子，其通过将电容信号和压电阻抗信号放大为电信号来输出电信号; 以及通过反相输入端子和压电元件连接并连接到输出端子的第二电阻器。
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公开(公告)号：KR101601219B1
公开(公告)日：2016-03-08
申请号：KR1020140141165
申请日：2014-10-17
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor： 유일선
CPC classification number: H04R19/005 , B81B2201/0257 , B81C1/00182 , H04R7/04 , H04R7/16 , H04R7/26 , H04R31/00 , H04R2231/003
Abstract: 본발명의일 실시예에따른마이크로폰의제조방법은기판을준비한후, 상기기판위에산화막패턴및 상기기판의배면에산화막을형성하는단계, 상기산화막패턴을마스크로하여상기기판위에전도성을가지는이온을주입하여진동막을형성하는단계, 상기산화막패턴을제거한후, 상기기판및 상기진동막위에희생층및 고정전극을차례로형성하는단계, 상기고정전극위에제1 감광막패턴을형성한후, 상기제1 감광막패턴을마스크로하여상기고정전극을패터닝하여공기유입구를형성하는단계, 상기산화막의배면에제2 감광막패턴을형성한후, 상기산화막및 상기기판의배면을식각하여상기진동막의일부분을노출하는관통홀을형성하는단계, 그리고상기희생층의일부를제거하여상기고정전극과상기진동막사이에공기층을형성하는단계를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例，麦克风的制造方法包括：准备衬底，然后在衬底上形成氧化膜图案和在衬底的后表面上的氧化物膜的步骤; 使用氧化膜图案作为掩模的步骤将导电离子注入到用于形成振动膜的基板上; 除去氧化膜图案，然后在基板和振动膜上依次形成牺牲层和固定电极的步骤; 在所述固定电极上形成第一感光膜图案，然后使用所述第一感光膜图案作为掩模来图案化所述固定电极以形成空气入口的步骤; 在氧化膜的后表面上形成第二感光膜图案的步骤，然后蚀刻氧化膜和基板的后表面以形成通孔以暴露一部分振动膜; 以及去除所述牺牲层的一部分以在所述固定电极和所述振动膜之间形成空气层的步骤。
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公开(公告)号：KR101459977B1
公开(公告)日：2014-11-07
申请号：KR1020130158742
申请日：2013-12-18
Applicant: 현대자동차주식회사
CPC classification number: G01P3/42 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , G01C19/5783 , G01P15/0802
Abstract: 멤스 센서의 웨이퍼 레벨 패키지 및 그 제조 방법이 개시된다. 본 발명의 실시 예에 따른 멤스 센서의 웨이퍼 레벨 패키지의 제조 방법은, 하부 유리 기판 상의 일부분에 금속이 증착된 하부 전극층을 형성하는 단계; 실리콘 웨이퍼 상부면에 형성된 패턴에 따라 식각한 후 상기 하부 전극층의 일부분에 형성된 금속의 두께만큼 추가로 식각하여 구조층을 형성하는 단계; 상기 형성된 하부 전극층의 상부와 상기 구조층을 양극 접합하는 단계; 상기 구조층의 식각되지 않은 반대면에 형성된 패턴에 따라 식각하여 상기 구조층 내부에 감지부를 형성하는 단계; 및 상부 웨이퍼 상에 금속을 증착하여 상부 전극층을 형성하고, 상기 상부 전극층을 상기 감지부가 형성된 상기 구조층과 공융 접합하는 단계를 포함할 수 있다.
Abstract translation: 公开了一种MEMS传感器的晶片级封装及其制造方法。 根据本发明的实施例的制造MEMS传感器的晶片级封装的方法包括：形成下电极层，其中金属沉积在下玻璃基板的一部分上; 通过沿着形成在硅晶片的上表面上的图案进行蚀刻来形成结构层，然后另外蚀刻形成在下电极层的一部分上的金属的厚度; 阳极结合形成的下电极层的上部和结构层; 通过沿着形成在不被蚀刻的相对表面上的图案进行蚀刻而在结构层的内部形成检测部分; 以及通过在所述晶片上沉积所述金属并将所述上电极层共晶接合到形成有所述检测部分的所述结构层而形成上电极层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101807040B1
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：KR1020160064847
申请日：2016-05-26
Applicant: 현대자동차주식회사
CPC classification number: H04R1/2807 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/003
Abstract: 본발명은마이크로폰에관한것으로, 구체적으로음향소자와케이스사이에음향분산필터가형성되어마이크폰의내구성을향상시킬수 있는마이크로폰및 이의제조방법에관한것이다. 이를위해, 본발명의일 실시예에따른마이크로폰은음향홀을포함하는음향소자, 상기음향소자의하부에형성되며, 상기음향홀과대응되는위치에형성되는음향유입구를포함하는케이스, 및상기음향소자와상기케이스사이에형성되며, 상기음향홀과대응되는위치에형성되는복수의관통홀을포함하는음향분산필터를포함한다.
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公开(公告)号：KR101807146B1
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：KR1020160116721
申请日：2016-09-09
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor： 유일선
CPC classification number: H04R19/04 , B81B3/0075 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C2201/0109 , B81C2201/013 , H01L51/0048 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R19/016
Abstract: 고감도마이크로폰및 그제조방법이개시된다. 본발명의실시예에따른고감도마이크로폰은, 중앙부에관통구가형성된기판; 상기기판상에서상기관통구를덮는형태로배치되는진동막; 상기진동막의상부에공기층을두고이격설치되며, 상기공기층방향으로관통된복수의공기유입구를포함하는고정막; 및상기고정막과진동막사이에탄성이있는수직기둥으로형성되어인가전압에관계없이마찰력에의해상기진동막을기계적으로고정하는복수의지지체를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020170133712A
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：KR1020160064847
申请日：2016-05-26
Applicant: 현대자동차주식회사
CPC classification number: H04R1/2807 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/003 , B81B3/0072 , H04R31/006 , H04R2201/003
Abstract: 본발명은마이크로폰에관한것으로, 구체적으로음향소자와케이스사이에음향분산필터가형성되어마이크폰의내구성을향상시킬수 있는마이크로폰및 이의제조방법에관한것이다. 이를위해, 본발명의일 실시예에따른마이크로폰은음향홀을포함하는음향소자, 상기음향소자의하부에형성되며, 상기음향홀과대응되는위치에형성되는음향유입구를포함하는케이스, 및상기음향소자와상기케이스사이에형성되며, 상기음향홀과대응되는위치에형성되는복수의관통홀을포함하는음향분산필터를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种麦克风，它是专门分配的声学元件之间的声滤波器和的情况下，一个麦克风和能够提高麦克风的耐久性的方法形成。 为此，根据本发明实施例的麦克风包括：声学装置，其包括声孔;壳体，其形成在声学装置的下部并且包括形成在与声孔相对应的位置处的声学入口; 以及声学分散滤波器，其形成在元件与壳体之间并且包括形成在与声学孔对应的位置处的多个通孔。
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公开(公告)号：KR101673347B1
公开(公告)日：2016-11-07
申请号：KR1020150096814
申请日：2015-07-07
Applicant: 현대자동차주식회사
CPC classification number: H04R19/04 , H04R1/04 , H04R1/406 , H04R3/005 , H04R19/005 , H04R2201/003 , H04R2410/01
Abstract: 마이크로폰이개시된다. 본발명의일 실시예에따른마이크로폰은복수의음향홀을포함하는케이스; 상기케이스의내부에서적어도두 개의음향홀과대응되는위치에설치되는제1 음향소자; 상기케이스의내부에서상기제1 음향소자와일정간격이격되며, 적어도하나의음향홀과대응되는위치에설치되는제2 음향소자; 및상기제1 음향소자및 상기제2 음향소자와전기적으로연결되는반도체칩을포함하되, 상기제1 음향소자와대응되는위치에형성된적어도두 개의음향홀은상기제1 음향소자를기준으로상기케이스의상,하면에각각형성된다. 또한, 본발명의다른실시예에따른마이크로폰은제1 음향홀내지제3 음향홀을포함하는케이스; 상기케이스내부에서상기제1 음향홀과제2 음향홀사이에위치하는제1 음향소자; 상기케이스내부에서상기제3 음향홀과대응되는위치에형성되는제2 음향소자; 상기제2 음향소자의상부에위치하는반도체칩을포함하되, 상기제1 음향소자와제2 음향소자는기판일측각각에형성된제1 연결부및 제2 연결부를통하여전기적으로연결된다.
Abstract translation: 麦克风包括具有多个声孔的壳体; 安装在与壳体中的至少两个声孔对应的位置处的第一声音装置; 第二声音装置，与第一声音装置间隔开并安装在与至少一个声孔对应的位置; 电连接到第一声音设备和第二声音设备的半导体芯片，其中形成在与第一声音设备相对应的位置中的至少两个声孔各自形成在壳体的上表面和下表面中 第一声音设备。
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公开(公告)号：KR1020160063145A
公开(公告)日：2016-06-03
申请号：KR1020140166781
申请日：2014-11-26
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor： 유일선
CPC classification number: H04R31/00 , H04R19/04 , H04R31/003
Abstract: 마이크로폰및 그제조방법이개신된다. 본발명의실시예에따른마이크로폰제조방법은기판의상면및 하면에제1 산화막및 제2 산화막을각각형성하는단계; 상기제1 산화막위에진동막, 및제1 감광막패턴을형성하고, 상기제1 감광막패턴을마스크로해서상기진동막, 및제1 산화막을식각하여적어도하나의슬롯을형성하는단계; 상기제2 산화막에제2 감광막패턴을형성한후, 상기제2 감광막패턴을마스크로해서상기제2 산화막, 및기판을식각하여상기진동막의일부를노출하는적어도하나의관통홀을형성하는단계; 및상기제2 감광막패턴과함께제1 및제2 산화막을제거하여상기기판과진동막사이에공기층을형성하는단계를포함한다. 또한, 본발명의실시예에따른마이크로폰은적어도하나의관통홀을가진고정막을포함하는기판; 및상기기판의상부에상기고정막과일정유격을두고배치되며, 적어도하나의슬롯이형성되는진동막을포함한다.
Abstract translation: 公开了麦克风及其制造方法。 根据本发明的实施例的麦克风的制造方法包括以下步骤：在基板的上表面和底表面上分别形成第一氧化膜和第二氧化物膜; 在所述第一氧化膜上形成振动膜和第一感光膜，并且通过使用所述第一感光膜作为掩模蚀刻所述振动膜和所述第一氧化物膜来形成至少一个槽; 在所述第二氧化物膜上形成第二感光膜之后，通过蚀刻所述第二氧化物膜和形成使用所述第二感光膜图案作为掩模的至少一个通孔来暴露所述振动膜的一部分; 将第一和第二氧化物膜与第二感光膜图案一起去除并在基板和振动膜之间形成空气层。 另外，根据本发明的实施例的麦克风包括：基板，包括具有至少一个通孔的固定膜; 以及与衬底的上侧上的固定膜以规则间隔布置的振动膜，并且具有至少一个狭槽。 本发明旨在提供能够减少制造过程和制造成本的麦克风及其制造方法。
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