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公开(公告)号：CN1311762A
公开(公告)日：2001-09-05
申请号：CN99809377.7
申请日：1999-07-22
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03B19/1423 , C03B37/0142 , C03B2201/06 , C03B2201/28 , C03B2201/30 , C03B2201/34 , C03B2201/40 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03B2207/06 , C03B2207/08 , C03B2207/12 , C03B2207/14 , C03B2207/20 , C03B2207/22 , C03B2207/32 , C03B2207/34 , C03B2207/42 , C03B2207/46 , Y02P40/57
Abstract: 本发明涉及一种用于制造玻璃(具体地说是光波导件)的灰粉形成方法和设备。一液态玻璃前体(66)首先被送给至位于一喷雾燃烧器组件中的一喷射器(44)的液体孔插入件(48)的孔(52),随后从喷射器排入一压力腔(56)。一喷雾气体(70)也被送给至压力腔(56)而与液态前体的分裂成液滴的液流(68)相混合。液态前体和喷雾气体在压力作用下被迫从燃烧器组件的燃烧器表面(30)上的喷雾孔(32)排出。燃烧气体(74)、反应气体(84)和保护气体(82)从燃烧器孔(40、38、36和34)喷出而产生火焰。这样喷出的雾化的液态前体被送入产生于燃烧器表面的火焰(72),在那里,雾化的液态前体与火焰反应而生成积聚于一转动心轴(80)的灰粉(78)。
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公开(公告)号：KR1020020076183A
公开(公告)日：2002-10-09
申请号：KR1020020016491
申请日：2002-03-26
Applicant: 토소가부시키가이샤 , 토소 에스지엠 가부시키가이샤 , 토소쿼츠 가부시키가이샤
IPC: C03C3/06
CPC classification number: C03B19/01 , C03B19/095 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/40 , C03B2201/54 , C03C3/06 , C03C2201/34 , C03C2201/3411 , C03C2201/40 , C03C2201/54 , Y02P40/57
Abstract: PURPOSE: A highly durable quartz glass, its preparation method and apparatus, a quartz glass member, and a semiconductor manufacturing device and a liquid crystal manufacturing device employing the member are provided, wherein the quartz glass is improved in durability, processability and transparency. CONSTITUTION: The quartz glass comprises 0.01-2 wt% of at least element selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Y, Hf and Zr. The quartz glass is prepared by dropping the silica powder containing Zr into the furnace using an acid hydride salt as a heat source, layering it, and extending the layer outward. Also the quartz glass is prepared by passing the powder mixture of a silicate powder and the silica powder containing Zr through the plasma arc-coupling region where at least two plasma arcs are coupled and at least two electrodes have opponent polarity, or its neighborhood, thereby melting the mixture.
Abstract translation: 目的：提供高耐用的石英玻璃及其制备方法和装置，石英玻璃构件和半导体制造装置以及采用该构件的液晶制造装置，其中石英玻璃的耐久性，加工性和透明度得到改善。 构成：石英玻璃含有0.01-2重量％的至少选自Mg，Ca，Sr，Ba，Y，Hf和Zr的元素。 通过使用氢化氢盐作为热源将含有Zr的二氧化硅粉末放入炉内来制备石英玻璃，将其分层并向外延伸。 此外，石英玻璃通过使硅酸盐粉末和含有Zr的二氧化硅粉末的粉末混合物通过等离子体电弧耦合区域而制备，其中至少两个等离子体电弧耦合，并且至少两个电极具有对立的极性或其邻域，由此 熔化混合物。
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公开(公告)号：KR100842232B1
公开(公告)日：2008-06-30
申请号：KR1020020016491
申请日：2002-03-26
Applicant: 토소가부시키가이샤 , 토소 에스지엠 가부시키가이샤 , 토소쿼츠 가부시키가이샤
IPC: C03C3/06
CPC classification number: C03B19/01 , C03B19/095 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/40 , C03B2201/54 , C03C3/06 , C03C2201/34 , C03C2201/3411 , C03C2201/40 , C03C2201/54 , Y02P40/57
Abstract: 할로겐화물 가스 및 그 플라즈마를 이용하는 반도체 제조장치 또는 액정 제조장치의 부재로서 적절히 사용할 수 있는 내구성이 높은 석영글라스, 그 제조방법 및 제조용장치, 및 이를 이용한 부재 및 이 부재를 구비한 반도체 제조장치 또는 액정 제조장치를 제공한다.
Mg, Ca, Sr, Ba, Y, Hf 및 Zr로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 원소를 0.047중량% 이상 1.100중량% 이하 함유하는 것을 특징으로 하는 고(高)내구성 석영글라스, 그 제조방법 및 제조용장치, 및 이를 이용한 부재 및 장치를 사용한다.
고내구성, 석영글라스, 제조방법, 제조용장치-
公开(公告)号：KR1019920003222B1
公开(公告)日：1992-04-24
申请号：KR1019840003621
申请日：1984-06-26
Applicant: 코닝글라스워크스
Inventor： 조지월터슈러
IPC: C03B37/16
CPC classification number: C03C1/006 , C03B19/12 , C03B37/016 , C03B2201/28 , C03B2201/30 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2201/54 , C03C13/04
Abstract: 내용 없음.
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公开(公告)号：KR1020170097108A
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：KR1020177019376
申请日：2015-12-09
Applicant: 코닝 인코포레이티드
Inventor： 안나말라이,세지안 , 두란,카를로스알베르토 , 흐디나,케네쓰에드워드
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B25/02 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/14 , C03B2201/23 , C03B2201/32 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03C3/112 , C03C4/00 , C03C2201/12 , C03C2201/14 , C03C2201/32 , C03C2201/40 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2201/54 , C03C2203/52
Abstract: 제공된도핑된실리카-티타니아유리제품은, (i) 실리카-티타니아계유리, (ⅱ) 불소도펀트, 및 (ⅲ) 제2 도펀트를포함하는유리조성물을갖는유리제품을포함한다. 상기불소도펀트는 5 wt.%까지의불소농도를가지며, 및상기제2 도펀트는 50ppm 내지 6 wt.%의총 산화물농도로 Al, Nb, Ta, B, Na, K, Mg, Ca 및 Li 산화물로이루어진군으로부터선택된하나이상의산화물을포함한다. 더욱이, 상기유리제품은 20℃에서 0.5 ppb/K미만의팽창률기울기를갖는다. 상기제2 도펀트는선택적일수 있다. 상기유리제품의조성물은또한 100ppm 미만의 OH 농도를함유할수 있다.
Abstract translation: 提供掺杂的二氧化硅 - 二氧化钛的玻璃产品中，（i）为基础的氧化硅 - 氧化钛玻璃包含，（ⅱ）氟掺杂剂，和（ⅲ）具有包括第二掺杂剂的玻璃组合物的玻璃制品。 所述氟掺杂剂是5％（重量）拥有kkajiui氟浓度，所述第二掺杂剂是50PPM至约6重量组成以Al，铌，钽，B，钠，钾，镁，钙和Li氧化物％Uichong氧化物浓度 Lt氧化物“。 此外，玻璃产品在20℃时的充气斜率小于0.5ppb / K。 第二掺杂剂可以是可选的。 玻璃产品的组成也可以包含小于100ppm的OH浓度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100283855B1
公开(公告)日：2001-02-15
申请号：KR1019997000207
申请日：1997-07-14
Applicant: 도요타 지도샤(주) , 각코호진 도요타가쿠엔
IPC: C03C13/04
CPC classification number: C03C13/046 , C03B37/014 , C03B2201/07 , C03B2201/30 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03C3/06 , C03C2201/40 , C03C2201/50 , C03C2201/54 , G02B6/02
Abstract: 본발명의초저손실유리는, 고순도실리카유리에네트워크수식산화물중의적어도 1종류이상을 1 내지 500wt, ppm 함유하는것을특징으로한다. 네트워크수식산화물이실리카의사면체네트워크구조를적당하게완화시켜레일리산란손실이저하하는것이라고생각된다. 네트워크수식산화물로서는 NaO, KO, LiO, MgO, CaO, PbO를들 수있다. 이불순물첨가실리카유리는고순도인실리카유리에비하여레일리산란손실이낮아장거리전송용유리파이버의모재로서뛰어나다.
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公开(公告)号：WO2017145834A1
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：PCT/JP2017/005077
申请日：2017-02-13
Applicant: 住友電気工業株式会社
IPC: C03C3/06 , C03B20/00 , C03B37/018 , C03B37/027 , G02B6/02
CPC classification number: G02B6/02 , C03B37/01211 , C03B37/01228 , C03B37/01248 , C03B37/014 , C03B37/01453 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03B2203/22 , C03C3/06 , C03C13/042 , C03C13/045 , C03C25/607 , C03C2201/11 , C03C2201/12 , C03C2201/50 , C03C2201/54
Abstract: アルカリ金属元素等を含みレーリー散乱損失を低くすることができる光ファイバを提供する。光ファイバは、シリカガラスからなるコアと、コアを取り囲み、コアの屈折率より低い屈折率を有し、フッ素を含むシリカガラスからなるクラッドと、を備える。コアは、第１ドーパント群を含むとともに、第１ドーパント群の拡散係数より小さい拡散係数を有する第２ドーパント群を含む。光ファイバにおける残留応力の最大値と最小値の差は１５０ＭＰａ以下である。
Abstract translation: 提供了含有碱金属元素等并且能够降低瑞利散射损耗的光纤。 光纤包括由石英玻璃制成的芯和包围该芯的包层，该包层的折射率低于芯的折射率并且由含氟的石英玻璃制成。 芯包括具有比第一掺杂剂组的扩散系数小的扩散系数的第一掺杂剂组和第二掺杂剂组。 光纤中残余应力的最大值和最小值之间的差值为150MPa或更小。
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公开(公告)号：WO2006111185A1
公开(公告)日：2006-10-26
申请号：PCT/EP2005/004950
申请日：2005-05-06
Applicant: CARL ZEISS SMT AG , EKSTEIN, Claudia , HOGA, Joachim , EVA, Eric , HOLDERER, Hubert
Inventor： EKSTEIN, Claudia , HOGA, Joachim , EVA, Eric , HOLDERER, Hubert
CPC classification number: C03B23/20 , C03B2201/075 , C03B2201/10 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/30 , C03B2201/32 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , G03F7/70958
Abstract: In a method for connecting two elements (1, 2) at least one of which consists of fused silica, wherein both elements (1, 2) are connected to each other through fusion bonding in a gas atmosphere (5), preferably at temperatures between 300° C and 1000° C, the hydrogen portion in the gas atmosphere (5) is adjusted such that reduction of the hydrogen content of the fused silica first and/or second element(s) (1, 2) is substantially prevented. An optical component, in particular, a terminating element (6) for a projection objective of a microlithography projection exposure apparatus is produced in accordance with the method.
Abstract translation: 在用于连接两个元件（1,2）的方法中，其中至少一个由熔融石英组成，其中两个元件（1,2）通过在气体气氛（5）中的熔接相互连接，优选地在 在300℃和1000℃下，调节气体气氛（5）中的氢气部分，使得基本上防止熔融二氧化硅第一和/或第二元素（1,2）的氢含量降低。 根据该方法制造光学部件，特别是用于微光刻投影曝光装置的投影物镜的端接元件（6）。
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29.发明申请METHOD OF DOPING SILICA GLASS WITH AN ALKALI METAL, AND OPTICAL FIBER PRECURSOR FORMED THEREFROM 审中-公开用碱金属涂覆二氧化硅玻璃的方法和形成的光纤前体
公开(公告)号：WO2006068941A2
公开(公告)日：2006-06-29
申请号：PCT/US2005045619
申请日：2005-12-14
Applicant: CORNING INC , ELLISON ADAM J , SCHIEFELBEIN SUSAN L , ANDERSON JAMES G
Inventor： ELLISON ADAM J , SCHIEFELBEIN SUSAN L , ANDERSON JAMES G
IPC: C03B37/018
CPC classification number: C03B37/01807 , C03B37/01892 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/28 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03B2207/85 , C03B2207/90
Abstract: A method of making an optical fiber precursor includes generating vapors from an alkali metal source comprising compound containing oxygen and one or more alkali metals and applying the vapors to a surface of a glass article comprising silica at a temperature that promotes diffusion of the alkali metal into the surface of the glass article. An optical fiber has a core comprising silica and an alkali metal oxide of the form X 2 O, where X is selected from the group consisting of K, Na, Li, Cs, and Rb, wherein a concentration of the alkali metal oxide along a length of the core is uniform.
Abstract translation: 制造光纤前体的方法包括从包含氧和一种或多种碱金属的化合物的碱金属源生成蒸气，并在促进碱金属扩散的温度下将蒸气施加到包含二氧化硅的玻璃制品的表面 玻璃制品的表面。 光纤具有包含二氧化硅和X 2 O 2形式的碱金属氧化物的核，其中X选自K，Na，Li，Cs和Rb，其中浓度 的碱金属氧化物沿芯的长度是均匀的。
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30.发明申请A LOW LOSS OPTICAL GLASS-FIBER AND METHOD FOR MAKING THE OPTICAL FIBER PRECURSOR 审中-公开一种低损光学玻璃纤维和制造光纤前驱体的方法
公开(公告)号：WO2004020357A3
公开(公告)日：2004-06-10
申请号：PCT/US0324477
申请日：2003-08-05
Applicant: CORNING INC
Inventor： MOORE LISA A , BOOKBINDER DANA C , HOUSE KEITH L , SCHIEFELBEIN SUSAN L , BALL LAURA J , BANEY BRUNO PAUL MARC , KHRAPKO ROSTISLAV R
IPC: C03B37/00 , C03B37/012 , C03B37/014 , C03B37/018 , C03C3/06 , C03C13/04 , C03C15/00 , C03C21/00 , C03C25/60 , C03C25/68 , C03C17/245 , C03C17/28 , C03C17/30 , G02B6/00
CPC classification number: C03C3/06 , C03B37/01211 , C03B37/01228 , C03B37/01426 , C03B37/01807 , C03B37/01861 , C03B37/01892 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/28 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03B2203/26 , C03B2207/30 , C03B2207/90 , C03C25/602 , C03C25/607 , C03C25/68 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , C03C2201/50 , C03C2203/50 , G02B6/02
Abstract: A method of forming an alkali metal oxide-doped optical fiber by diffusing an alkali metal into a surface of a glass article is disclosed. The silica glass article may be in the form of a tube or a rod, or a collection of tubes or rods. The silica glass article containing the alkali metal, and impurities that may have been unintentionally diffused into the glass article, is etched to a depth sufficient to remove the impurities. The silica glass article may be further processed to form a complete optical fiber preform. The preform, when drawn into an optical fiber, exhibits a low attenuation.
Abstract translation: 公开了一种通过将碱金属扩散到玻璃制品的表面中形成掺杂碱金属氧化物的光纤的方法。 石英玻璃制品可以是管或棒的形式，或者是管或棒的集合。 含有碱金属的二氧化硅玻璃制品和可能已经无意地扩散到玻璃制品中的杂质被蚀刻到足以除去杂质的深度。 石英玻璃制品可以进一步加工以形成完整的光纤预型件。 当预成型件被拉入光纤时，表现出低的衰减。
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