公开(公告)号：CN1230007A

公开(公告)日：1999-09-29

申请号：CN99104362.6

申请日：1999-04-15

Applicant: 陈弓

Inventor： 陈弓

IPC: H01J61/12

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C23/007 ,  C03C2201/23

Abstract: 本发明提出一种低羟基石英灯管的制造工艺,其工艺特征是在传统石英灯管制作工艺基础上,将已拉制成型的灯管本体置入密闭加热室内,再把温度升高至100～500℃,保持恒温3～8小时,同时每间隔一定时间向外抽排空气数分钟,如此循环往复。待其自然冷却后送至后续工序按常规工艺加工制作。本发明具有仅在传统工艺中增设一道工序,操作简便,易于控制,生产成本相对较低,产品成品率高,质量优良,羟基值大幅降低,使用寿命成倍提高等特点。

公开(公告)号：CN103570225B

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201310466661.9

申请日：2013-07-09

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利

IPC: C03B20/00

CPC classification number: C03C3/04 ,  B29C33/38 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/52 ,  Y02P40/57

Abstract: 通过使提供硅的原料在氢氧焰中进行火焰水解来制备二氧化硅微细颗粒，将所述二氧化硅微细颗粒沉积在旋转石英玻璃靶上的同时使它们熔融并且玻璃化，从而形成合成石英玻璃锭，成型，退火，并且在至少600℃温度和最多5Pa压力下保持至少12小时进行脱氢处理。该合成石英玻璃具备高氦气渗透性并且适合行成纳米压印模具。

公开(公告)号：CN108698882A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201680081955.1

申请日：2016-12-16

Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司

Inventor： M·欧特 ,  W·莱曼 ,  M·胡乃曼 ,  N·C·尼尔森 ,  N·R·惠比 ,  B·格罗曼 ,  A-G·柯佩巴尼 ,  T·凯瑟

IPC: C03B20/00 ,  C03C12/00 ,  C03B19/10 ,  C03B37/012 ,  C03C3/06 ,  C03B19/06

CPC classification number: C03B19/066 ,  C01B33/18 ,  C01P2004/51 ,  C01P2004/61 ,  C01P2006/10 ,  C01P2006/12 ,  C01P2006/14 ,  C03B17/04 ,  C03B19/106 ,  C03B19/1065 ,  C03B19/108 ,  C03B19/1095 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/23 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/26 ,  C03C2201/32 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54

Abstract: 本发明涉及一种用于制备石英玻璃体的方法，其包含方法步骤i.)提供二氧化硅颗粒，ii.)由所述二氧化硅颗粒制造玻璃熔体和iii.)由所述玻璃熔体的至少一部分制造石英玻璃体，其中所述提供包含步骤I.制造由硅‑氯化合物制备的具有至少两个粒子的二氧化硅粉末，II.使所述二氧化硅粉末与氨接触以获得经处理的二氧化硅粉末，和III.对所述经处理的二氧化硅粉末进行造粒以获得二氧化硅颗粒，并且其中所述二氧化硅粉末的氯含量大于所述二氧化硅颗粒的氯含量。本发明进一步涉及一种可通过此方法获得的石英玻璃体。本发明还涉及一种用于制备二氧化硅颗粒的方法。本发明进一步涉及一种光导、一种照明体和一种成型体，其各自在每种情况中可通过进一步加工所述石英玻璃体获得。

公开(公告)号：CN105439441B

公开(公告)日：2018-05-18

申请号：CN201510614780.3

申请日：2015-09-24

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： S.奥赫斯 ,  K.贝克

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14

CPC classification number: G03F1/22 ,  C03B19/06 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/04 ,  C03C3/06 ,  C03C21/007 ,  C03C23/00 ,  C03C23/007 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/24 ,  G03F1/60 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm‑700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2‑SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt.ppm‑100 wt.ppm的平均OH含量和2,500wt.ppm‑10,000 wt.ppm的平均氟含量。

公开(公告)号：CN101959812B

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN200980106891.6

申请日：2009-02-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也 ,  桔优子

IPC: C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00

CPC classification number: C03B19/1453 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70958 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。

公开(公告)号：CN101511744B

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN200780033716.X

申请日：2007-09-11

Applicant: 东曹株式会社 ,  东曹SGM株式会社

Inventor： 新井一喜 ,  高畑努 ,  桥本真吉 ,  内田雅人 ,  山田修辅 ,  原田美德 ,  堀越秀春

IPC: C03B20/00

CPC classification number: C03C4/0085 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03C3/06 ,  C03C4/10 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54 ,  Y02P40/57

Abstract: 一种熔融石英玻璃，其对于波长245nm的紫外光，在10mm厚度内的内透过率为95％以上，OH含量为5ppm以下，Li、Na、K、Mg、Ca、Cu的含量各自为不足0.1ppm。优选该熔融石英玻璃在1215℃下的粘度系数为1011.5Pa·s以上，另外，1050℃下在大气中放置24小时的、在距表面的深度超过20μm起至100μm的区域中的Cu离子的扩散系数为1×10-10cm2/秒以下。该熔融石英玻璃通过将原料硅石粉末方英石化后在非还原性气氛中熔融而制造。该熔融石英玻璃具有紫外线、可见光、红外线的透射率高、高纯度且耐热性高以及金属杂质的扩散速度小的特性，适合作为各种光学材料、半导体制造用部件、液晶制造用部件等。

公开(公告)号：CN101061075B

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN200680001203.6

申请日：2006-03-30

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： J·韦伯 ,  T·波格 ,  M·特罗默 ,  B·库恩 ,  U·基尔斯特 ,  W·韦德克尔

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14 ,  H01L21/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/09 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/32 ,  C03C15/00 ,  C03C19/00 ,  C03C23/0025 ,  C03C23/006 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/54 ,  C30B25/12 ,  C30B31/14 ,  C30B35/00 ,  Y02P40/57

Abstract: 用于蚀刻作用环境中的晶片夹具用理想石英玻璃的特征在于高纯度和高抗干蚀刻性。为给出一种完全符合这些要求的石英玻璃，本发明提出该石英玻璃应至少在其近表面区域掺杂氮，且亚稳态羟基的平均含量小于30重量ppm，以及其假定温度低于1250℃和在1200℃的温度下粘度为至少1013dPas。一种制造这种石英玻璃的经济性方法包括以下步骤：熔融SiO2原料以获得石英玻璃坯，其中使所述SiO2原料或石英玻璃坯经受脱水处理，在含氨气氛中将所述SiO2原料或石英玻璃坯加热至1050℃至1850℃范围的氮化温度，进行温度处理藉此将石英玻璃坯的石英玻璃设定到1250℃或更低的假定温度，对石英玻璃坯进行表面处理，形成石英玻璃夹具。

公开(公告)号：CN101891380B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201010229123.4

申请日：2010-07-13

Applicant: 长飞光纤光缆有限公司

Inventor： 杨晨 ,  韩庆荣 ,  童维军 ,  罗杰 ,  刘泳涛

IPC: C03B37/018

CPC classification number: G02B6/0285 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/014 ,  C03B37/0183 ,  C03B37/01892 ,  C03B37/02754 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/86 ,  C03B2203/23 ,  C03B2205/09 ,  C03B2205/14 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/31 ,  C03C2203/40 ,  G02B6/02395 ,  G02B6/0283 ,  G02B6/03633 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明涉及一种大尺寸光纤预制棒及其光纤的制造方法，以掺氟衬管作为基底管沉积各包层和芯层并熔缩成实心芯棒，然后将实心芯棒与套管组成预制棒，或者在实心芯棒表面再沉积外包层部分直接形成芯棒在拉丝塔上进行拉丝。也可以对预制棒或实心棒进行拉伸后再拉丝。拉丝过程中对光纤进行两层涂料的涂覆，得到高抗疲劳参数的弯曲不敏感的低水峰单模光纤。该制造方法的预制棒尺寸大，单根预制棒拉丝长度长，工艺较简单，成本较低，非常适合规模化生产。该方法制造的光纤具有低水峰的特性，同时具有极低的因弯曲而引起的光损耗，而且具有较高的抗疲劳参数，特别适合于光纤在小弯曲半径下的使用，如应用于光纤接入网(FTTx)或者小型化的光器件中。

公开(公告)号：CN101622204A

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200880006392.5

申请日：2008-02-20

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： B·库恩 ,  S·奥克斯 ,  J·韦伯

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/40 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3441 ,  C03C2201/40 ,  G03F7/70958

Abstract: 提供用于投影物镜的石英玻璃光学部件，该投影物镜用于在低于250nm的操作波长下的浸没式光刻，将该部件优化，以便用于线性偏振的UV激光辐射，特别是关于由各向异性的密度变化引起的压实和双折射，按照本发明建议，石英玻璃应包含1wtppm-60wtppm的羟基和化学键合的氮，且石英玻璃的平均氢含量应该为5×10 15 分子/cm 3 -1×10 17 分子/cm 3 。

公开(公告)号：CN101511744A

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200780033716.X

申请日：2007-09-11

Applicant: 东曹株式会社 ,  东曹SGM株式会社

Inventor： 新井一喜 ,  高畑努 ,  桥本真吉 ,  内田雅人 ,  山田修辅 ,  原田美德 ,  堀越秀春

IPC: C03B20/00

CPC classification number: C03C4/0085 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03C3/06 ,  C03C4/10 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54 ,  Y02P40/57

Abstract: 一种熔融石英玻璃，其对于波长245nm的紫外光，在10mm厚度内的内透过率为95％以上，OH含量为5ppm以下，Li、Na、K、Mg、Ca、Cu的含量各自为不足0.1ppm。优选该熔融石英玻璃在1215℃下的粘度系数为1011.5Pa·s以上，另外，1050℃下在大气中放置24小时的、在距表面的深度超过20μm起至100μm的区域中的Cu离子的扩散系数为1×10－10cm2/秒以下。该熔融石英玻璃通过将原料硅石粉末方英石化后在非还原性气氛中熔融而制造。该熔融石英玻璃具有紫外线、可见光、红外线的透射率高、高纯度且耐热性高以及金属杂质的扩散速度小的特性，适合作为各种光学材料、半导体制造用部件、液晶制造用部件等。