公开(公告)号：CN101334345A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200810127715.8

申请日：2008-06-27

Applicant: FEI公司

Inventor： M·F·海尔斯 ,  U·鲁克肯

IPC: G01N1/36 ,  G01N1/00

CPC classification number: G01N1/286 ,  G01N1/06 ,  G01N1/42 ,  G02B21/32 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明涉及将样品连接到操纵装置上的方法。本发明尤其涉及为了TEM(透射电子显微镜)检查，从衬底上提取例如玻璃化生物样品的冷冻水合样品，并将所述样品连接到操纵装置上。这种水合样品应该保持在低温温度以避免形成冰。通过熔化或升华该样品材料的将在TEM中研究的区域之外的一部分并将该材料冷冻至操纵装置(10)上，在样品(1)和操纵装置之间形成粘合。这允许将该样品从衬底上传送至例如TEM格栅。在优选实施方案中，操纵装置(10)的一部分(2)保持在低温温度，并且通过电加热顶端而加热该操纵装置的顶端(3)并且之后将该操纵装置的顶端冷却至低温温度而引起该熔化或升华，由此将该样品(1)冷冻至该操纵装置上。

公开(公告)号：CN101266909A

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200810088429.5

申请日：2002-10-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 元井泰子 ,  上野理惠

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/304 ,  H01J37/317 ,  G01N23/225 ,  G01N23/223

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2814 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明提供一种截面评估装置，其能够在样品温度被调节的状态下分析截面结构。本发明还公开了一种信息获取装置，其包括用于放置样品的平台、用于调节样品的温度的温度调节装置、用于使想要得到信息的样品的表面曝光的曝光装置、以及用于获取与由曝光装置曝光的表面有关的信息的信息获取装置。

公开(公告)号：CN104380426B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380033422.2

申请日：2013-06-04

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 长久保康平 ,  水尾考志

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/20207

Abstract: 在现有的试料冷却支架中，若试料的朝向变换则冷却源容器也一同倾斜，而容纳的冷却源产生起泡。因此，提供一种试料冷却支架(13)，其具有机构(14、15、17、18)，该机构即使在使试料(1)向适于加工或者观察的朝向倾斜，也能够一边沿恒定方向保持冷却源容器的姿势一边冷却试料部空气对保持冷却源的内侧容器(23)进行真空绝热的外侧容器(21)安装有真空保持机构(24、25)。(1)。另外，提供一种冷却源容器，其在相对于外

公开(公告)号：CN104040677B

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201280066028.4

申请日：2012-12-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 金子朝子 ,  高须久幸 ,  武藤宏史

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/3053 ,  C23C8/40 ,  C23C14/505 ,  C23C16/4586 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/3151 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明的目的在于提供利用比较简单的结构来实现试料或试料台的冷却的带电粒子线照射装置。作为达到上述目的的一方案，带电粒子线照射装置具备带电粒子源、试料台、及具有传递用于使该试料台移动的驱动力的传递机构的驱动机构，其中，该带电粒子线照射装置具有配置于真空室内且能收容离子液体(12)的容器，该容器设置于在收容有所述离子液体(12)时使所述传递机构的至少一部分浸渍于离子液体(12)中的位置。

公开(公告)号：CN105940291A

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201580006255.1

申请日：2015-01-28

Applicant: 国立研究开发法人科学技术振兴机构

Inventor： 针山孝彦 ,  高久康春 ,  铃木浩司 ,  平川聪史 ,  河崎秀阳 ,  下村政嗣 ,  石井大佑 ,  太田勋 ,  村中祥悟

IPC: G01N1/28 ,  G01N23/00 ,  G01N33/574 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N33/4833 ,  G01N33/5011 ,  G01N2223/612 ,  G01N2800/7028 ,  H01J37/22 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2007

Abstract: 本发明提供在真空下也能够保护哺乳动物、植物的组织、培养细胞、单细胞等含水状态的生物试样使其不变形、维持存活状态的真空下的电子显微镜观察用保护剂和使用其的试剂盒，利用电子显微镜进行试样的观察、诊断、评价、定量的方法，及观察中使用的试样台。本发明的电子显微镜观察用保护剂，其特征在于，含有生存环境赋予成分、糖类及电解质。

公开(公告)号：CN105914122A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201610103111.4

申请日：2016-02-25

Applicant: FEI公司

Inventor： H-W.雷米格伊

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: G01N1/2813 ,  G01N1/42 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/208 ,  H01J37/28

Abstract: 一种制备用于在带电粒子显微镜中进行研究的样本的方法，包括如下步骤：?提供具有基本上彼此平行的相反面的基本上平坦的样本保持器，该样本保持器包括至少一个孔径，该至少一个孔径连接所述面并且已经跨该至少一个孔径安装了膜片，该膜片包括至少一个穿孔；?使含水液体的薄膜跨越在所述穿孔上，该液体包括悬浮在其中的至少一个研究样品，尤其包括下述步骤：?在所述跨越步骤之前，在远离所述样本保持器的一侧处，放置吸水材料的吸水薄片以紧密接触所述膜片的第一表面；?通过所述孔径沉积所述含水液体并且将所述含水液体沉积到所述膜片的第二表面上，所述第二表面与所述第一表面相反；?随后从所述膜片去除所述吸水薄片。

公开(公告)号：CN102914554B

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201210274899.7

申请日：2012-08-03

Applicant: FEI公司

Inventor： S.J.P.科宁斯 ,  S.库贾瓦 ,  P.H.F.特龙佩纳尔斯

IPC: G01N23/04 ,  G01N1/28

CPC classification number: G01Q30/12 ,  B82Y35/00 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明涉及在环境透射电子显微镜（ETEM）中的活性气氛中研究样品的方法。这样的研究被用于研究样品与气体的反应（化学的或物理的）。特别所关心的是气体和催化剂的化学反应，以及例如源自在固体上生长的气相的晶须的生长的物理变化（相变）。现有技术研究涉及将所述样品引入到ETEM的样品室内的侧面进入样品支持器上、将所述样品加热到所需的温度、等待所述样品安定到无漂移位置并且随后将所述样品暴露于经加热的活性气体的例如10 mbar的压力。因为所述样品支持器的温度分布随气体的温度和压力而变，当将所述样品支持器暴露于所述气体时，所述样品支持器之上的温度分布将轻微地改变，作为其结果，所述样品将漂移。为了避免所述漂移，或者至少最小化所述漂移，本发明涉及在将所述惰性气体交换为所述活性气体之前在所期望的温度下暴露到惰性气体。本发明也可应用于光学显微镜、X-射线显微镜或扫描探测显微镜。

公开(公告)号：CN105612597A

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201480052535.1

申请日：2014-09-05

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 矢口纪惠 ,  长久保康平 ,  岩堀敏行

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/32862 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003

Abstract: 本发明的目的在于：提供不从带电粒子束装置(1)取出样本，就能够形成各种环境以及进行现场观察和分析的带电粒子束装置以及带电粒子束装置用样本保持装置。在本发明中，从与样本保持单元(6)相对的一侧插入具备使安装在样本保持单元的样本(10)的状态变化的功能的可装卸的逆侧入口部(17)，由此通过具有不同功能的逆侧入口部和样本保持单元的组合，能够不从带电粒子束装置取出样本地观察/分析不同过程中的样本的变化。逆侧入口部由2部分构成，前端的一部分能够卸下，在安装到样本保持单元后，能够在维持气氛的状态下直接输送，能够使样本不暴露到大气中地在不同的装置之间输送。

公开(公告)号：CN105340050A

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201480035014.5

申请日：2014-07-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 上野敦史 ,  高须久幸 ,  武藤宏史

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3053 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/06 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明的离子铣削装置具备真空室(105)、进行该真空室内的真空排气的排气装置(101)、在上述真空室内支撑离子束所照射的试样(102)的试样台(103)、加热上述真空室内的加热装置(107)、向上述真空室内导入作为热介质的气体的气源(106)、控制该气源的控制装置(110)，该控制装置在由上述加热装置进行的加热时，以上述真空室内的压力为预定的状态的方式控制。由此，在冷却试样进行离子铣削后大气开放时，可在短时间内进行用于抑制产生的结露等的温度控制。

公开(公告)号：CN103168221A

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201180048642.3

申请日：2011-09-16

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 盐野正道 ,  西村雅子 ,  许斐麻美 ,  桑畑进

IPC: G01N1/28 ,  G01N23/225 ,  H01J37/20

CPC classification number: G01N23/2202 ,  G01N1/2813 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2605

Abstract: 使漂浮在离子液体表面的微小试样不被离子液体覆盖而通过扫描电子显微镜观察。通过使漂浮性或者疏水性试样浮于亲水性离子液体水溶液表面，防止微小试样被离子液体覆盖。在亲水性试样的情况下，使用疏水性离子液体。通过使用粘性低、流动性大的离子液体水溶液，微小试样能够在离子液体表面自由地凝集、分散、排列，进而使沉降在离子液体中的微小试样能够再浮起。微小试样的形态稳定后，为了使在扫描电子显微镜下的观察容易，通过在电子显微镜观察前使离子液体水溶液干燥，使离子液体水溶液的流动性降低。