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公开(公告)号：CN101414126B
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN200810166461.0
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: G03F7/20 , H01J37/317
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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公开(公告)号：CN102187422A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201080002969.2
申请日：2010-08-10
Applicant: 浦项工科大学校产学协力团
CPC classification number: H01J3/02
Abstract: 本发明涉及一种能够减少电子束发射度的电子束发生装置。为此目的，根据本发明的所述电子束发生装置包括：外壳，所述外壳包括：产生电子束的后表面部；具有电子束发射孔的前表面部，所述电子束发射孔用来将所产生的电子束发射到外部；以及将所述后表面部与所述前表面部相连接的侧表面部，其中所述侧表面部具有第一孔，并且面对所述第一孔的相对的侧部具有第二孔以便减少所述第一孔引起的电场的不均衡；以及波导管，所述波导管安装在所述侧表面部上以便通过所述第一孔将电磁波供给到所述外壳的内部。提供到所述外壳内的激光束产生电子束，所产生的电子束被供给到所述外壳内的所述电磁波加速。
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公开(公告)号：CN101414535A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810166458.9
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: H01J37/317 , G03F7/20
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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公开(公告)号：CN100437882C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200380102559.5
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: H01J37/302 , H01J37/317 , H01J37/304 , G03F7/20
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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公开(公告)号：CN1998059A
公开(公告)日：2007-07-11
申请号：CN200580022931.0
申请日：2005-06-06
Applicant: 马萨诸塞州技术研究院
Abstract: 带电粒子束系统包括形成具有椭圆横截面的非轴对称束的非轴对称二极管。聚焦元件将磁场用于聚焦和传输该非轴对称束，其中该非轴对称束与聚焦元件的通道大致匹配。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1237872A
公开(公告)日：1999-12-08
申请号：CN99103040.0
申请日：1999-02-03
IPC: H05H13/00
Abstract: 本发明包括与阴极射线管(CRT)类似的回旋加速器显示器件，在其中用一个或更多个使用比CRT电子枪低的电压和能耗的产生电子的回旋加速器代替CRT电子枪。这可以用于单色和彩色显示器，如所公开的那样。此外，电子以足够的速度从回旋加速器射出，从而消除了对加速电极的需要。由于电子以束而不是分散的云的形式从回旋加速器射出，因此对电子进行聚焦的需要也大大减小或消除。回旋加速器显示组件可以被做得明显短于常规电子枪CRT。此外，可以使用回旋加速器阵列而不是单个回旋加速器，从而使每个回旋加速器映射成图象屏幕的一个子部分。这进一步减小了回旋加速器显示器的长度。
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公开(公告)号：CN109599311A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201710920120.7
申请日：2017-09-30
Applicant: 惠州市奥普康真空科技有限公司
Inventor： 苗丁
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明揭示一种电子束光斑及电子束束流的控制方法，包括如下步骤：步骤A：摇杆电位器、控制单片机以及高压电源柜依次连接，其中摇杆电位器的X轴电位器、Y轴电位器及Z轴电位器分别连接控制单片机的AD口，按钮连接控制单片机的IO口；步骤B：控制单片机通过IO口获取开按钮的开关信号；步骤C：控制单片机通过AD口获取X轴、Y轴以及Z轴电位器滑动端的电压；步骤D：控制单片机结合步骤B中的开关信号和步骤C中采集的电压，转换成对应的控制变量并输送至高压电源柜；步骤E：高压电源柜根据控制变量控制光斑的移动和尺寸变化以及束流变化。本发明的控制方法只需操作摇杆电位器即可控制光斑的位置、尺寸以及束流大小，操作简单直观。
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公开(公告)号：CN108400075A
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201810065973.1
申请日：2018-01-22
Applicant: 电子科技大学
CPC classification number: H01J3/02 , H01J29/503
Abstract: 本发明公开了平行多束电子枪，它由阴极、聚焦极、阳极、聚焦系统和收集极组成。其中阴极上设计多个发射面，且呈均匀平行排列，发射面的形状可以为圆形、矩形或椭圆形；在聚焦极、阳极和聚焦磁场的共同作用下，阴极面发射的多电子注能够平行传输到收集极。此电子枪属于电真空领域，采用此电子枪结构可以有效解决单根电子束电流密度足够高的问题，将对发展毫米波、亚毫米波或太赫兹波电真空器件有极其重要的促进作用。
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公开(公告)号：CN104303256A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201280070115.7
申请日：2012-12-19
Applicant: 安特卫普大学
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/04 , H01J3/02 , H01J3/021 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/256 , H01J37/261 , H01J2237/06383 , H01J2237/2614
Abstract: 描述了用于将轨道角动量施加到沿着带电粒子束发生装置中的波束轴(104)传播的带电粒子波的设备(100)。该设备包括：支撑元件(106)，该支撑元件具有适配于透射沿着波束轴(104)传播的带电离子波的目标区域(108)；以及，感应装置(112)，该感应装置用于沿着具有位于所述目标区域(108)的自由端部分的细长轮廓感应磁通，并且该感应装置(112)适配于在所述细长轮廓中提供磁通，以便感应带电离子波在透射经过所述目标区域(108)时的相位相对于波束轴的角梯度。还公开了相应的方法以及其在电子显微术中的使用。
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公开(公告)号：CN102187422B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201080002969.2
申请日：2010-08-10
Applicant: 浦项工科大学校产学协力团
CPC classification number: H01J3/02
Abstract: 本发明涉及一种能够减少电子束发射度的电子束发生装置。为此目的，根据本发明的所述电子束发生装置包括：外壳，所述外壳包括：产生电子束的后表面部；具有电子束发射孔的前表面部，所述电子束发射孔用来将所产生的电子束发射到外部；以及将所述后表面部与所述前表面部相连接的侧表面部，其中所述侧表面部具有第一孔，并且面对所述第一孔的相对的侧部具有第二孔以便减少所述第一孔引起的电场的不均衡；以及波导管，所述波导管安装在所述侧表面部上以便通过所述第一孔将电磁波供给到所述外壳的内部。提供到所述外壳内的激光束产生电子束，所产生的电子束被供给到所述外壳内的所述电磁波加速。
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