公开(公告)号：JP5875515B2

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：JP2012517699

申请日：2010-06-23

Applicant: インテバック・インコーポレイテッド ,  INTEVAC INCORPORATED

Inventor： アディビ、ババク ,  チャン、ムーン

IPC: H01J37/32 ,  H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  C23C14/48

CPC classification number: H01L31/1876 ,  C23C14/042 ,  C23C14/48 ,  H01J37/185 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32412 ,  H01J37/32422 ,  H01L21/2236 ,  H01L31/068 ,  H01L31/0682 ,  H01L31/1804 ,  H01L31/1864 ,  H01J2237/0437 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/327 ,  H01J2237/3365 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

公开(公告)号：JP5655759B2

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：JP2011228383

申请日：2011-10-17

Applicant: 日新イオン機器株式会社

Inventor： 正敏 小野田 ,  正敏 小野田

IPC: H01J37/317 ,  C23C14/48 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20221 ,  H01L21/67213 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/6776

公开(公告)号：JP5570416B2

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：JP2010509879

申请日：2008-04-23

Applicant: アイシス・イノヴェイション・リミテッド

Inventor： ジョン， チャールズ シンクレア， ,  マーティン， エドワード， マンタイラ ノーブル，

IPC: C07K19/00 ,  C07K14/00 ,  C07K14/11 ,  C07K14/24 ,  C07K14/47 ,  C12N1/15 ,  C12N1/19 ,  C12N1/21 ,  C12N5/10 ,  C12N15/09 ,  G01N1/28 ,  H01J37/20

CPC classification number: C07K14/001 ,  C07K14/24 ,  C07K14/47 ,  C07K19/00 ,  C07K2319/00 ,  H01J37/20 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/201

公开(公告)号：JP5545287B2

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：JP2011276058

申请日：2011-12-16

Applicant: 日新イオン機器株式会社

Inventor： 正敏 小野田 ,  潤一 立道 ,  武 松本

IPC: H01J37/317 ,  B65G49/06 ,  H01J37/20 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20221 ,  H01L21/67213 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67754

公开(公告)号：JP5119297B2

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：JP2010149656

申请日：2010-06-30

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 正弥 小田桐 ,  雄介 村木 ,  仁 富士原

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/67248 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/463 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32724 ,  H01J37/32779 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/201 ,  H01L21/68771

公开(公告)号：JP4766156B2

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：JP2009139924

申请日：2009-06-11

Applicant: 日新イオン機器株式会社

Inventor： 正敏 小野田 ,  潤一 立道 ,  浩一 織平

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01L21/67213 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/31701 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771

公开(公告)号：JPWO2009028065A1

公开(公告)日：2010-11-25

申请号：JP2009529914

申请日：2007-08-30

Applicant: 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社

Inventor： 秀徳 高橋 ,  秀徳 高橋

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/31701 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68771

Abstract: 【課題】バッチ式のイオン注入装置において、ディスクと基板との位置合わせを簡単に行うことが可能なイオン注入装置、基板クランプ機構、及びイオン注入方法を提供すること。【解決手段】第1の軸Aを中心にして回動するディスク18と、第2の軸Bを中心にしてディスク18上で回動自在であり、錘付きホルダー50が周囲に装着された基板Wが載せられるパッド31と、パッド31の周囲のディスク18に固定された固定ピン30と、ディスク18の回動運動により、自身の遠心力で該ディスク18上をスライドして、固定ピン30と協働してホルダー50をクランプするスライド片32と、基板Wにイオンビーム20を照射するイオンビーム発生部5とを有するイオン注入装置による。【選択図】図2

公开(公告)号：JP2010040505A

公开(公告)日：2010-02-18

申请号：JP2009019548

申请日：2009-01-30

Applicant: Miyazaki Hironari ,  宮崎 裕也

Inventor： MIYAZAKI YUYA

IPC: H01J37/20 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20264

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a significantly beneficial sample holder mounting a plurality of samples, for example, a sample to be examined and a standard adjustment sample for aberration correction in one sample holder at the same time, thereby enabling to observe each sample.
SOLUTION: The sample holder includes a sample holder driving mechanism for driving the same, enabled to move the sample holder nearly in its length direction. In a preferred embodiment of the sample holder, the sample holder driving mechanism makes it possible to vary an insertion depth of the sample holder into a holding tube of the sample holder, independently of a driving mechanism of nearly a length direction of a sample holder set differently of the sample holder.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：为了提供一个显着有益的样品保持器，其同时安装多个样品例如待检样品和一个样品保持器中的用于像差校正的标准调节样品，从而能够观察 每个样品。 解决方案：样品架包括用于驱动该样品架驱动机构的样品架驱动机构，能够将样品保持器几乎沿其长度方向移动。 在样本保持器的优选实施例中，样本保持器驱动机构使得可以将样本保持器的插入深度改变为样本保持器的保持管，而与样本保持器组的近似长度方向的驱动机构无关 与样品架不同。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2005529341A

公开(公告)日：2005-09-29

申请号：JP2004511867

申请日：2003-06-01

Applicant: クアントミックス・リミテッド

Inventor： ギレアーディ，オファー ,  クリーガー，ヨーゼフ ,  ネチュスタン，アモッツ ,  ベハー，ベレッド

IPC: G01N23/203 ,  B01L3/00 ,  G01N1/36 ,  G01N23/00 ,  G01N23/225 ,  G01N25/00 ,  G02B20060101 ,  G21K5/08 ,  G21K7/00 ,  H01J3/14 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/252 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28

CPC classification number: B01L3/50855 ,  B01L3/508 ,  B01L2200/0689 ,  B01L2300/042 ,  B01L2300/0654 ,  B01L2300/0829 ,  G01N1/36 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/2608

Abstract: 【解決手段】 湿った環境でサンプルを視覚化する方法は、サンプルを湿った環境の標本エンクロージャ内に導入し、走査型電子顕微鏡において該標本エンクロージャ内の該サンプルを走査し、これにより、該サンプルを視覚化する、各工程を備える。

公开(公告)号：JP6416809B2

公开(公告)日：2018-10-31

申请号：JP2016031701

申请日：2016-02-23

Applicant: エフ イー アイ カンパニ ,  FEI COMPANY

Inventor： エルヴェ−ウィリアム レミジー

IPC: H01J37/20 ,  G01N23/2202 ,  G01N23/2204 ,  G01N1/28

CPC classification number: G01N1/2813 ,  G01N1/42 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/208