利用支撑构件形成麦克风的过程

    公开(公告)号:CN101351401A

    公开(公告)日:2009-01-21

    申请号:CN200680049998.8

    申请日:2006-12-21

    CPC classification number: B81C1/00944 B81B2201/0257 H04R19/005

    Abstract: 一种形成麦克风的方法形成背板,并在湿蚀刻可去除牺牲层的至少一部分上形成柔性膜。该方法添加湿蚀刻抗蚀材料,其中将湿蚀刻抗蚀材料的一部分定位在所述膜和所述背板之间以支撑所述膜。湿蚀刻抗蚀材料中的一些不定位在所述膜和背板之间。该方法然后在把先前提到的添加动作期间添加的任何湿蚀刻抗蚀材料去除之前去除牺牲材料。然后,在去除牺牲材料的至少一部分之后,湿蚀刻抗蚀材料大致全部被去除。

    用于在电子能仪表中相位补偿的方法和仪器

    公开(公告)号:CN1751241A

    公开(公告)日:2006-03-22

    申请号:CN02818954.X

    申请日:2002-08-20

    CPC classification number: G01R35/005 G01R21/133

    Abstract: 一种电子仪表包括:检测电路,其用于检测波形的电压和电流值;模/数转换器,其用于将检测到的电压和电流值转换成数字电压和电流值;数字滤波器,其用于延迟数字电压和电流值之中的一个或两者,以补偿在检测电路中相移误差;以及计算电路,其用于响应于经相位补偿的电压和电流值来计算一个或多个波形参数。该电子仪表可以通过下面方法来进行校准:将具有已知相移的测试波形应到该仪表,使用该电子仪表来测量相移,根据在已知相移和所测量相移之间的差值来确定相移误差,并确定数字滤波器系数,以产生对应于相移误差的数字滤波延迟。

    显微加工的陀螺仪
    39.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1628238B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN03803436.0

    申请日:2003-02-06

    CPC classification number: G01C19/5719 Y10T74/12

    Abstract: 一种显微加工的陀螺仪利用科氏加速度检测并测量绕垂直于该基片表面的轴线的旋转速率。特别是,各种谐振结构悬挂在框架内。该谐振结构包括机械地连接的相位和反相位质量,以便产生用于整个谐振系统的单一谐振频率。该显微加工陀螺仪绕轴线的旋转产生作用在该框架上的旋转力。该框架以这样的方式悬挂,使其除旋转方向之外沿所有方向的运动被严格地限制。在该框架所有边上的传感器检测该框架的旋转的偏转,用于测量方向的变化。

    用于在电子能仪表中相位补偿的方法和仪器

    公开(公告)号:CN100523832C

    公开(公告)日:2009-08-05

    申请号:CN02818954.X

    申请日:2002-08-20

    CPC classification number: G01R35/005 G01R21/133

    Abstract: 一种电子仪表包括:检测电路,其用于检测波形的电压和电流值;模/数转换器,其用于将检测到的电压和电流值转换成数字电压和电流值;数字滤波器,其用于延迟数字电压和电流值之中的一个或两者,以补偿在检测电路中相移误差;以及计算电路,其用于响应于经相位补偿的电压和电流值来计算一个或多个波形参数。该电子仪表可以通过下面方法来进行校准:将具有已知相移的测试波形应到该仪表,使用该电子仪表来测量相移,根据在已知相移和所测量相移之间的差值来确定相移误差,并确定数字滤波器系数,以产生对应于相移误差的数字滤波延迟。

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