Abstract:
MTCMOS 제어 장치는 MTCMOS 셀을 온/오프하여 복수의 블록의 온/오프 동작을 제어하는 MTCMOS 컨트롤 회로를 포함한다. MTCMOS 컨트롤 회로는 상기 복수의 블록 중 소정의 블록에 상응하는 블록 온/오프 신호에 응답하여 상기 소정의 블록으로 요청 신호를 제공하고, 상기 소정의 블록으로부터 응답 신호를 제공받아 상기 소정의 블록에 상응하는 제1 및 제2 제어 신호를 생성하고, 상기 제1 제어 신호를 기초로 하여 상기 MTCMOS 셀을 온/오프 컨트롤한다. 따라서, 모바일 기기의 동작 상황에 따라서 사용을 하지 않는 블록에 대해서만 스탠드-바이(stand-by) 모드로 전환함으로써 효율적으로 전류 소비를 줄일 수 있다.
Abstract:
An image signal processing apparatus and method is capable of variably performing format conversion and image quality improvement according to a kind of an inputted image signal. A detecting section detects a kind of image signal inputted from an external device. A control section controls the format of the image signal to be converted by selecting the format converting coefficient from the first storing section in accordance with the kind of the image signal. A format converting section converts a format of the inputted video signal by the selected format converting coefficient. The control section selects an image quality improving converting coefficient corresponding to the video signal from the second storing section. The image quality improving section improves a quality of the video signal converted by the selected image quality improving converting coefficient. By varying the format converting coefficient and image quality improving converting coefficient according to the kind of the image signal, it is possible to perform the format conversion and image quality improvement suitable for the kind of the inputted image signal.
Abstract:
PURPOSE: A method for improving planarization of a wafer in manufacturing the wafer is provided to simultaneously improve planarization and roughness of the wafer, by firstly etching a lapped wafer with an alkaline etching solution, and by secondly etching the wafer etched by the alkaline etching solution with an acid etching solution. CONSTITUTION: A surface of a wafer manufactured by slicing an ingot is lapped by a predetermined thickness. The lapped wafer is etched by an alkaline etching solution to improve planarization of the lapped wafer. An etching process using an acid etching solution is performed to improve roughness of the wafer etched by the alkaline etching solution. The wafer etched by the acid etching solution is polished.
Abstract:
PURPOSE: A surface defect analyzing method of a semiconductor wafer and a bulk defect analyzing method are provided to easily analyze a surface defect on an ion-implantation wafer and a bulk defect moving, and enhance a reliability of a semiconductor device. CONSTITUTION: A surface defect analyzing method analyzes a moving of a surface defect distributed on the ion implantation wafer. The method performs(S10) a thermal processing about the ion implantation wafer and another wafer being not ion-implanted along with a predetermined temperature range. The BMD analyzer analyzes(S14) a surface defect of the wafers thermal-processed, the method analyzes the moving of the wafers according to the result of the BMD analyzer. Thereby, the surface defect analyzing method easily analyzes a surface defect on an ion-implantation wafer and a bulk defect moving, and enhances a reliability of a semiconductor device.
Abstract:
본 발명은 반도체 웨이퍼의 벌크디펙트의 모폴로지 분석방법 및 표면디펙트의 모폴로지 분석방법에 관한 것이다. 본 발명의 벌크디펙트의 모폴로지 분석방법은, 웨이퍼 내에 존재하는 벌크디펙트의 위치를 파악하여 상기 벌크디펙트가 존재하는 위치의 근접 영역에 소정의 표식을 마킹하는 시료준비단계; 상기 벌크디펙트의 모폴로지를 분석할 수 있는 시료를 제조하는 시료제조단계; 및 상기 벌크디펙트의 모폴로지를 분석하는 분석단계를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다. 본 발명의 표면디펙트의 모폴로지 분석방법은, 웨이퍼의 표면을 기준으로 소정의 깊이까지에 존재하는 표면디펙트의 위치를 파악하여 상기 표면디펙트가 존재하는 위치의 근접 영역에 소정의 표식을 마킹하는 시료준비단계; 상기 표면디펙트의 모폴로지를 분석할 수 있는 시료로 제조하는 시료제조단계; 및 상기 표면디펙트의 모폴로지를 분석하는 분석단계를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다. 따라서, 벌크디펙트 및 표면디펙트로 인한 불량의 원인을 정확하게 규명함으로써 반도체소자의 신뢰도가 향상되는 효과가 있다.
Abstract:
여기에 개시된 시스템 온 칩은: 하드 매크로 블록과; 딥 스탑 모드시 딥스탑 인에이블 신호와 딥 스탑모드로의 진입을 알리는 딥 스탑모드 상태 신호를 활성화시키는 전력 제어부와; 노멀 모드시 멀티-문턱 씨모스 로직으로부터 출력되는 데이터를 상기 하드 매크로 블록으로 전송하는 딥스탑 제어 로직과; 그리고 상기 딥 스탑모드 상태 신호의 활성화에 응답하여 전원 제어 신호 및 데이터 제어 신호를 활성화시키는 멀티-문턱 씨모스 제어 로직을 포함하며, 상기 딥스탑 제어 로직은 상기 딥스탑 인에이블 신호, 상기 딥 스탑모드 상태 신호, 그리고 상기 데이터 제어 신호의 활성화에 응답하여 상기 멀티-문턱 씨모스 로직으로부터 출력되는 데이터를 래치하도록, 그리고 상기 딥스탑 인에이블 신호 및 상기 전원 제어 신호의 활성화에 응답하여 상기 하드 매크로 블록으로의 전원 공급을 차단하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
본 발명은 주기가 있는 패턴의 CD 균일도 및 위상결함 불균일 정보를 높은 정밀도를 유지하면서 고속으로 검사할 수 있는 패턴 균일도 검사장치에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은, 주기적인 패턴을 갖는 시료에 광원을 통해 단파장의 레이저 빔을 조사하고, 상기 시료에 조사된 후 마스크의 형상정보와 위상결함 정보에 의해 편광정보가 변화된 반사 빔의 주파수를 검출기를 통해 검출하여, 검출한 반사 빔의 주파수와 광원에서 출사된 기준 빔의 주파수를 로크인 증폭기를 통해 비교한 후 시료에서 반사된 레이저의 진폭과 위상 신호를 측정하여 측정된 레이저의 진폭과 위상 신호 분석으로 상기 시료 패턴의 CD 균일도 및 위상결함 정보를 검사하는 것이다.