公开(公告)号：KR1020170084860A

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：KR1020160004228

申请日：2016-01-13

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 양경훈 ,  이기원 ,  이주석 ,  박재홍

IPC: H04B10/2575

Abstract: 부성미분저항소자기반의광-마이크로파변환기, 및이를포함하는장치들이개시된다. 일실시예에따른광-마이크로파변환기는부성미분저항소자를포함하고, 발진하여마이크로파를생성하는발진기와, 상기발진기에접속되고, 광신호에기초하여상기광 신호에대응하는전기적신호를생성하는광 검출기를포함한다.

Abstract translation: 基于光的装置包括微波转换器的负微分电阻元件，它被公开。 根据实施例，微波转换器的示例性的光包括负微分电阻元件的光，并且振荡被连接到产生微波振荡器，振荡器，基于该光信号对应于该光信号的电信号 的检测器。

公开(公告)号：KR101617952B1

公开(公告)日：2016-05-09

申请号：KR1020140098547

申请日：2014-07-31

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박재홍 ,  장현익 ,  김우충 ,  양충모 ,  김희연

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/60

Abstract: 본발명은경사진관통구멍을구비한구조체의제조방법에관한것으로서, 더욱상세하게는소프트리소그래피를이용하여경사진관통구멍을구비한구조체를제조하는방법에관한것이다. 본발명에따른경사진관통구멍을구비한구조체의제조방법은, 경사진양각구조를구비한스탬프를준비하는단계와, 금속층이형성된기판상에고분자용액을도포하는단계와, 도포된고분자용액에상기스탬프를가압접촉시켜상기고분자용액에경사진음각구조를형성하는단계와, 상기고분자용액을경화하여경사진음각구조가형성된고분자층을형성하는단계와, 상기스탬프를경화된고분자층으로부터분리하는단계와, 상기고분자층의음각구조를식각하여상기금속층을노출시키는단계와, 노출된상기금속층과고분자층의음각구조에금속구조를형성하는단계와, 상기금속층과고분자층으로부터금속구조를분리하여경사진관통구멍을구비한구조체를얻는단계를포함한다. 본발명에따른경사진관통구멍을구비한구조체의제조방법에따르면, 종래의방법에비해서용이하게경사진관통구멍을구비한구조체를제조할수 있다.

公开(公告)号：KR1020150053303A

公开(公告)日：2015-05-18

申请号：KR1020130134857

申请日：2013-11-07

Applicant: 한국과학기술원 ,  더 리젠츠 오브 더 유니버시티 오브 미시건

Inventor： 김병일 ,  이석재 ,  이태재 ,  박재홍 ,  이경균 ,  최봉길 ,  니콜라스에이.고토브 ,  테리슈

IPC: B29C59/02 ,  B29C41/02

CPC classification number: B29C59/02 ,  B29C41/02

Abstract: 본원발명은제 1 기판상에초기미세구조패턴을형성하여는단계, 상기제 1 기판상의초기미세구조패턴을변형시켜, 미세구조패턴을형성하는마스터몰드제조단계, 상기마스터몰드상에고분자용액을도포하고, 경화시켜고분자몰드를제조하는단계및 상기경화된고분자몰드를상기마스터몰드에서분리하는단계를포함하여고분자몰드를제조한다. 제조된상기고분자몰드상에고분자용액을도포하는단계, 상기고분자용액에자외선을조사하는방법으로상기고분자용액을제 1 차경화시키는단계, 상기고분자몰드상에도포된고분자용액상에제 2 기판을위치시키고, 상기도포된고분자용액을제 2 차경화시키는단계및 상기경화된고분자용액에서상기고분자몰드를분리하여미세구조를완성하는단계를포함하여미세구조를제조한다. 본원발명은상기방법을이용하여종래의방법으로제조된미세구조보다유연한표면의재질에의부착성이향상된미세구조를제조하는것이가능하다. 이는초기미세구조패턴을산화시키거나, 에칭하여변형하는단계를통해미세구조를변형시켜미세구조를제조함으로써가능하다. 또한, 두번의단계를거쳐상기미세구조를경화시키는단계를적용함으로써직물등의흡수성이있는표면에적용이용이하다. 마지막으로, 상기미세구조표면에친수성을부여하는것이가능하다.

Abstract translation: 聚合物模具的制造方法包括以下步骤：在第一基板上形成初始精细结构图案; 通过转换第一基板上的初始精细结构来制造形成精细结构图案的母模; 通过在母模上涂覆聚合物溶液并硬化结果来制造聚合物模具; 并将硬化的聚合物模具与主模具分离。 精细结构的制造方法包括以下步骤：在制造的聚合物模具上涂覆聚合物溶液; 主要通过向聚合物溶液辐射紫外线来硬化聚合物溶液; 将第二衬底定位在涂覆在聚合物模具上的聚合物溶液上，并且二次硬化涂覆的聚合物溶液; 并通过将聚合物模具与硬化聚合物溶液分离来完成精细结构。 与通过现有方法制造的精细结构相比，本发明能够制造具有改善的具有柔性表面的材料的附着性的精细结构，其可以通过蚀刻转变或氧化的步骤转化精细结构 初步精细结构。 此外，通过应用通过两个工序来硬化精细结构的步骤，精细结构可以容易地应用于诸如织物等的吸收表面上。 最后，可以将精细结构的表面赋予亲水性。

公开(公告)号：KR101342900B1

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：KR1020110144878

申请日：2011-12-28

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박재홍 ,  안치원 ,  강희오 ,  오재섭 ,  김광희 ,  서창호 ,  장현익

IPC: B29C33/42 ,  B29C39/00 ,  B29C59/02

Abstract: 본발명은나노임프린트용복제몰드에관한것으로서, 더욱상세하게는나노패턴이전사되는대상인고분자물질로부터의이형성이향상된나노임프린트용복제몰드의제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, (a) 마스터기판에양각과음각의나노패턴을형성하여마스터몰드를제작하는단계와, (b) 상기마스터몰드상에고분자용액을도포한후 경화하여역상의나노패턴이형성된고분자몰드를제조하는단계와, (c) 상기고분자몰드를상기마스터몰드에서분리하는단계와, (d) 상기고분자몰드의역상의나노패턴상에금속층을형성하는단계를포함하는나노임프린트용복제몰드의제조방법이제공된다. 본발명에따른나노임프린트용복제몰드는나노패턴상에금속층이형성되어있거나, 단독의금속박판체로구성되어있어종래의나노임프린트용몰드에비해서이형성이우수하다. 따라서고분자물질에전사된나노패턴의품질이우수하다.

公开(公告)号：KR1020120080965A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：KR1020110002456

申请日：2011-01-10

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 김경민 ,  김희연 ,  김병일 ,  경기명 ,  박재홍 ,  이귀로

IPC: G01J1/02 ,  G01J5/02 ,  G01J5/20

CPC classification number: G01J5/0225 ,  G01J5/20

Abstract: PURPOSE: A pixel design for enhancing a fill factor of a microbolometer is provided to enhance the structural stability of a microbolometer because four pixels share a single anchor and to improve productivity because a size of a chip having the microbolometer is reduced. CONSTITUTION: A pixel design for enhancing a fill factor of a microbolometer comprises a bolometer array. The bolometer array is composed of an arrangement of bolometer pixels. The bolometer pixel comprises a lower layer, a collaboration(130), an upper layer, an insulating layer, and an anchor(160). The lower layer comprises a reflective metal layer(120) of the upper part of a substrate(110). The collaboration is arranged in the upper part of the lower layer. The upper layer comprises a bolometer layer(140) of the upper part of the collaboration and a penetration metal layer(150). The insulating layer insulates the lower layer and upper layer. The anchor supports the upper layer.

Abstract translation: 目的：提供增强微测光计填充因子的像素设计，以增强微测热计的结构稳定性，因为四个像素共享一个锚点并提高生产率，因为具有微测热计的芯片尺寸减小。 构成：用于增强微辐射热计的填充因子的像素设计包括测辐射热计阵列。 测辐射热计阵列由测辐射计像素组成。 测辐射热计像素包括下层，协作（130），上层，绝缘层和锚（160）。 下层包括衬底（110）的上部的反射金属层（120）。 合作安排在下层的上部。 上层包括合作的上部的测辐射热计层（140）和穿透金属层（150）。 绝缘层绝缘下层和上层。 锚固支撑上层。

公开(公告)号：KR1020110117282A

公开(公告)日：2011-10-27

申请号：KR1020100036651

申请日：2010-04-21

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이건재 ,  이상용 ,  김승준 ,  유현균 ,  이석재 ,  안치원 ,  박재홍 ,  박태정 ,  이상엽

IPC: G01N33/52 ,  H01L29/786 ,  G01N33/00

CPC classification number: G01N27/414 ,  G01N33/52 ,  H01L21/02675

Abstract: 레이저를 이용한 플렉서블 바이오센서 및 이를 이용한 검출방법이 제공된다.
본 발명에 따른 플렉서블 바이오센서는 플렉서블 하부 기판;
상기 플렉서블 하부 기판의 상부에 적층되며, 제 1형 불순물이 도핑된 소스 및 드레인 영역이 소정 간격으로 이격되어 형성된 실리콘 기판; 및 상기 실리콘 기판에 적층된 소스, 드레인 및 게이트 전극을 포함하며, 여기에서 상기 게이트 전극에는 생물학적 활성 물질을 검출하는 검출 물질이 고정화되며, 상기 실리콘 기판은 레이저에 의하여 결정화된 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 바이오센서는 플렉서블 기판상에 직접 구현되므로, 실리콘 기판에서 소자 기판을 제조한 후, 플렉서블 기판으로 전사시키는 종래 기술에 비하여 경제성이 우수하다.

公开(公告)号：KR1020110117280A

公开(公告)日：2011-10-27

申请号：KR1020100036649

申请日：2010-04-21

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이건재 ,  김승준 ,  이석재 ,  안치원 ,  박재홍 ,  박태정 ,  이상엽

IPC: G01N33/50 ,  G01N27/26 ,  G01N33/553 ,  C07K19/00

Abstract: 금 결합물질을 이용한 플렉서블 바이오 센서 및 그 제조방법이 제공된다.
본 발명에 따른 플렉서블 바이오 센서는 플렉서블 기판;
상기 플렉서블 기판 상에 적층되며, 제 1형 불순물이 도핑된 소스 및 드레인 영역이 소정 간격으로 이격되어 형성된 실리콘 기판; 및
상기 실리콘 기판에 적층된 금으로 이루어진 소스, 드레인 및 게이트 전극을 포함하며, 여기에서 상기 게이트 전극에는 금과 특이적으로 결합하는 금 결합물질이 융합된 융합단백질이 고정된 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 바이오센서는 플렉서블 기판상에 구현되므로, 종래의 실리콘 기판상에 구현된 바이오센서가 가지는 기판의 한계를 효과적으로 극복할 수 있다.