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公开(公告)号：KR101387996B1
公开(公告)日：2014-04-22
申请号：KR1020120064059
申请日：2012-06-15
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L51/56
Abstract: 본 발명은 능동형 유기 자체 발광 소자의 열적 및 비열적 복합 리페어 장치에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 다양한 펄스폭을 갖는 펄스 레이저들을 병행하여 필요에 따라 선택적으로 사용함으로써, 즉 열적 가공 및 비열적 가공이 모두 가능한 복합적 리페어가 가능하도록 하여, 다양한 조건에 따라 가장 효율적인 공정 진행을 가능하게 함으로써 궁극적으로는 경제적이고 효율적인 상용화가 가능하게 하고자 하는, 능동형 유기 자체 발광 소자의 열적 및 비열적 복합 리페어 장치를 제공함에 있다.
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公开(公告)号：KR101273462B1
公开(公告)日：2013-06-11
申请号：KR1020110044833
申请日：2011-05-12
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/70 , B23K26/046 , B23K26/08 , G02B26/00
Abstract: 본 발명의 목적은 부가 공정 없이 단시간 내에 고종횡비를 가지는 형상이나 종래 레이저 가공에서보다 더욱 미세한 형상을 높은 정밀도로 가공할 수 있는, 진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치는, 레이저 가공을 수행하는 레이저 가공 장치(100)에 있어서, 극초단 펄스 레이저 빔을 발생시키는 레이저 광원(110); 상기 레이저 광원(110)에서 발생된 빔을 분광하여 상기 가공 대상물(500) 측으로 보내는 빔 스플리터(beam splitter, 120); 상기 빔 스플리터(120)에서 보내진 빔을 상기 가공 대상물(500)의 가공 부위로 집광하는 대물 렌즈(130); 상기 가공 대상물(500)이 그 위에 놓여지며, 제어부(150)에 의하여 x, y, z 3축 방향으로 이동 가능하도록 형성되는 스테이지(140); 상기 대물 렌즈(130)에 연결 구비되며, 상기 제어부(150)에 의하여 제어되어 상기 대물 렌즈(130)에 진동을 가하는 진동자(160); 를 포함하여 이루어지며, 상기 레이저 광원(110)은 펄스폭이 펨토초 이하의 레이저를 발생시키도록 형성되는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020120126789A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：KR1020110044837
申请日：2011-05-12
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/38 , B23K26/064 , H01S3/10
Abstract: PURPOSE: A fine application apparatus for a high aspect ratio shape using an ultra-short pulse laser is provided to precisely process a fine shape with a high aspect ratio by using plasma created by ultra-short pulse laser. CONSTITUTION: A fine application apparatus for a high aspect ratio shape comprises a laser source(1) which generates ultra-short pulse laser beams and a condensing lens(2) which condenses the laser beams generated by the laser source so that the laser beams passing through the condensing lens generate plasma channeling. A work piece(50) is arranged in the area of plasma channeling, thereby implementing shape processing.
Abstract translation: 目的：提供使用超短脉冲激光器的高纵横比形状的精细施加装置，通过使用由超短脉冲激光产生的等离子体来精确地处理具有高纵横比的精细形状。 构成：用于高纵横比形状的精细施加装置包括产生超短脉冲激光束的激光源（1）和聚光透镜（2），其聚合由激光源产生的激光束，使得激光束通过 通过聚光透镜产生等离子体通道。 工件（50）布置在等离子体通道的区域中，从而实现形状处理。
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公开(公告)号：KR1020120126783A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：KR1020110044829
申请日：2011-05-12
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/57 , B23K26/082 , H01S3/10 , H01L21/302
Abstract: PURPOSE: An apparatus for selectively removing a thin layer on a substrate using laser machining is provided to implement non-heating processing by using ultra-short pulse laser. CONSTITUTION: An apparatus for selectively removing a thin layer on a substrate using laser machining comprises a laser beam source(110), a beam splitter(120), an objective lens(130), and a stage(140). The laser beam source generates ultra-short pulse laser beam. The beam splitter divides the beam generated by the laser beam source and transmits the split beams to a work piece(500). The objective lens concentrates the beams transmitted from the beam splitter to a target portion of the work piece. The stage, on which the work piece is placed, can be moved by a control unit(150) in x-, y-, and z-axis directions.
Abstract translation: 目的：提供一种使用激光加工选择性去除衬底上的薄层的装置，以通过使用超短脉冲激光器实现非加热处理。 构成：使用激光加工选择性地去除衬底上的薄层的装置包括激光束源（110），分束器（120），物镜（130）和平台（140）。 激光束源产生超短脉冲激光束。 分束器分割由激光束源产生的光束，并将分割光束传输到工件（500）。 物镜将从分束器传输的光束集中到工件的目标部分。 放置工件的平台可以通过控制单元（150）在x轴，y轴和z轴方向上移动。
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公开(公告)号：KR1020100107932A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：KR1020090026302
申请日：2009-03-27
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: PURPOSE: A hybrid laser machining apparatus using ultrasonic vibration is provided to prevent thermal damage by forming microholes with a femtosecond laser having short pulse width. CONSTITUTION: A hybrid laser machining apparatus using ultrasonic vibration comprises a pulse laser generating unit(10), a polarizer(20), a condensing lens(30), and a vibration generator(50). The polarizer directs the path of laser beam to an object(200) on a stage(40). The condensing lens condenses the laser beam reflected from the polarizer to be irradiated to the object. The length of the laser path from the laser generating unit to the object is repetitively extended or reduced so that the vibration generator creates ultrasonic vibration.
Abstract translation: 目的：提供使用超声波振动的混合激光加工装置，通过用脉冲宽度短的飞秒激光形成微孔来防止热损伤。 构成：使用超声波振动的混合式激光加工装置包括脉冲激光发生单元（10），偏振器（20），聚光透镜（30）和振动发生器（50）。 偏振器将激光束的路径引导到台（40）上的物体（200）。 聚光透镜将从偏振器反射的激光束聚光以被照射到物体上。 从激光发生单元到物体的激光路径的长度被重复地扩展或减小，使得振动发生器产生超声波振动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100964680B1
公开(公告)日：2010-06-21
申请号：KR1020070126991
申请日：2007-12-07
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/035 , B23K26/00
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치는 피가공물이 설치되는 지그와, 지면에 대하여 상기 피가공물을 제1 방향으로 이송할 수 있는 제1직선 이송부와, 상기 제1 직선 이송부에 고정 설치되며, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 피가공물을 이송할 수 있는 제2직선 이송부와, 상기 제2 직선 이송부에 고정 설치되며, 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 상기 피가공물을 이송할 수 있는 제3직선 이송부와, 상기 제3직선 이송부에 고정 설치되며, 상기 제3 방향과 교차하는 방향의 제1 회동축을 중심으로 상기 피가공물을 회동시킬 수 있는 제1회동 이송부와, 상기 제1회동 이송부에 고정 설치되며, 상기 제1 회동축과 교차하는 방향의 제2 회동축을 중심으로 상기 피가공물을 회동 시킬 수 있는 제2회동 이송부, 및 상기 피가공물에 레이저를 조� ��하는 레이저 조사부를 포함할 수 있다.
다면체, 레이저, 스테이지, 초점, 이송부-
公开(公告)号：KR1020090053098A
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：KR1020070119757
申请日：2007-11-22
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/18
CPC classification number: G03F7/18 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/3021 , G03F7/7045
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 비평면 코팅 장치는 비평면 형상의 기판에 레지스트를 공급하는 레지스트 공급부와, 상기 기판의 아래에 설치되고, 레지스트가 코팅되는 기판의 면과 대향하도록 설치되며 기체 분사구가 형성된 테이블과, 상기 테이블에 연결된 지지축과, 상기 지지축와 연결되어 상기 지지축에 회전력을 인가하는 구동 모터, 및 상기 기체 분사구로 기체를 공급하는 펌프를 포함할 수 있다.
레지스트, 코팅, 비평면, 기체 분사구-
公开(公告)号：KR1020070103842A
公开(公告)日：2007-10-25
申请号：KR1020060035683
申请日：2006-04-20
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01S3/10
CPC classification number: H01S3/101 , G02B27/1073 , H01S3/10061 , H01S5/0262
Abstract: A method and an apparatus for processing an ultrashort pulse laser are provided to minimize a Moir pattern, which is generated in a single pulse process, by adjusting polarization properties of split pulses. An apparatus for processing an ultrashort pulse laser includes a laser generator(1), a laser splitter(10), a path coupler(27), and a process unit(40). The laser generator generates a laser pulse. The laser splitter splits the laser and applies the split lasers into different paths. The path coupler couples the paths for the lasers from the laser splitter. The process unit processes an object by using the coupled laser. The laser splitter includes a beam splitter(11), a polarization adjuster(14), a polarization plate(15), and a transfer member(20). The polarization plate adjusts an output of the split laser. The transfer member adjusts a path for the split laser.
Abstract translation: 提供一种用于处理超短脉冲激光器的方法和装置，通过调节分离脉冲的偏振特性来最小化在单个脉冲过程中产生的莫尔图案。 一种用于处理超短脉冲激光器的设备包括激光发生器（1），激光分离器（10），路径耦合器（27）和处理单元（40）。 激光发生器产生激光脉冲。 激光分束器分裂激光器并将分离的激光器应用到不同的路径中。 路径耦合器耦合来自激光分路器的激光器的路径。 处理单元通过使用耦合的激光来处理对象。 激光分束器包括分束器（11），偏振调节器（14），偏振板（15）和转印构件（20）。 偏振板调节分割激光器的输出。 转印构件调整分割激光器的路径。
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公开(公告)号：KR1020170130852A
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：KR1020160061597
申请日：2016-05-19
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/3213 , H01L21/28 , H01L21/268 , H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/56
CPC classification number: H01L21/02 , H01L21/027 , H01L21/268 , H01L21/28 , H01L21/3213 , H01L21/56 , H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 본발명의일 실시예에따른도전물질의패터닝장치는액체금속을포함하는도전물질이형성된전사기판, 상기전사기판을회전시키는회전부, 상기도전물질에레이저빔을조사하는레이저부, 상기전사기판과이격되어위치하며상기도전물질을수용하는수용기판이탑재되는스테이지, 그리고상기전사기판과인접하여위치하며상기도전물질을냉각시키는냉각부를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例的导电材料的图案化装置包括：激光单元，其照射激光束到旋转部分的转印基板，其使所述转印基板的导电性材料，形成在转印基板的导电材料含有液体的金属和 它间隔开，并且该级接收该基板被安装用于接收所述导电材料，并位于相邻于转印基板包括用于冷却所述导电材料的冷却。
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公开(公告)号：KR1020170053345A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：KR1020150155727
申请日：2015-11-06
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/08 , B23K26/06 , B23K26/046 , B23K26/04 , B23K26/70
Abstract: 본발명은공정속도를향상시키고, 및오차를감소시킬수 있는 3차원레이저조사장치를제공한다. 본발명의일 측면에따른 3차원레이저조사장치는제1 지령주기로이동이제어되는스테이지, 상기제1 지령주기보다더 짧은제2 지령주기로제어되어레이저빔을이동시키는스캐너, 상기제1 지령주기로상기스테이지의이동을제어하는제1 제어부, 상기스테이지의이동오차를측정하는오차측정부, 상기제2 지령주기로상기스캐너를제어하는제2 제어부, 및상기스테이지의이동오차를보상하도록상기스캐너의레이저조사경로를수정하는보상제어부를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种能够提高处理速度并减少误差的三维激光照射装置。 根据本发明的一个方面的三维激光照射装置包括：移动受第一命令周期控制的台，受第二命令周期控制的扫描器，该第二命令周期短于第一命令周期以移动激光束， 第二控制单元，用于在第二指令周期中控制扫描仪;以及第二控制单元，用于控制扫描仪的激光照射以补偿台的移动误差， 还有一个补偿控制部分，用于纠正路径。
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