Abstract:
본 발명은 선형, 회전형 전기기기의 구조에 관한 것으로, 전기적으로 180도 위상각 차이를 가지는 한 쌍의 권선을 채용한 모듈형 이동자 구조를 적용하여 자속의 경로를 단축하여 종래 자속역전식 전기기기보다 체적을 줄일 수 있는 것을 특징으로 한다. 특히 종래의 동일 극성 영구자석을 사용하는 자속역전식의 전기기기 구조의 경우 상기 모듈형 이동자 구조를 적용하면 부하역기전력 불평형을 저감하는 효과가 있다. 모듈형 이동자 구조는 응용시스템의 필요에 따라 다양한 형태로 변형이 가능하며 이동자 또는 고정자 철심에 소정의 스큐를 적용하면 힘의 맥동 저감이 가능한 전기기기를 구성할 수 있다. 또한 선형전기기기에 있어서 모듈형 이동자철심에 회전이 가능하는 힌지(hinge) 구조를 적용한 경우 직선과 곡선 주행이 가능한 형태로의 변형도 가능하다. 본 발명에서 제안한 형태를 회전형전기기기로 확장할 경우 종래 전기기기보다 극수를 증가시키는 것이 용이하여 저속 고토크 직접구동용 회전형전기기기를 구성할 수 있다. 자속역전식전기기기, 선형전기기기, 회전형전기기기, 자속집중기, 돌출치형, 내전, 외전, 이동자, 고정자, 회전자, 곡선운동, 박형냉각기구
Abstract:
이동자 배치를 전동기 이동 방향으로 배치하는 방법과 이동자의 이동방향과 수직이 되도록 배치하는 방법을 제시하여 공간상의 제약을 받는 응용에도 능동적으로 대처할 수 있는 3상 영구자석 여자 횡자속 선형 전동기가 제공된다. A상 전동기는 고정자에 대하여 직렬로 배치되고 제1 영구자석, 제1 이동자 코어, 및 제1 권선으로 구성된다. B상 전동기는 상기 고정자에 대하여 직렬로 배치되고 제2 영구자석, 제2 이동자 코어, 및 제2 권선으로 구성된다. C상 전동기는 상기 고정자에 대하여 직렬로 배치되고 제3 영구자석, 제3 이동자 코어, 및 제3 권선으로 구성된다. 전력 변환 장치는 상기 A상 전동기에 연결되어 상기 A상 전동기에 흐르는 전류의 양을 제어하는 한 쌍의 제1 스위치, 상기 B상 전동기에 연결되어 상기 B상 전동기에 흐르는 전류의 양을 제어하는 한 쌍의 제2 스위치, 및 상기 C상 전동기에 연결되어 상기 C상 전동기에 흐르는 전류의 양을 제어하는 한 쌍의 제3 스위치를 구비한다. 3상 영구자석 여자 횡자속 선형 전동기
Abstract:
PURPOSE: A three phase transverse flux linear motor with permanent magnet excitation is provided to facilitate the manufacture of a movable part by molding the movable part having three phase transverse flux with resin. CONSTITUTION: A movable part(10) comprises an E type iron core(11), a permanent magnet(12), A phase, B phase and C phase coils(13a,13b,13c), and a support structure. The E type iron core and the permanent magnet are sequentially arranged. The A phase, B phase, and C phase coil surround the E type iron core and the leg part of the permanent magnet. A support structure mechanically clinches the E type iron core, the permanent magnet, A phase, B phase, and C phase coil. A support structure is made of non-magnetic and non-conductive resin. A fixing part(20) is arranged along the moving direction of the movable part.
Abstract:
본 발명은 고진공의 진공챔버 내의 원통금형 스테이지에 장착된 원통금형 기판을 회전시키면서 전자빔(E_beam)을 조사하여 원통금형 기판에 나노급 고분해능으로 단시간 내에 많은 양의 연속 패턴을 형성할 수 있게 하고, 원통금형 스테이지(진공챔버)의 나노급 정밀도의 수평 이송과 Z축, θx, θy 능동 자세 제어를 통하여 노광기 자체의 기계적 위치 제어 오차를 최소화시킬 수 있는 노광기 및 노광 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 노광기는, 진공 챔버의 내부에 원통금형 스테이지를 장착하고, 상기 원통금형 스테이지에 결합된 원통금형을 움직이면서 상기 원통금형에 빔을 조사하여 패턴을 형성함으로써 일정 면적에 나노급 연속 패턴을 형성할 수 있다. 원통금형 기판, 전자빔(E-beam), 나노 노광기, 상대 이송, 능동 자세 제어
Abstract:
A three-phase permanent magnet excited a transverse flux linear motor is provided to remove the restriction of the size and space by arranging the mover in serial or in parallel. An A-phase electric motor(410) is arranged in parallel to a stator, and a-phase electric motor comprises a first permanent magnet, a first mover core, and a first coil. A B-phase electric motor(420) is arranged in parallel to the stator, and the B-phase electric motor comprises a second permanent magnet, a second mover core, and a second coil. A C-phase electric motor(430) is arranged in parallel to the stator, and the C-phase electric motor comprises a third permanent magnet, a third mover core, and a third coil. A power conversion device comprises a pair of first switches, a pair of second switches, and a pair of third switches.
Abstract:
본 발명은 원통형 기판을 회전시키면서 발생하는 원심력으로 얇고 균일한 두께의 코팅막을 표면에 형성하는 원통형 기판용 스핀 코터 및 이를 이용한 코팅방법에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 기판에 균일한 코팅막을 형성하는 스핀 코터에 있어서, 제어부에 의해 회전속도가 조절되는 모터의 모터축과 연결되는 회전판; 상기 회전판의 길이방향 가장자리에 마련되는 복수의 고정대와 이 고정대로부터 일정 간격 이격된 회전판의 내측에 구성되는 복수의 수평이동대; 상기 고정대와 수평이동대에 설치되어 원통형 기판의 중심축에 연결되는 지지축;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터를 제공한다. 그리고, 상기 고정대는 높이조절을 위한 높이조절장치가 더 포함되어 설치된다. 원통, 기판, 모터, 회전, 원심력, 중력, 기어, 감광제
Abstract:
본 발명은 내전형 영구자석 여자 횡자속 전동기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 종래의 외전형 영구자석 여자 횡자속 전동기에 비해서, 적은 양의 영구자석을 사용할 수 있도록 축방향 및/또는 방사형의 적층구조를 고정자 분말철심에 적용시켜, 궁극적으로 고출력이면서 동력 발생 효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라, 소음 및 진동을 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있도록 한 내전형 영구자석 여자 횡자속 전동기에 관한 것이다. 즉, 본 발명은 금형을 통해 압출 성형하는 고정자 분말철심과, 상기 고정자 분말철심 둘레의 상하층부에 서로 일정한 간극을 두고 적층되어 있는 고정자 성층철심과, 상기 간극 사이로 고정자 분말철심을 감고 전류가 흐르는 여러겹의 코일인 고정자권선으로 이루어진 고정자와 상기 고정자 내부에 회전자 영구자석과 회전자 분말철심이 서로 마주보게 번갈아 배열되어 있는 회전자를 포함하여 구성된 내전형 영구자석 여자 횡자속 전동기를 제공하고자 한 것이다. 내전형, 분말철심, 영구자석, 횡자속 전동기, 고효율, 고출력
Abstract:
A non-contact transformer is provided to increase energy transfer efficiency and to improve quality of an output voltage, by improving a coupling coefficient of a track of the whole non-contact transformer. A primary transformer(10) includes a primary winding resistor(11) and a primary leakage inductance(12) and a primary mutual inductance(13) connected to the winding resistor(11) serially. A secondary transformer(20) is connected to the primary transformer through magnetic non-contact type, and includes a secondary winding resistor(21) and a secondary leakage inductance(22) and a secondary mutual inductance(23) connected to the winding resistor serially. The first transformer includes a first resonant unit cancelling the primary leakage inductance. The second transformer includes a second resonant unit cancelling the secondary leakage inductance.
Abstract:
본 발명은 선형 운동을 얻기 위한 리니어 모션 가이드와 선형 전동기의 복잡한 연결 구조를 제거하면서 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자를 리니어 모션 가이드의 고정부와 공통으로 이용할 수 있도록 하기 위한 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템을 제공한다. 이를 위해 본 발명은 리니어 모션 가이드의 고정부재와 리럭턴스형 선형 전동기의 고정부재를 상호 결합한 고정부와, 상기 리니어 모션 가이드의 이동부재와 상기 리럭턴스형 선형 전동기의 이동부재를 상호 연결한 이동부로 구성된 것을 특징으로 함에 의해, 선형 전동기와 리니어 모션 가이드가 동시에 필요한 선형 이송장치의 구조를 간략화하고, 비용을 절감할 수 있다는 효과를 갖게 된다. 리럭턴스형 선형 전동기, 리니어 모션 가이드, 선형 이송장치, 결합
Abstract:
PURPOSE: A method and an apparatus are provided to prevent accumulation of measurement error, and achieve improved accuracy of position detection with a low cost. CONSTITUTION: A method comprises a step of arranging a proximity sensor(310) for detecting convex-concave structure of a stator(410), in a predetermined portion of a bottom surface of a mover(420) opposed to a top surface of the stator; a step of arranging a rotatable encoder(320) in a predetermined portion of the bottom surface of the mover such that the rotatable encoder contacts a rail(470) for mover guide arranged near a side surface of the stator; and a step of permitting a main control unit to receive signals from the proximity sensor and the rotatable encoder upon movement of the mover, operate a software algorithm for calculating a shift distance of the mover on the basis of the received signal, and calculating the shift distance of the mover, thereby detecting relative positions of the mover and the stator.