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公开(公告)号：KR100977466B1
公开(公告)日：2010-08-23
申请号：KR1020080065102
申请日：2008-07-04
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: G03F7/70825 , G03F7/24 , G03F7/703 , G03F7/707 , G03F7/70725 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , G03F7/70841 , G03F7/70858 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K21/12 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18 , H02N15/00
Abstract: 본 발명은 반도체 칩의 소형화와 대용량화 추세로 인한 회로 패턴의 미세화로 고정밀도의 노광장치가 요구됨에 따라 종래의 평면형 스테이지를 대신하여 대면적의 반도체 기판이나 디스플레이 패널의 기판상에 다양한 임의 형상의 미세 크기의 패턴을 생성하기 위하여 원통형 기판을 사용하는 경우에 있어서, 원통형 기판과 상기 원통형 기판에 결합된 제1영구자석 배열과 제1코일 배열의 조합 그리고 제2영구자석 배열과 제2코일 배열의 조합을 포함하도록 구성하여 상기 코일 배열들에 전류를 인가함에 따라 발생한 자기장이 대응하는 상기 영구자석 배열들의 자기장과의 상호작용에 의하여 발생하는 자기력을 제어하여 미세하게 상기 원통형 기판의 부상과 이송 그리고 회전을 가능하도록 하는 원통형 자기부상 스테이지를 제공한다.
또한, 상기 코일 배열에 열이 발생하는 것을 해소하기 위하여 상기 코일 배열이 조립된 고정자에 냉각핀으로 접촉하고, 상기 고정자의 내부에 형성된 냉각관로를 포함하는 냉매 순환 루프를 포함하는 원통형 자기부상 스테이지용 냉각장치를 제공한다.
원통형 기판, 자기부상, 자기부상 스테이지, 노광 장치-
公开(公告)号：KR100924656B1
公开(公告)日：2009-11-03
申请号：KR1020070117809
申请日：2007-11-19
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 원통형 기판을 회전시키면서 발생하는 원심력으로 얇고 균일한 두께의 코팅막을 표면에 형성하는 원통형 기판용 스핀 코터 및 이를 이용한 코팅방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 기판에 균일한 코팅막을 형성하는 스핀 코터에 있어서,
제어부에 의해 회전속도가 조절되는 모터의 모터축과 연결되는 회전판; 상기 회전판의 길이방향 가장자리에 마련되는 복수의 고정대와 이 고정대로부터 일정 간격 이격된 회전판의 내측에 구성되는 복수의 수평이동대; 상기 고정대와 수평이동대에 설치되어 원통형 기판의 중심축에 연결되는 지지축;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터를 제공한다.
그리고, 상기 고정대는 높이조절을 위한 높이조절장치가 더 포함되어 설치된다.
원통, 기판, 모터, 회전, 원심력, 중력, 기어, 감광제-
公开(公告)号：KR1020090051429A
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：KR1020070117818
申请日：2007-11-19
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/509 , H01J37/3211
Abstract: 본 발명은 RF 안테나를 이루는 도체와 절연 진공관 사이에 절연 공간을 두고 용량성 결합 전극을 나선형으로 구성하여 내장형 안테나를 구성하며, 용량성 결합 전극(Capacitive Coupling Electrode)의 일단이 접지되면 패러데이 쉴드(FS, Faraday shield)로 작동할 수 있는 유도성 결합 플라즈마의 내장형 RF 안테나 및 이를 장착한 플라즈마 챔버에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은, 접지와 연결되고 도체로 이루어진 외벽으로 구성되는 공정 챔버; 상기 공정 챔버로부터 절연되어 그 내부에 장착되는 가공물 지지대; 상기 가공물 지지대와 연결되는 전원공급부; 상기 공정 챔버의 밀봉 장치를 통해 밀봉되어 내장되는 한 개 이상의 RF 안테나; 상기 RF 안테나는 내부에 안테나 도체가 구성되고, 이 안테나 도체와 같은 축에서 절연 공간에 의해 분리되어 안테나 도체의 외부를 나선형으로 감싸는 용량성 결합 전극이 구성되고, 상기 안테나 도체와 용량성 결합 전극을 둘러싸는 절연 진공관이 동일한 축으로 구성되며;
상기 안테나 도체의 양단에 매칭 네트워크를 통해 연결되며, 접지와도 연결되는 RF 전원공급장치; 상기 용량성 결합 전극과 연결된 스위치를 통해 연결 구성되는 CCE 전원공급장치와 접지;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버를 제공한다.
안테나, 내장형, 플라즈마, 유도성 결합, 용량형 결합, 용량형 결합 전극, 증착용 재료, 패러데이 쉴드-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100929883B1
公开(公告)日：2009-12-04
申请号：KR1020070117535
申请日：2007-11-16
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 고진공의 진공챔버 내의 원통금형 스테이지에 장착된 원통금형 기판을 회전시키면서 전자빔(E_beam)을 조사하여 원통금형 기판에 나노급 고분해능으로 단시간 내에 많은 양의 연속 패턴을 형성할 수 있게 하고, 원통금형 스테이지(진공챔버)의 나노급 정밀도의 수평 이송과 Z축, θx, θy 능동 자세 제어를 통하여 노광기 자체의 기계적 위치 제어 오차를 최소화시킬 수 있는 노광기 및 노광 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 노광기는, 진공 챔버의 내부에 원통금형 스테이지를 장착하고, 상기 원통금형 스테이지에 결합된 원통금형을 움직이면서 상기 원통금형에 빔을 조사하여 패턴을 형성함으로써 일정 면적에 나노급 연속 패턴을 형성할 수 있다.
원통금형 기판, 전자빔(E-beam), 나노 노광기, 상대 이송, 능동 자세 제어Abstract translation: 本发明和所述圆筒形金属模具的基板照射电子束（E_beam）在旋转的同时安装在高真空的真空室纳米分辨率圆网阶段圆筒形模具基板可以形成在短时间内大量的连续图案，圆柱形 它涉及的纳米精密（真空室）和Z轴，θx，曝光系统和能够经由θY活性姿态控制最小化曝光系统本身的机械定位误差的曝光方法的水平传送的模具阶段。 根据本发明的曝光装置中，安装在圆筒模具阶段到真空室的内部，通过在圆筒形模制图案照射的波束形成图案移动联接到圆筒形金属模具台纳米连续在规定的区域中的筒状的金属模具 它可以形成。
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公开(公告)号：KR1020090051422A
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：KR1020070117809
申请日：2007-11-19
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/162 , B05D1/005 , G03F7/707 , G03F7/70758
Abstract: 본 발명은 원통형 기판을 회전시키면서 발생하는 원심력으로 얇고 균일한 두께의 코팅막을 표면에 형성하는 원통형 기판용 스핀 코터 및 이를 이용한 코팅방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 기판에 균일한 코팅막을 형성하는 스핀 코터에 있어서,
제어부에 의해 회전속도가 조절되는 모터의 모터축과 연결되는 회전판; 상기 회전판의 길이방향 가장자리에 마련되는 복수의 고정대와 이 고정대로부터 일정 간격 이격된 회전판의 내측에 구성되는 복수의 수평이동대; 상기 고정대와 수평이동대에 설치되어 원통형 기판의 중심축에 연결되는 지지축;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터를 제공한다.
그리고, 상기 고정대는 높이조절을 위한 높이조절장치가 더 포함되어 설치된다.
원통, 기판, 모터, 회전, 원심력, 중력, 기어, 감광제-
公开(公告)号：KR100931846B1
公开(公告)日：2009-12-15
申请号：KR1020070117818
申请日：2007-11-19
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은 RF 안테나를 이루는 도체와 절연 진공관 사이에 절연 공간을 두고 용량성 결합 전극을 나선형으로 구성하여 내장형 안테나를 구성하며, 용량성 결합 전극(Capacitive Coupling Electrode)의 일단이 접지되면 패러데이 쉴드(FS, Faraday shield)로 작동할 수 있는 유도성 결합 플라즈마의 내장형 RF 안테나 및 이를 장착한 플라즈마 챔버에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은, 접지와 연결되고 도체로 이루어진 외벽으로 구성되는 공정 챔버; 상기 공정 챔버로부터 절연되어 그 내부에 장착되는 가공물 지지대; 상기 가공물 지지대와 연결되는 전원공급부; 상기 공정 챔버의 밀봉 장치를 통해 밀봉되어 내장되는 한 개 이상의 RF 안테나; 상기 RF 안테나는 내부에 안테나 도체가 구성되고, 이 안테나 도체와 같은 축에서 절연 공간에 의해 분리되어 안테나 도체의 외부를 나선형으로 감싸는 용량성 결합 전극이 구성되고, 상기 안테나 도체와 용량성 결합 전극을 둘러싸는 절연 진공관이 동일한 축으로 구성되며;
상기 안테나 도체의 양단에 매칭 네트워크를 통해 연결되며, 접지와도 연결되는 RF 전원공급장치; 상기 용량성 결합 전극과 연결된 스위치를 통해 연결 구성되는 CCE 전원공급장치와 접지;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버를 제공한다.
안테나, 내장형, 플라즈마, 유도성 결합, 용량형 결합, 용량형 결합 전극, 증착용 재료, 패러데이 쉴드Abstract translation: 电容耦合电极螺旋形成在形成RF天线的导体与绝缘真空管之间的绝缘空间中以形成内部天线。当电容耦合电极的一端接地时，法拉第屏蔽（FS ，法拉第屏蔽罩）以及配备RF天线的等离子体室。
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公开(公告)号：KR1020090050871A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：KR1020070117535
申请日：2007-11-16
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F1/78 , G03F7/0005 , G03F7/201 , G03F7/2059 , G03F7/70716
Abstract: 본 발명은 고진공의 진공챔버 내의 원통금형 스테이지에 장착된 원통금형 기판을 회전시키면서 전자빔(E_beam)을 조사하여 원통금형 기판에 나노급 고분해능으로 단시간 내에 많은 양의 연속 패턴을 형성할 수 있게 하고, 원통금형 스테이지(진공챔버)의 나노급 정밀도의 수평 이송과 Z축, θx, θy 능동 자세 제어를 통하여 노광기 자체의 기계적 위치 제어 오차를 최소화시킬 수 있는 노광기 및 노광 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 노광기는, 진공 챔버의 내부에 원통금형 스테이지를 장착하고, 상기 원통금형 스테이지에 결합된 원통금형을 움직이면서 상기 원통금형에 빔을 조사하여 패턴을 형성함으로써 일정 면적에 나노급 연속 패턴을 형성할 수 있다.
원통금형 기판, 전자빔(E-beam), 나노 노광기, 상대 이송, 능동 자세 제어-
公开(公告)号：KR1020100004756A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：KR1020080065102
申请日：2008-07-04
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: G03F7/70825 , G03F7/24 , G03F7/703 , G03F7/707 , G03F7/70725 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , G03F7/70841 , G03F7/70858 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K21/12 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18 , H02N15/00
Abstract: PURPOSE: A cylindrical magnetic levitation stage is provided to implement the integration of an apparatus through a high precision control by using magnetic levitation principle and controlling the rotation of the cylindrical substrate. CONSTITUTION: A first cylindrical substrate holder(11) and a second cylindrical substrate holder(12) are connected to both ends of a cylindrical substrate. A first permanent magnet is arranged on a first movable element(23), and a second permanent magnet is arranged on a second movable element(33). A first connector(13) interlinks the first movable element and the first cylindrical substrate holder. A second connector(14) interlinks the second movable element and the second cylindrical substrate holder.
Abstract translation: 目的：提供圆柱形磁悬浮台，通过使用磁悬浮原理和控制圆柱形基板的旋转，通过高精度控制实现设备的集成。 构成：第一圆柱形衬底保持器（11）和第二圆柱形衬底保持器（12）连接到圆柱形衬底的两端。 第一永久磁铁布置在第一可移动元件（23）上，第二永久磁铁布置在第二可移动元件（33）上。 第一连接器（13）将第一可移动元件和第一圆柱形基板支架互连。 第二连接器（14）将第二可移动元件和第二圆柱形基板支架互连。
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