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公开(公告)号：KR1020010104960A
公开(公告)日：2001-11-28
申请号：KR1020000026389
申请日：2000-05-17
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 전계방출소자(field emission device)를 구성하는 핵심요소인 전자방출용 캐소드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 전기적 부도체 재료로 이루어진 하부기판과; 상기 하부기판상에 전기적 도전성을 갖는 물질로 형성되는 캐소드전극; 및 상기 캐소드전극의 위에 패터닝되어 부착되는 에미터로 구성되는 전계방출소자용 캐소드를 제공한다. 또한 전기적 부도체 재료로 이루어진 하부기판에 전기적 도전성을 갖는 물질로 캐소드전극을 형성시키는 공정과; 형성된 캐소드전극 위에 에미터 재료를 사진식각(photolithography) 공정으로 패터닝하여 에미터를 부착시키는 공정으로 이루어지며, 상기 에미터 부착 공정은, 낮은 전계에서 전자방출이 용이한 입자형 에미터 재료와 자외선에 감광되는 물질인 감광제(photo-sensitizer)를 함유하는 혼합체(mixture) 용액을 제조하는 단계; 제조된 혼합체 용액을 균일한 두께로 캐소드전극을 함유한 하부기판에 균일하게 도포하여 혼합체막을 형성하는 단계; 상기 혼합체막에 마스크를 사용하여 선별적으로 자외선을 조사하는 단계; 및 자외선에 노출된 부분과 노출되지 않은 부분에 있던 혼합체막을 선택적으로 제거하는 현상 단계를 포함하는 전계방출소자용 캐소드의 제조방법을 제공한다.-
公开(公告)号：KR1020010062975A
公开(公告)日：2001-07-09
申请号：KR1019990059763
申请日：1999-12-21
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01J1/30
Abstract: PURPOSE: A method for forming a parting layer of an FED(Field Emission Display) is provided to be capable of excluding the usage of an electron beam evaporator which is not suitable to fabricate an FED of large diameter by depositing a parting layer using an evaporator such as a conventional sputter to assure the thickness uniformity of the parting layer. CONSTITUTION: In a first step, an insulating layer(4) and a conductive layer(2) for a gate electrode are stacked on a substrate on which emitter electrodes(1) are formed. In a second step, a material film for a parting layer(8a) is formed on an overall structure. In a third step, a gate hole is formed by etching the material film for a parting layer in a tip area, the conductive layer for the gate electrode and the insulating layer. In a fourth step, the material film of a parting layer is made a reflow by a heat treatment.
Abstract translation: 目的：提供一种用于形成FED（场致发射显示器）的分离层的方法，其能够排除不适于制造大直径FED的电子束蒸发器的使用，该蒸发器通过使用蒸发器沉积分离层 例如常规溅射以确保分型层的厚度均匀性。 构成：在第一步骤中，在形成有发射极（1）的基板上堆叠用于栅电极的绝缘层（4）和导电层（2）。 在第二步骤中，在整个结构上形成用于分型层（8a）的材料膜。 在第三步骤中，通过蚀刻用于尖端区域中的分离层的材料膜，栅极电极和绝缘层的导电层来形成栅极孔。 在第四步骤中，通过热处理使分离层的材料膜回流。
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公开(公告)号：KR1020010016823A
公开(公告)日：2001-03-05
申请号：KR1019990031976
申请日：1999-08-04
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: B82Y10/00 , G09G3/22 , H01J31/126 , H01J2201/30457 , H01J2201/30469 , H01J2201/319 , H01J1/30 , C01B32/05
Abstract: PURPOSE: A field emission display with a bipolar field emitter is provided to restrict a cross talk of a display signal by isolating electrically each pixel. CONSTITUTION: A field emission display with a bipolar field emitter comprises an upper substrate and a lower substrate. The lower substrate is formed with a column signal line(41R), a row signal line(41C), a field emitter(42), and three or more terminals. The column and the row signal lines(41R,41C) are formed with a metal. The field emitter(42) is located within the pixel defined by the column and the row signal lines(41R,41C). The terminals are connected the column signal line(41R), the row signal line(41C), and the field emitter(42). The upper substrate is formed with an anode electrode for accelerating electrons.
Abstract translation: 目的：提供具有双极场发射器的场发射显示器，以通过将每个像素电隔离来限制显示信号的串扰。 构成：具有双极场发射器的场发射显示器包括上基板和下基板。 下基板由列信号线（41R），行信号线（41C），场发射器（42）和三个或更多个端子形成。 列和行信号线（41R，41C）由金属形成。 场发射器（42）位于由列和行信号线（41R，41C）限定的像素内。 端子连接列信号线（41R），行信号线（41C）和场发射器（42）。 上基板形成有用于加速电子的阳极电极。
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公开(公告)号：KR100279749B1
公开(公告)日：2001-03-02
申请号：KR1019970072636
申请日：1997-12-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01J1/30
Abstract: 본 발명은 게이트와 에미터를 초근접시킨 전계방출 어레이의 제조방법에 관한 것으로서, 기판상에 도전체층 혹은 도전체와 저항층을 적층시킨 박막위에 다이아몬드 카본, 금속, 폴리실리콘 혹은 실리사이드중 어느하나로 이루어진 에미터 물질을 차례로 형성하고, 상기 에미터 물질상에 절연막 패턴을 형성하고, 상기 절연막 패턴을 식각 마스크로 이용하여 상기 에미터 물질을 식각하는 것에 의해 에미터 전극을 형성하고, 상기 도전체층 혹은 도전체와 저항층을 적층시킨 박막을 절연막 패턴의 내측으로 언더 컷이 발생하도록 1차 등방성 및 2차 등방성 식각하여 도전체 층에 돌출한 기둥을 형성하며, 상기 도전체층상에 스핀온글라스(SOG)로 에미터의 하면과 접하는 부분은 두껍고 다른 부분은 얇도록 기둥 둘레에 게이트 절연막을 증착하고, 기계화학� �� 연마법으로 연마한 후 평탄화하여 에미터의 표면 및 측면이 노출되도록 하며, 상기 에미터 및 게이트 절연막위에 절연막을 형성하고, 그 위에 제거되는 이외의 부분에 디슁 방지층을 형성하도록 게이트 전극 형성용 금속을 형성하고, 상기 기둥 상측의 게이트 전극 형성용 금속을 기계화학적 연마법으로 평탄하게 제거하여 에미터의 상 표면을 노출시키는 것에 의해 게이트 전극을 형성하며, 상기 에미터와 게이트 전극사이의 절연막과 기둥 둘레의 게이트 절연막을 제거하여 에미터 기둥을 노출시킴으로써, 저가격으로 대면적의 평판 디스플레이를 만들 수 있는 효과를 갖는다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019990040010A
公开(公告)日：1999-06-05
申请号：KR1019970060287
申请日：1997-11-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01J17/48
Abstract: 본 발명은 전계 방출 소자의 제조 방법에 관한 것으로 특히, 전계 방출 전압을 낮추고 방출 전류량을 늘리기 위한 팁 제조 방법에 관한 것이다.
종래의 기술에서는 전계 방출 소자의 팁 제조시 낮은 일함수를 갖는 물질로 제조하는 방법이 제안되어 다이아몬드, 또는 탄소 및 GaN 등을 이용하였다. 그러나 이러한 물질은 성장이 어려워 팁을 형성하는데 문제점이 발생한다. 최근에는 실리콘을 이용하는 방법이 연구되고 있는데 팁의 안정성이 떨어져 장시간 사용하는 경우 쉽게 열화되는 특성이 있다. 그러나 기존의 발당된 반도체 기술을 이용할 수 있고 주변회로를 같은 기판에 만들 수 있는 장점이 있다.
본 발명에서는 팁의 동작 특성을 향상시키기 위해 제조가 용이한 천이금속 물질을 이용하여 팁위에 증착한 후, 급속 열처리 및 플라즈마 처리를 이용하여 일함수를 낮추는 방법을 제시한다.-
公开(公告)号：KR100155533B1
公开(公告)日：1998-12-01
申请号：KR1019950038771
申请日：1995-10-31
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/31
Abstract: 본 발명은 자연산화막 제거를 수반한 저유전율 SiOxFy 박막형성방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명의 저유전율 SiOxFy 박막형성장치는 마이크로 웨이브공급부, 플라즈마 발생부, 반응부, 웨이퍼 이송부, 및 제어부를 포함하며, 본 발명의 저유전율 SiOxFy 박막형성 방법은 전기한 SiOxFy 박막형성장치를 사용하여, SiF
4 /O
2 /Ar의 혼합가스의 플라즈마를 실리콘 웨이퍼 상에 반응시켜 실리콘 웨이퍼에 형성된 40내지 50Å의 자연산화막 중 30 내지 40Å의 준산화막 영역을 식각하는 공정; 및 전기한 식각공정에서 사용된 혼합가스와 동일한 SiF
4 /O
2 /Ar혼합가스의 플라즈마를 전기 공정에서 식각이 이루어진 실리콘 웨이퍼 상에 반응시켜 실리콘 계면에서 6내지 10Å 이내의 단층에 위치한 Si
+1 와 Si
+2 활성종과 기상 F원자 및 O원자의 반응에 의해 SiOxFy 박막을 증착시키는 공정을 포함한다. 본 발명의 박막형성공정 및 박막형성장치를 사용할 경우 자연산화막의 식각공정과 SiOxFy 박막의 증착공정을 동일한 반응실 내에서 순차적으로 수행하여 단시간에 경제적으로 고품질의 저유전율 SiOxFy 박막을 형성할 수 있다는 것이 확인되었다.-
公开(公告)号：KR100155305B1
公开(公告)日：1998-12-01
申请号：KR1019940036356
申请日：1994-12-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정에 관한 것으로 특히 반도체의 오염물질을 제거하기 위하여 실시하는 습식 세정 후 용이하게 건조할 수 있도록 하는 웨이퍼 건조 방법에 관한 것으로 웨이퍼의 습식 세정 후 반드시 필요한 건조공정에 있어서 기존에 널리 사용되고 있는 스핀 드라이어는 입자 재오염의 가능성이 높다는 문제점을 해소하기 위하여 입자 재오염을 최소화할 수 있는 건조공정으로 널리 사용되고 있는 Marangoni 건조 방법을 더욱 더 효과적으로 수행할 수 있도록 한 웨이퍼 건조방법으로서 본 발명에서는 웨이퍼 건조공정에 캐리어 가스(carrier gas)를 통하여 기상으로 공급되는 유기용매 및 소수성 유기용매와 같은 2종의 유기용매 중 시료의 목적에 적합한 유기용매를 1종씩 선택하여 사용하거나, 2종의 유기용매를 동시에 공급할 수 있는 소수성 유기 용매 공급장치를 추가하여 휘발성이 강한 유기용매를 순수(DI water)보다 비중이 낮은 것을 선택하면 사용하려는 유기용매가 주 세정원인 순수의 수면 위에 있도록 할 수 있으며, 또 다른 조건으로 유기용매가 순수에 용해되지 않으면 순수의 수면 위에서 순수/유기용매의 계면이 형성되도록 할 수 있도록 함으로써, 건조공정의 효율을 더욱 증대시킬 수 있도록 함을 특징으로 하는 것임.
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公开(公告)号：KR101868146B1
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：KR1020110106825
申请日：2011-10-19
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본발명은무선전력송수신을위한공진기에관한것이다. 이와관련해본 발명의무선전력송신을위한공진기는입력포트와상기공진기사이의임피던스를정합하고, 상기공진기의공진주파수를조절하는정합회로및 기설정된값 이상의양호도를갖는공진코일을포함하며, 상기정합회로는, 상기입력포트와상기공진코일사이에직렬연결된제1 커패시터및 상기입력포트와접지단자사이에병렬연결된제2 커패시터를포함하며, 상기제1 커패시터및 상기제2 커패시터의등가직렬저항은상기공진코일의내부저항보다작은것을특징으로한다. 이러한본 발명에의하면, 무선전력송수신에사용되는공진기의공진주파수를낮추어전자기파가인체에미치는영향을최소화할수 있으며, 공진기에정합회로를부가함으로써, 공진기의크기를줄일수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160066102A
公开(公告)日：2016-06-10
申请号：KR1020140169729
申请日：2014-12-01
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: A61B3/16
Abstract: 본발명에따른안압센서는콘택트렌즈의형태를가지는기판; 상기기판상에형성되며, 외부압력에따라변화하는축전용량을가지는축전기부; 그리고상기기판상에형성되며, 상기축전기부와연결되는인덕터부를포함하되, 상기축전기부는상기외부압력에따라유전율이변화하는압전소자를포함하고, 상기축전기부 및상기인덕터부는상기축전용량에대응하는공진주파수를가지는공진회로를구성하며, 외부로부터의무선입력신호에응답하여상기공진주파수에대응하는반사신호를출력하고, 상기반사신호는상기외부압력에관한정보를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的眼内压传感器包括：具有隐形眼镜形状的基底; 形成在所述基板上并具有根据外部压力而变化的电容的电容器单元; 以及形成在基板上并连接到电容器单元的电感器单元。 电容器单元包括其电容率根据外部压力而变化的压电元件，并且电容器单元和电感器单元构成具有对应于电容的谐振频率的谐振电路。 眼内压传感器响应于来自外部的无线输入信号输出与谐振频率相对应的反射信号，反射信号包括关于外部压力的信息。
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