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公开(公告)号：KR100744543B1
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：KR1020050120187
申请日：2005-12-08
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/0013 , B81B3/0072 , B81B2201/016
Abstract: MEMS 스위치의 구조적인 문제점으로 인해 발생되는 열적 변형과 스틱션 문제를 해결할 수 있는 정전기력으로 구동되는 MEMS 스위치 및 그 스위치 제조방법을 제공한다. 그 MEMS 스위치는 트렌치, 접지라인 및 일정 부분의 개방부를 갖는 신호라인이 형성된 기판; 전극판 및 개방부를 연결할 수 있는 접촉수단을 구비하고 기판과 일정 간격 이격되어 있으며 트렌치에 삽입될 수 있는 깊은 주름이 형성된 이동판부; 및 이동판부를 지지하는 지지부;를 포함한다.
미세전자기계적 스위치, 신호라인, 깊은 주름, 스위칭 전극 라인-
公开(公告)号：KR1020060035078A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：KR1020040084407
申请日：2004-10-21
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H2059/0072 , H01P1/127 , Y10T29/417 , Y10T29/49105 , Y10T29/49117 , Y10T29/49155 , Y10T29/49204 , Y10T29/49208
Abstract: 본 발명은 고주파 대역의 무선통신 또는 고주파(RF) 시스템에서 신호의 전달을 제어하기 위해 사용되는 미세전자기계적(Micro-electro Mechanical Systems; MEMS) 스위치에 관한 것으로, 기판 상에 형성되며 소정 부분이 개방된 신호선, 상기 신호선 양측의 기판에 각각 형성된 적어도 하나의 지지대, 지지대와 신호선 사이의 기판에 형성된 접지선, 지지대에 양측부가 고정되며 상, 하 이동이 가능한 이동판, 이동판에 위치되며 개방된 신호선을 연결시키기 위한 접촉수단를 구비하는 스위칭부, 이동판과 스위칭부를 지지하며, 기판과의 간격 유지를 위한 지지돌출부를 구비하는 지지층을 포함한다.
미세전자기계적 스위치, 신호선, 스위칭부, 중앙지지층, 지지돌출부-
公开(公告)号：KR100531218B1
公开(公告)日：2006-01-10
申请号：KR1020030059604
申请日：2003-08-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01Q1/38
Abstract: 본 발명은 슬롯 안테나에 관한 것으로, 슬롯 안테나의 슬롯을 유전체 기판의 양면에 형성하고 상면과 하면 슬롯에서의 전계가 대체적으로 같은 방향으로 형성되도록 하는 슬롯 안테나를 제공한다. 이러한 구성을 통하여, 안테나의 소형 및 경량의 구성이 가능함과 동시에 기존의 미앤더드 슬롯 안테나에 비해 높은 이득 및 방사효율 특성을 얻을 수 있는 효과가 있다.
슬롯 안테나, 슬롯, 이득효율, 방사효율-
公开(公告)号：KR1020050021226A
公开(公告)日：2005-03-07
申请号：KR1020030059604
申请日：2003-08-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01Q1/38
Abstract: PURPOSE: A slot antenna is provided to achieve improved gain and radiation efficiency by forming slots on both sides of a dielectric substrate and connecting the slots and ground surfaces through conductor walls or conducting via holes. CONSTITUTION: A slot antenna comprises the first dielectric substrate(101) and the second dielectric substrate(102) laminated on the first dielectric substrate. The first dielectric substrate includes slots(103) formed on upper and lower surfaces of the first dielectric substrate; ground surfaces(104) formed on the upper and lower surfaces of the first dielectric substrate so as to define the slots; and the first connection portion for connecting the ground surfaces formed on the upper and lower surfaces of the first dielectric substrate. The second dielectric substrate includes a feeder line(105) formed at a lower surface of the second dielectric substrate so as to feed electromagnetic field energy; and the second connection portion for connecting the feeder line and the ground surfaces formed at the lower surface of the first dielectric substrate. The first connecting portion and/or the second connecting portion include one or more conducting via holes(106) formed in the dielectric substrates, or conductor walls(107) arranged at side surfaces of the dielectric substrates.
Abstract translation: 目的：通过在电介质基板的两侧形成槽并通过导体壁或导通孔连接槽和接地表面，提供槽缝天线以实现改进的增益和辐射效率。 构成：缝隙天线包括层叠在第一电介质基片上的第一电介质基片（101）和第二电介质基底（102）。 第一电介质基板包括形成在第一电介质基板的上表面和下表面上的槽（103） 形成在所述第一电介质基板的上表面和下表面上的接地表面（104），以限定所述槽; 以及用于连接形成在第一电介质基板的上表面和下表面上的接地表面的第一连接部分。 第二电介质基板包括形成在第二电介质基板的下表面处的馈电线（105），以便馈送电磁场能; 以及用于连接馈电线和形成在第一介电衬底的下表面处的接地表面的第二连接部分。 第一连接部分和/或第二连接部分包括形成在电介质基板中的一个或多个导电通孔（106）或布置在电介质基板的侧表面处的导体壁（107）。
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公开(公告)号：KR1020170109738A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：KR1020160033501
申请日：2016-03-21
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 트렌치내에배치되는분리막에의해서로이격되는제 1 영역및 제 2 영역을갖는기판, 상기제 1 영역의기판에형성되는제 1 센서, 및상기제 2 영역의기판에형성되고, 상기제 1 센서와는다른감지음역대를갖는제 2 센서를포함하는음향센서를제공하되, 상기제 1 및상기제 2 센서각각은상기기판내에제공되는음향챔버, 상기음향챔버상에플로팅되는하부전극, 상기하부전극의상부(over)에배치되고, 그의내부를관통하는배기홀을갖는진동판, 및상기기판과상기진동판사이에배치되어, 상기진동판을지지하는지지로드들을포함하고, 상기지지로드들은상기배기홀을사이에두고서로대향하여배치될수 있다.
Abstract translation: 一种衬底，具有由设置在沟槽中的分离膜隔开的第一区域和第二区域，形成在第一区域的衬底上的第一传感器以及形成在第二区域的衬底上的衬底， 其中，第一传感器和第二传感器中的每一个包括设置在基板中的声室，悬置在声室上的下电极，下电极上的下电极以及具有不同感测带的第二传感器， 以及用于支撑隔膜的支撑板，支撑杆设置在基底和隔膜之间，支撑杆布置在隔膜之间 并可以面对对方放置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020120091981A
公开(公告)日：2012-08-20
申请号：KR1020110068818
申请日：2011-07-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N27/407 , G01N27/26
Abstract: PURPOSE: A MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) type semiconductive gas sensor using a micro heater having a plurality of holes and a method for manufacturing the same are provided to obtained a MEMS semiconductive gas sensor which is structural/mechanically/electrically stable, thereby extending a lifetime of the sensor. CONSTITUTION: A MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) type semiconductive gas sensor using a micro heater having a plurality of holes comprises a substrate(110), a second membrane(120), a heating resistant(130), a first membrane(140), a sensing electrode(150), and a sensing material(160). A predetermined thickness of the central part of the substrate is etched. The second membrane is formed in the upper part of the central part of the substrate and comprises a plurality of holes. The heating resistant is formed in the second membrane and comprises a plurality of holes. The first membrane is formed on the second membrane and comprises a plurality of holes. The sensing electrode is formed in the first membrane and comprises a plurality of holes. The sensing material is formed in the sensing electrode.
Abstract translation: 目的：提供一种使用具有多个孔的微加热器的MEMS（微机电系统）型半导体气体传感器及其制造方法，以获得结构/机械/电气稳定的MEMS半导体气体传感器，由此延伸 一生的传感器。 构成：使用具有多个孔的微加热器的MEMS（微机电系统）型半导体气体传感器包括基底（110），第二膜（120），耐热（130），第一膜（140） ，感测电极（150）和感测材料（160）。 蚀刻基板中心部分的预定厚度。 第二膜形成在基板的中心部分的上部，并且包括多个孔。 耐热性形成在第二膜中并且包括多个孔。 第一膜形成在第二膜上并且包括多个孔。 感测电极形成在第一膜中并且包括多个孔。 感测材料形成在感测电极中。
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公开(公告)号：KR1020120061422A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：KR1020100122738
申请日：2010-12-03
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/005 , H04R1/222 , H04R19/04 , H04R31/00
Abstract: PURPOSE: A MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems) microphone is provided to improve frequency response characteristics by eliminating attenuation due to air focused on a central portion of a vibration plate through a center exhaust hole formed on the vibration plate of a capacitance type MEMS microphone. CONSTITUTION: A capacitance type MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems) microphone includes a substrate(211) and an acoustic chamber(212) formed through the processing of the substrate. The capacitance type MEMS microphone includes a bottom electrode(221) formed on the acoustic chamber and an exhaust hole(222) formed in the bottom electrode into a predetermined constant pattern. The capacitance type MEMS microphone includes an bottom electrode support supporting the bottom electrode and a vibration plate(231) forming an air layer while being spaced from the bottom electrode at a constant interval. The capacitance type MEMS microphone includes a vibration plate support stand(233) attaching the vibration plate to the substrate and a vibration plate exhaust hole(232) formed in the center of the vibration plate.
Abstract translation: 目的：提供一种MEMS（微机电系统）麦克风，以通过消除通过形成在电容式MEMS的振动板上的中心排气孔将聚焦在振动板的中心部分上的空气消除的衰减消除频率响应特性 麦克风。 构成：电容型MEMS（微电子机械系统）麦克风包括通过基板的处理形成的基板（211）和声室（212）。 电容型MEMS麦克风包括形成在声学室上的底部电极（221）和形成在底部电极中的预定恒定图案的排气孔（222）。 电容型MEMS麦克风包括支撑底部电极的底部电极支撑件和形成空气层的振动板（231），同时以一定间隔与底部电极间隔开。 电容型MEMS麦克风包括将振动板附接到基板的振动板支撑台（233）和形成在振动板的中心的振动板排出孔（232）。
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公开(公告)号：KR1020110066849A
公开(公告)日：2011-06-17
申请号：KR1020100116063
申请日：2010-11-22
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N27/12
Abstract: PURPOSE: A low power consumption type semiconductor gas sensor is provided to improve gas sensing characteristics using low level semiconductor nano materials having high sensitivity characteristics at room temperature. CONSTITUTION: A low power consumption type semiconductor gas sensor comprises a membrane, a substrate(110) located on the lower part of the membrane and etched on the center area to expose the interval between the lower part of the membrane and the substrate, a heater(150) formed in the center area of the membrane and operated when desorbing gas adsorbed to a low level semiconductor nano material, an insulating membrane(170) formed on the membrane to cover the heater, a sensing electrode(180) formed in the center area of the insulating membrane, and a low level semiconductor nano material(190) formed on the sensing electrode.
Abstract translation: 目的：提供一种低功耗型半导体气体传感器，以便在室温下具有高灵敏度特性的低电平半导体纳米材料改善气体感测特性。 构成：低功耗型半导体气体传感器包括膜，位于膜的下部的衬底（110）并在中心区域上蚀刻以暴露膜的下部与衬底之间的间隔，加热器 （150），形成在所述膜的中心区域并且当解吸吸附到低水平半导体纳米材料的气体时操作;形成在所述膜上的绝缘膜（170）以覆盖所述加热器;形成在所述中心的感测电极（180） 绝缘膜的面积和形成在感测电极上的低电平半导体纳米材料（190）。
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公开(公告)号：KR100931575B1
公开(公告)日：2009-12-14
申请号：KR1020070126788
申请日：2007-12-07
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01L41/0973 , H01L41/313 , H04R19/005 , H04R19/02 , H04R31/006 , Y10T29/42
Abstract: 본 발명은 MEMS를 이용한 압전 소자 마이크로 스피커 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 MEMS를 이용한 압전 소자 마이크로 스피커는 기판; 상기 기판 상에 형성된 탄성 박막; 상기 탄성 박막 상에 형성된 압전체층; 상기 압전체층의 상부 또는 상, 하부에 형성된 전극층; 및 상기 기판의 하부가 식각되어 노출된 상기 탄성 박막의 하부에 형성되어 공진 주파수를 변경시키는 공진 변경부를 포함한다.
그럼으로써, 제작이 용이하며, 마이크로스피커의 출력 음압의 갑작스러운 변동을 줄이고, 출력 음압의 음량을 높이고, 공진 주파수에 의한 잡음이 최소화되는 마이크로 스피커를 제공할 수 있는 이점이 있다.
MEMS, 압전 마이크로 스피커, 공진Abstract translation: 提供了使用微机电系统（MEMS）的压电微型扬声器及其制造方法。 压电微型扬声器包括设置在弹性薄层上的压电层以及在弹性薄层的底表面和压电层的顶表面中的一个上图案化的谐振改变单元。
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公开(公告)号：KR1020090065255A
公开(公告)日：2009-06-22
申请号：KR1020070132735
申请日：2007-12-17
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H04R1/323 , H04R3/12 , H04R2201/403 , H04R2499/11
Abstract: A directive speaker and a portable terminal using the same are provided to selectively listen to a sound by using an offsetting and constructive interference effect of a sound wave. A signal control part(303) separates a reference signal into signals having size and phase more than at least three kinds. A first signal processing part(314) and a second signal processing part(313) control a first signal and a second signal having offset size and phase among signals generated in the signal control part. A central signal processing part(312) controls a signal having the same size and phase as the reference signal among signals generated the signal control part. A first speaker arrangement(320) and a second speaker arrangement(319) convert signals outputted in the first signal processing part and the second signal processing part into sound signals. A central speaker converts the signals outputted in the central signal processing part into the sound signals.
Abstract translation: 提供了一种指令扬声器和使用其的便携式终端，以通过使用声波的抵消和建设性的干扰效应选择性地收听声音。 信号控制部分（303）将参考信号分离成具有至少三种尺寸和相位的信号。 第一信号处理部分（314）和第二信号处理部分（313）控制在信号控制部分中产生的信号中具有偏移大小和相位的第一信号和第二信号。 中央信号处理部分（312）在产生信号控制部分的信号中控制与参考信号具有相同大小和相位的信号。 第一扬声器装置（320）和第二扬声器装置（319）将在第一信号处理部分和第二信号处理部分中输出的信号转换成声音信号。 中央扬声器将在中央信号处理部分输出的信号转换成声音信号。
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