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公开(公告)号：KR102204536B1
公开(公告)日：2021-01-20
申请号：KR1020180174058
申请日：2018-12-31
Abstract: 본발명은캡슐형점도측정기, 액상전구체디개서및 이들을포함하는액상전구체매니지먼트시스템에관한것으로, 본발명에따르면, 액상전구체를디개싱시키기위하여마련되는액상전구체디개서; 상기액상전구체디개서내에배치되어상기액상전구체의점도를측정하고, 측정된점도측정정보를상기액상전구체디개서로전달하는캡슐형점도측정기; 및상기액상전구체디개서와전기적으로연결되어상기액상전구체디개서또는상기캡슐형점도측정기의작동을제어하며, 상기캡슐형점도측정기가측정하여얻은상기점도측정정보를상기액상전구체디개서로부터전달받는중앙제어기기; 를포함하고, 상기캡슐형점도측정기는내측에소정의공간이마련된하우징바디; 주변의액상전구체의점도를측정하기위하여마련되는점도측정모듈; 상기점도측정모듈측으로부터상기액상전구체의점도에관하여측정된점도측정정보를전달받아서외부로송신하는통신모듈; 및상기점도측정모듈또는상기통신모듈이작동할수 있도록전원을공급하여주는전원모듈; 을포함하므로디개서내에수용된액상전구체에대한점도를더욱정확하게측정하고관리를할 수있는기술이개시된다.
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公开(公告)号：KR101872899B1
公开(公告)日：2018-07-02
申请号：KR1020170015434
申请日：2017-02-03
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L51/52 , H01L51/56 , H01L51/00 , H01L21/67 , H01L21/677
CPC classification number: H01L51/529 , H01L21/67098 , H01L21/67739 , H01L51/0031 , H01L51/56
Abstract: 본발명에서는로드락챔버를이용하여장시간열안정성평가시 대기와의접촉을방지하고, 테스트를연속적으로진행하면서원하는시간마다샘플링이가능한고온보관장치가개시된다. 일예로, 재료가수용되는보관용기; 상기보관용기의내부로부터외부로연장되는액추에이터; 상기보관용기의상부에배치되며, 상기보관용기와액추에이터를고정하는홀더; 상기보관용기의일부를감싸도록배치되어재료를증발시키는가열부; 및상기홀더와연결되는로드락챔버를포함하고, 상기액추에이터는, 상기액추에이터의구동에의해상기보관용기의내부를왕복이동하는로드부를포함하고, 상기로드락챔버는이송부재를포함하여증발된재료가증착될기판을상기홀더의내부로로딩(loading) 또는언로딩(un-loading)하는고온보관장치가개시된다.
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公开(公告)号：KR101643382B1
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：KR1020150084514
申请日：2015-06-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은고온보관장치에관한것으로서, 내용물이저장되며, 일측에개구가형성된보관용기; 액추에이터; 상기보관용기와상기액추에이터사이에설치되며, 냉각수가일측에유동하는연결부; 상기보관용기의일측에설치되는가열부; 상기연결부의일측에연통되어상기연결부와상기보관용기내부를진공으로형성하는석션장치; 및상기액추에이터의구동에의해상기보관용기의내부를따라이동하는로드부를포함한다. 이에따라, OLED용유기증착재료를고온, 고진공상태로유지할수 있도록하여고온고진공상태에서 OLED용유기증착재료의특성을정확하게파악할수 있다.
Abstract translation: 高温储存装置技术领域本发明涉及一种高温储存装置，其特征在于，包括：容器，其具有形成在一侧的开口，并与材料一起储存; 执行机构 安装在所述容器和所述致动器之间并具有在其一侧移动的冷却剂的连接单元; 安装在容器一侧的加热单元; 吸入装置，其与连接单元的一侧连通，使容器内部成为真空; 以及当致动器驱动时沿着容器的内部移动的杆单元。 因此，用于OLED的有机沉积材料可以保持在高温和高真空状态，因此可以在高温，高真空状态下准确地计算出用于OLED的有机沉积材料的特性 。
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公开(公告)号：KR1020140057797A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：KR1020120124002
申请日：2012-11-05
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L51/56
Abstract: The present invention relates to an apparatus capable of storing contents and, more specifically, to an apparatus for storing while maintaining a high temperature capable of accurately evaluating an OLED since the OLED can be stored for a long time without exhaustion even though the OLED is in a high temperature and high vacuum conditions by mounding a holder, in which a coolant flows, into a storage container where a heating unit is equipped and by maintaining the holder and inside of the storage container in the vacuum state.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够存储内容的装置，更具体地说，涉及一种用于存储的设备，同时保持能够精确评估OLED的高温，因为即使OLED处于OLED状态，OLED可以长时间存储而不会耗尽 通过将冷却剂流动的保持器（其中冷却剂流动）放置到装有加热单元的储存容器中并通过将保持器和储存容器的内部保持在真空状态来实现高温和高真空条件。
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公开(公告)号：KR101323885B1
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：KR1020120047540
申请日：2012-05-04
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/66 , H01L21/205
Abstract: PURPOSE: A device and a method for measuring the vapor pressure of a precursor are provided to easily measure a vapor pressure by successively measuring the boiling point of the pressure while changing pressure. CONSTITUTION: A heater is formed at both sides of a sample vessel (300). A pressure measurement part (400) is connected to the sample vessel. A chemical vapor deposition chamber and the sample vessel are connected by a fluid path. A pressure control part (200) is connected to the chemical vapor deposition chamber. A first valve and a second valve are installed on the fluid path.
Abstract translation: 目的：提供用于测量前体蒸汽压力的装置和方法，以通过在改变压力的同时连续测量压力的沸点来容易地测量蒸气压。 构成：在样品容器（300）的两侧形成加热器。 压力测量部件（400）连接到样品容器。 化学气相沉积室和样品容器通过流体路径连接。 压力控制部分（200）连接到化学气相沉积室。 第一阀和第二阀安装在流体通道上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101091973B1
公开(公告)日：2011-12-08
申请号：KR1020100079155
申请日：2010-08-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A method fro forming a thermoelectric thin film and a manufacturing apparatus thereof are provided to obtain a thermoelectric thin film with the composition of Bi2Te3 by maintaining the decomposition temperature difference of a Bi(C2H5)2 precursor and a Te(t-Bu)2 precursor at about 50 degrees. CONSTITUTION: A substrate(124) is arranged in a substrate holder(122). A Bi(C2H5)2 precursor and a Te(t-Bu)2 precursor are vaporized. A vaporized Bi(C2H5)2 precursor and Te(t-Bu)2 precursor are carried into a treatment container(110). The vaporized Bi(C2H5)2 precursor and Te(t-Bu)2 precursor are carried to the substrate through a gas distribution plate(132). Bi2Te3 is evaporated on the substrate.
Abstract translation: 目的：提供一种形成热电薄膜的方法及其制造装置，以通过保持Bi（C 2 H 5）2前体和Te（t-Bu）2的前体的分解温度差来获得具有Bi 2 Te 3组成的热电薄膜， 2前体约50度。 构成：衬底（124）布置在衬底保持器（122）中。 将Bi（C 2 H 5）2前体和Te（t-Bu）2前体蒸发。 汽化的Bi（C 2 H 5）2前体和Te（t-Bu）2前体被运送到处理容器110中。 蒸发的Bi（C 2 H 5）2前体和Te（t-Bu）2前体通过气体分配板（132）被运送到基底。 Bi2Te3在基材上蒸发。
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37.发明授权
公开(公告)号：KR100323946B1
公开(公告)日：2002-02-16
申请号：KR1019990020158
申请日：1999-06-02
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: 본발명은초집적반도체제작공정에서발생할수 있는불 균일한도핑이나절연층의미세한구멍(pin hole)을높은분해능으로소자제작중에검사할수 있는반도체표면의도핑농도및 미세한구멍측정방법과그 장치에관한것이다본 발명에서는작은크기의빛 도파관(aperture)을갖는광섬유탐침을통하여조사된자외선영역의빛에의해시료표면에서전자들이여기되어튀어나오게하며, 이러한여기된전자에의해서생성될수 있는미세한전류를초전도양자간섭소자를이용하여자기장으로측정하는방법및 장치를제공한다. 이런측정방법및 장치에의하면, 손쉽고비교적빠른시간에시료의결함(도핑농도의불균일또는미세구멍) 측정이이루어지므로반도체제조공정단계에서도핑농도와절연층의미세한구멍을직접검사하여초집적반도체소자의불량여부를초기에알아낼수 있게한다.
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公开(公告)号：KR101398640B1
公开(公告)日：2014-05-27
申请号：KR1020120124002
申请日：2012-11-05
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L51/56
Abstract: 본 발명은 내용물을 보관할 수 있는 장치에 대한 것으로서 특히 가열부가 설치되는 보관 용기에 냉각수가 유동하는 홀더를 장착하되 상기 홀더와 보관 용기 내부를 진공으로 유지하여 OLED가 고온, 고진공 상태에 있더라도 소진되지 않고 장시간 보관할 수 있어 상기 OLED의 특성을 정확하게 평가할 수 있는 고온 보관 장치에 대한 것이다.
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