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公开(公告)号：WO2020141669A1
公开(公告)日：2020-07-09
申请号：PCT/KR2019/007463
申请日：2019-06-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/67 , C23C16/448 , H01L21/687
Abstract: 본 발명은 액상 전구체 디개서에 관한 것으로, 디개싱(degassing)시킬 액상 전구체가 수용되는 수용공간을 형성하는 캐니스터; 캐니스터와 진공라인을 통해 연결되고, 캐니스터에서 액상 전구체가 수용된 수용공간 내에 진공상태를 설정하여 주는 진공펌프; 및 캐니스터 내 수용공간에 마련되며, 수용공간 내에 수용된 액상 전구체가 수용공간 내 빈 공간인 디개싱 공간 상에 노출되는 표면적을 증대시켜주는 노출 표면적 증대수단이 마련되어 있어, 액상 전구체의 디개싱 효율을 증대시켜주며, 액상 전구체의 증기압에 대한 측정 정확성을 증진시켜줄 수 있는 기술이 개시된다.
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公开(公告)号：WO2019240482A1
公开(公告)日：2019-12-19
申请号：PCT/KR2019/007046
申请日：2019-06-12
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명에서는 로드락 챔버를 이용하여 장시간 열안정성 평가 시 대기와의 접촉을 방지하고, 테스트를 연속적으로 진행하면서 원하는 시간마다 샘플링이 가능한 고온 보관 장치가 개시된다. 재료가 수용되는 보관 용기; 보관 용기의 내부로부터 외부로 연장되는 액추에이터; 보관 용기의 상부에 배치되며, 보관 용기와 액추에이터를 고정하는 홀더; 보관 용기의 일부를 감싸도록 배치되어 재료를 증발시키는 가열부; 및 홀더와 연결되는 로드락 챔버를 포함하고, 액추에이터는, 구동에 의해 보관 용기의 내부를 왕복 이동하는 로드부를 포함하고, 로드락 챔버는 이송 부재를 포함하여 증발된 재료가 증착될기판을 홀더의 내부로 로딩(loading) 또는 언로딩(un-loading)하는 고온 보관장치가 개시된다.
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公开(公告)号：KR101643767B1
公开(公告)日：2016-07-28
申请号：KR1020140105020
申请日：2014-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명의열확산도측정장치및 열확산도측정방법을제공한다. 이열확산도측정장치는평판형상의시료를국부적으로가열하도록주기적으로단속되는빛을제공하는광원; 상기시료와상기광원사이에배치되어상기시료의상부면일부를빛에노출하고상기시료의상부면잔부를빛으로부터차단하는빛 가리개; 상기시료의하부면에서상기시료의길이방향으로이격되어배치되어상기시료의온도를각각측정하는한 쌍의온도측정부; 및상기온도측정부로부터측정된온도를제공받아열확산도를산출하는제어부를포함한다.
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公开(公告)号：KR102204607B1
公开(公告)日：2021-01-20
申请号：KR1020180173328
申请日：2018-12-31
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/67 , C23C16/448
Abstract: 본발명은반도체제조공정에이용되는액상전구체의디개싱에관한것으로, 본발명에따르면, 디개싱(degassing)시킬액상전구체가수용되는수용공간을형성하는캐니스터; 상기캐니스터와진공라인을통해연결되고, 상기캐니스터에서상기액상전구체가수용된상기수용공간내에진공상태를설정하여주는진공펌프; 및상기캐니스터에장착되며, 상기액상전구체를상기수용공간내 빈공간인디개싱공간상에분산시켜주는분산수단; 을포함하므로, 액상전구체의디개싱(degassing)효율을증대시켜주며, 액상전구체의증기압에대한측정정확성을증진시켜줄수 있는기술이개시된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101643382B1
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：KR1020150084514
申请日：2015-06-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은고온보관장치에관한것으로서, 내용물이저장되며, 일측에개구가형성된보관용기; 액추에이터; 상기보관용기와상기액추에이터사이에설치되며, 냉각수가일측에유동하는연결부; 상기보관용기의일측에설치되는가열부; 상기연결부의일측에연통되어상기연결부와상기보관용기내부를진공으로형성하는석션장치; 및상기액추에이터의구동에의해상기보관용기의내부를따라이동하는로드부를포함한다. 이에따라, OLED용유기증착재료를고온, 고진공상태로유지할수 있도록하여고온고진공상태에서 OLED용유기증착재료의특성을정확하게파악할수 있다.
Abstract translation: 高温储存装置技术领域本发明涉及一种高温储存装置，其特征在于，包括：容器，其具有形成在一侧的开口，并与材料一起储存; 执行机构 安装在所述容器和所述致动器之间并具有在其一侧移动的冷却剂的连接单元; 安装在容器一侧的加热单元; 吸入装置，其与连接单元的一侧连通，使容器内部成为真空; 以及当致动器驱动时沿着容器的内部移动的杆单元。 因此，用于OLED的有机沉积材料可以保持在高温和高真空状态，因此可以在高温，高真空状态下准确地计算出用于OLED的有机沉积材料的特性 。
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公开(公告)号：KR1020160020110A
公开(公告)日：2016-02-23
申请号：KR1020140105020
申请日：2014-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N25/18
Abstract: 본발명의열확산도측정장치및 열확산도측정방법을제공한다. 이열확산도측정장치는평판형상의시료를국부적으로가열하도록주기적으로단속되는빛을제공하는광원; 상기시료와상기광원사이에배치되어상기시료의상부면일부를빛에노출하고상기시료의상부면잔부를빛으로부터차단하는빛 가리개; 상기시료의하부면에서상기시료의길이방향으로이격되어배치되어상기시료의온도를각각측정하는한 쌍의온도측정부; 및상기온도측정부로부터측정된온도를제공받아열확산도를산출하는제어부를포함한다.
Abstract translation: 提供了测量热扩散率的装置和方法。 测量热扩散率的装置包括：提供周期性地阻挡以平面形状样品加热的光的光源; 设置在所述样品和所述光源之间的灯罩，以将光暴露于所述样品的上表面的一部分，并且将所述样品的上表面的剩余部分从所述光中截取; 一对温度测量单元，其布置成在样品的底表面上沿样品的纵向方向间隔开。 分别测量样品的温度; 以及控制单元，其通过从所述温度测量单元接收测量温度来计算热扩散率。
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公开(公告)号：KR102204627B1
公开(公告)日：2021-01-20
申请号：KR1020180173329
申请日：2018-12-31
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/67 , C23C16/448 , H01L21/687
Abstract: 본발명은반도체제조공정등에이용되는액상전구체디개서에관한것으로, 본발명에따르면, 디개싱(degassing)시킬액상전구체가수용되는수용공간을형성하는캐니스터; 상기캐니스터와진공라인을통해연결되고, 상기캐니스터에서상기액상전구체가수용된상기수용공간내에진공상태를설정하여주는진공펌프; 상기캐니스터내의상기수용공간내에배치되며, 상면에공급된상기액상전구체가원심력에의해상면상에고르게분산도포된후 테두리측으로이동되도록회전하는스핀디스크(spin disk); 및상기스핀디스크를회전시켜주는회전수단; 을포함하므로, 액상전구체의디개싱효율을증대시켜주며, 액상전구체의증기압에대한측정의정확성을향상시켜줄수 있는기술이개시된다.
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