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公开(公告)号：KR1020160092866A
公开(公告)日：2016-08-05
申请号：KR1020150013801
申请日：2015-01-28
Applicant: 현대자동차주식회사
IPC: H01L29/78
CPC classification number: H01L29/7813 , H01L29/7812 , H01L29/7848
Abstract: 반도체소자및 그제조방법이개시된다. 본발명의하나또는다수의실시예에따른반도체소자는기판; 상기기판의제1면에배치되는 n-형에피층; 상기 n-형에피층위에차례로배치되는 p형영역및 p+형영역; 상기 p+형영역및 p형영역의일부에배치되는 n+형영역; 상기 n+형영역, p형영역및 p+형영역을관통하고, 상기 n-형에피층에배치되는트렌치; 상기트렌치내에배치되는게이트절연막; 상기게이트절연막위에배치되는게이트전극; 상기게이트전극위에배치되는산화막; 상기 p+형영역, n+형영역및 산화막위에배치되는소스전극; 및상기기판의제2면에배치되는드레인전극을포함하고, 상기게이트전극은중앙부가개구된형상으로이루어진다. 본발명의하나또는다수의실시예에따른반도체소자의제조방법은기판의제1면에에피택셜성장으로 n-형에피층을형성하는단계; 상기 n-형에피층위에제1 이온주입으로 p형영역을형성하고, 상기 p형영역위에제2 이온주입으로 p+형영역을형성하는단계; 상기 p+형영역및 p형영역의일부에제3 이온주입으로 n+형영역을형성하는단계; 상기 n+형영역, p형영역및 p+형영역을관통하고, 상기 n-형에피층위에배치되도록상기 n-형에피층의일부를식각하여트렌치를형성하는단계; 상기 p+형영역의상부, n+형영역의상부및 트렌치내에제1 절연층을형성하는단계; 상기제1 절연층위에게이트도전층을형성하는단계; 및상기제1 절연층및 게이트도전층을식각하여게이트절연막및 게이트전극을형성하는단계로이루어지며, 상기게이트전극은상기트렌치내부에위치한다.
Abstract translation: 本发明涉及能够提高功率半导体器件的电流密度的半导体器件及其制造方法。 半导体器件包括：衬底; 设置在所述基板的第一表面上的n +型外延层; p型区域和p ^ +型区域依次布置在n ^型外延层上; 设置在p +型区域和p型区域中的一些上的n +型区域; 设置在n ^型外延层上的沟槽; 设置在沟槽内的栅极绝缘层; 设置在所述栅极绝缘层上的栅电极; 设置在栅电极上的氧化膜; 设置在p +型区域上的源电极，n +型区域和氧化物膜; 以及设置在所述基板的第二表面上的漏电极。 栅电极的中心部分形成为开口形状。
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公开(公告)号：KR1020160071902A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：KR1020140179660
申请日：2014-12-12
Applicant: 현대자동차주식회사
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L29/7869 , H01L29/78696
Abstract: 본발명은반도체소자에관한것으로, 구체적으로트렌치를식각할경우정렬오차를최소화할수 있는반도체소자및 그제조방법에관한것이다. 이를위해, 본발명의일 실시예에따른반도체소자의제조방법은탄화규소기판의일면에일정간격이격되게형성된복수의마스크패턴을포함하는하드마스크를배치하는단계; 상기하드마스크및 상기탄화규소기판의일측에제1 감광막을형성하는단계; 상기제1 감광막및 상기하드마스크를마스크로하여상기탄화규소기판을식각해서소스트렌치를형성하는단계; 상기제1 감광막을제거하고, 상기탄화규소기판의일부분및 상기소스트렌치에 p 베이스영역을형성하는단계; 상기소스트렌치및 상기하드마스크에제2 감광막을형성하는단계; 상기하드마스크및 제2 감광막을마스크로하여상기탄화규소기판을식각해서게이트트렌치를형성하는단계; 상기제2 감광막을제거하고, 상기소스트렌치내부에소스전극을형성하고, 상기게이트트렌치내부에게이트전극을형성하는단계; 및상기탄화규소기판의타면에드레인전극을형성하는단계를포함할수 있다.
Abstract translation: 半导体器件及其制造方法技术领域本发明涉及一种半导体器件及其制造方法，其特征在于，涉及一种半导体器件及其制造方法。 为此，根据本发明的实施例的半导体器件的制造方法可以包括：以规则的间隔布置形成在碳化硅衬底的一侧上的多个掩模图案的硬掩模的步骤; 在硬掩模和碳化硅衬底的一侧上形成第一敏感膜的步骤; 通过使用第一感光膜和硬掩模作为掩模蚀刻碳化硅衬底来形成源沟槽的步骤; 去除第一敏感膜并在碳化硅衬底和源沟槽的一部分上形成p基区的步骤; 在源沟槽和硬掩模上形成第二敏感膜的步骤; 通过使用硬掩模和第二敏感膜作为掩模蚀刻碳化硅衬底来形成栅极沟槽的步骤; 去除第二敏感膜的步骤，在源沟槽内部形成源电极，以及在栅极沟槽内部形成栅电极; 以及在碳化硅衬底的另一侧上形成漏电极的步骤。
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公开(公告)号：KR101628105B1
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：KR1020140157200
申请日：2014-11-12
Applicant: 현대자동차주식회사
IPC: H01L29/78 , H01L21/336 , H01L29/16
Abstract: 본발명의일 실시예에따른반도체소자는 n+형탄화규소기판의제1면에배치되어있는 n-형에피층, 상기 n-형에피층위에배치되어있는 p형영역, 상기 p형영역을관통하고, 상기 n-형에피층에배치되어있는트렌치, 상기 p형영역위에배치되어있으며, 상기트렌치의양쪽에각각배치되어있는 p+형영역, 상기트렌치와상기 p형영역및 상기 p+형영역사이에배치되어있는 n+형영역, 상기트렌치내부에배치되어있는게이트전극, 상기게이트전극과상기트렌치의내부측면및 하부면사이에배치되어있는제1 게이트절연막, 상기제1 게이트절연막및 상기게이트전극위에배치되어있는제2 게이트절연막, 상기 n+형영역, 상기 p+형영역및 상기제2 게이트절연막위에배치되어있는소스전극, 그리고상기 n+형탄화규소기판의제2면에배치되어있는드레인전극을포함하고, 상기제2 게이트절연막의상부면은상기 n+형영역및 상기 p+형영역의상부면과동일선상에위치한다.
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公开(公告)号：KR101550963B1
公开(公告)日：2015-09-07
申请号：KR1020130079529
申请日：2013-07-08
Applicant: 현대자동차주식회사
IPC: H01M8/04
CPC classification number: H01M8/04089 , H01M8/04126 , H01M8/04201 , H01M8/04223 , H01M8/04225 , H01M8/04302 , H01M2250/20 , Y02T90/32
Abstract: 연료전지시스템의공기흡입라인중 흡입차단밸브와블로어사이또는공기배출라인중 가습기와배출차단밸브사이에마련된비상포트플레이트; 비상포트플레이트에연결된와이어; 및흡입차단밸브또는배출차단밸브의고장시와이어를당김으로써비상포트플레이트를파단시켜공기흡입라인또는공기배출라인이외부와유통될수 있도록하는조작기구;를포함하는비상공기포트및 비상공기포트가구비된연료전지시스템이소개된다.
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公开(公告)号：KR1020150031122A
公开(公告)日：2015-03-23
申请号：KR1020130110671
申请日：2013-09-13
Applicant: 현대자동차주식회사
IPC: H01L21/336 , H01L21/31 , H01L29/78
CPC classification number: H01L29/66666 , H01L21/02104 , H01L21/0475 , H01L29/1608 , H01L29/41766 , H01L29/66068 , H01L29/7813 , H01L29/42356 , H01L21/0465 , H01L21/31 , H01L21/76831 , H01L29/7802
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자의 제조 방법은 n+ 형 탄화 규소 기판의 제1면에 n- 형 에피층, p형 에피층 및 n+ 영역을 차례로 형성하는 단계, n+ 영역 위에 버퍼층을 형성하는 단계, 버퍼층의 일부분 위에 감광막 패턴을 형성하는 단계, 감광막 패턴을 마스크로 하여 버퍼층을 식각하여 감광막 패턴 아래에 위치하고, n+ 영역의 일부분을 노출하는 버퍼층 패턴을 형성하는 단계, 노출된 n+ 영역 및 감광막 패턴 위에 n+ 영역 위에 위치하는 제1 부분 및 감광막 패턴 위에 위치하는 제2 부분을 포함하는 제1 금속층 및 제2 금속층을 차례로 형성하는 단계, 버퍼막 패턴, 감광막 패턴, 제1 금속층의 제2 부분 및 제2 금속층의 제2 부분을 제거하여 n+ 영역의 일부분을 노출하는 단계, 그리고 제1 금속층의 제1 부분 및 제2 금속층의 제1 부분을 마스크로 하여 노출 된 n+ 영역의 일부분을 식각하여 트렌치를 형성하는 단계를 포함하고, 트렌치는 n+ 영역 및 p 형 에피층을 관통하고, n- 형 에피층에 형성된다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例，制造半导体器件的方法包括在n +型碳化硅衬底的第一表面上形成n型外延层，ap型外延层和n + epi区域的步骤， 订购; 在n +区上形成缓冲层的步骤; 在缓冲层的一部分上形成感光膜图案的步骤; 通过使用感光膜图案作为掩模蚀刻缓冲层，形成放置在感光膜图案下方并暴露一部分n +区域的缓冲层图案的步骤; 在曝光的n +区域和感光膜图案上形成第一和第二金属层的步骤，包括放置在n +区域上的第一部分和放置在感光膜图案上的第二部分; 通过去除缓冲层图案，感光膜图案，第一金属层的第二部分和第二金属层的第二部分来暴露n +区域的一部分的步骤; 以及通过使用第一金属层的第一部分和第二金属层的第一部分作为掩模来蚀刻暴露的n +区域的一部分来形成沟槽的步骤。 沟槽穿透n +区和p型外延层，并形成在n型外延层上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101163814B1
公开(公告)日：2012-07-09
申请号：KR1020090118578
申请日：2009-12-02
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor： 박정희
Abstract: 본 발명은 연료전지 스택에 유입되는 공기를 가습하는 가습기에 공기차단기능이 추가되어 시스템을 단순화시킬 수 있고, 가습기 출구의 개폐정도를 제어하여 가습량을 능동적으로 제어해서 연료전지 출력의 모든 영역에서 일정한 가습량을 조절하여 연료전지 시스템의 출력 안정화를 도모할 수 있도록 한 공기차단밸브 일체형 연료전지 가습기를 제공하기 위해, 외부공기가 유입되는 공기유입구멍과, 연료전지 스택으로 공기 유출되게 하는 공기유출구멍, 상기 연료전지 스택으로부터 유출되는 공기를 내부로 유입되게 하는 입구구멍 및 상기 내부로 유입된 공기가 외부로 유출되게 하는 출구구멍을 각각 구비한 가습기 하우징을 구비하고, 상기 연료전지 스택으로 유입되는 공기에 상기 연료전지 스택으로부터 유출되는 공기를 매개로 가습하는 가습 모듈이 상기 가습기 하우징의 내부에서 회전가능하게 설치되어 상기 공기유입구멍과, 공기유출구멍, 상기 입구구멍 및 상기 출구구멍을 개폐하도록 되어 있다.
연료전지 스택, 막 모듈, 전자석, 영구자석-
公开(公告)号：KR1020120019764A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：KR1020100083188
申请日：2010-08-26
Applicant: 현대자동차주식회사
Abstract: PURPOSE: An air shutoff valve for a fuel cell system is provided to easily and quickly open the flow path of a valve body even in case of icing between a valve plate and the valve body. CONSTITUTION: An air shutoff valve for a fuel cell system comprises a valve body(10) and a valve plate(20) which is installed inside the valve body. A barrier, which contacts the valve plate to block a flow path in closing of the valve, is installed on the bottom of the flow path of the valve body so that the valve plate can be instantly rotated without thawing in case of cold starting. The barrier is made of metal, rubber, or silicon.
Abstract translation: 目的：提供一种用于燃料电池系统的空气截止阀，即使在阀板和阀体之间结冰的情况下，也能够容易且快速地打开阀体的流路。 构成：用于燃料电池系统的空气截止阀包括安装在阀体内的阀体（10）和阀板（20）。 在阀体的流路的底部安装有与阀板接触以阻塞阀门关闭的流路的阻挡件，使得在冷启动的情况下，阀板可立即旋转而不进行解冻。 屏障由金属，橡胶或硅制成。
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公开(公告)号：KR1020110062011A
公开(公告)日：2011-06-10
申请号：KR1020090118578
申请日：2009-12-02
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor： 박정희
Abstract: PURPOSE: A fuel cell humidifier integrated with an air cutoff valve is provided to simplify a system since an air cutoff function is added, and to stabilize the output of a fuel cell system by controlling constant humidification amount. CONSTITUTION: A fuel cell humidifier integrated with an air cutoff valve includes a humidifier housing. The humidifier housing includes an air inflow hole(12f) in which external air flows in; air outflow hole(12b) which flows out the air to the fuel cell stack; an inlet allowing the air flowing out from the fuel cell stack to flow in the inside thereof; and an outlet allowing the air flowing in the inside thereof to flow out to the outside.
Abstract translation: 目的：提供与空气截断阀一体化的燃料电池加湿器，以简化系统，因为添加了空气切断功能，并且通过控制恒定的加湿量来稳定燃料电池系统的输出。 构成：与空气截流阀一体化的燃料电池加湿器包括加湿器壳体。 加湿器壳体包括外部空气流入的空气流入孔（12f） 空气流出孔（12b），其将空气流出到燃料电池堆; 允许从燃料电池堆流出的空气在其内部流动的入口; 以及允许在其内部流动的空气流出到外部的出口。
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公开(公告)号：KR100391336B1
公开(公告)日：2003-07-12
申请号：KR1020010049524
申请日：2001-08-17
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor： 박정희
IPC: B60S1/26
Abstract: PURPOSE: A wiper system equipped with two gear shafts is provided to improve efficiency by eliminating loss of rotary power of a motor shaft of a wiper motor, reduce the number of parts and the processes by removing a wiper link, and reduce the cost. CONSTITUTION: A wiper system comprises of a motor unit, generating rotary power; a link unit, transmitting rotary power; and a wiper blade unit, wiping a windshield glass. A drive gear(13) is formed at the end of a motor shaft(12) of a wiper motor(11) of the motor unit. A pair of slave gears(14a,14b) are formed, with engaged with the drive gear. A bearing(16) is formed between the slave gears at the bottom of a pivot shaft(15) formed in one body with the slave gears. Maintenance performance is improved by the simplified link structure.
Abstract translation: 用途：配备两个齿轮轴的雨刮器系统可以通过消除雨刮器电机电机轴的旋转动力损失，通过拆下雨刮器连杆减少部件数量和工艺来降低成本，从而提高效率。 组成：雨刮器系统包括一个电机单元，产生旋转动力; 链接单元，传送旋转动力; 和擦拭刮水器单元，擦拭挡风玻璃。 驱动齿轮（13）形成在马达单元的刮水器马达（11）的马达轴（12）的端部。 形成一对从动齿轮（14a，14b），并与驱动齿轮啮合。 轴承（16）形成在与从动齿轮形成为一体的枢轴（15）的底部处的从动齿轮之间。 简化的链接结构可以提高维护性能。
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公开(公告)号：KR200120255Y1
公开(公告)日：1998-07-15
申请号：KR2019950029082
申请日：1995-10-17
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor： 박정희
IPC: B60J1/08
Abstract: 현재 양산되고 있는 승합차의 사이드 윈도우는 실의 부위로 차량내부로 빗물등이 누수되는 문제점이 있어 이것을 해소하고자 'ㄷ'자형으로 형성된 서스 인서트(3)(sus insert)와, 상기 서스 인서트(3)를 내부에 위치하여 일체로 형성하고 외면의 일부에는 이중돌기(2)와 원형의 립(4)을 형성한 리버를 재료로하는 쉴드(shield)(1)와, 상기 서스 인서트(3)의 내부면을 외부유리창(OG)의 일단에 고정 부착하는 실러(5)로 구성되는 사이드 윈도우 센터 실에 관한 것이다.
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