公开(公告)号：NL1036856A1

公开(公告)日：2009-10-27

申请号：NL1036856

申请日：2009-04-15

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHAAR MAURITS VAN DER ,  BOEF ARIE JEFFREY DEN ,  HAREN RICHARD JOHANNES FRANCIS ,  KERKHOF MARCUS ADRIANUS VAN DE

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/47

公开(公告)号：NL1036772A1

公开(公告)日：2009-10-19

申请号：NL1036772

申请日：2009-03-26

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KERKHOF MARCUS ADRIANUS VAN DE ,  KIERS ANTOINE GASTON MARIE ,  SCHAAR MAURITS VAN DER ,  VERSTAPPEN LEONARDUS HENRICUS ,  MIDDLEBROOKS SCOTT ANDERSON ,  FUCHS ANDREAS

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/47

公开(公告)号：NL2002932A1

公开(公告)日：2009-12-03

申请号：NL2002932

申请日：2009-05-27

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHAAR MAURITS VAN DER ,  KERKHOF MARCUS VAN DE ,  MUSA SAMI

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL1036459A1

公开(公告)日：2009-08-14

申请号：NL1036459

申请日：2009-01-26

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SETIJA IRWAN DANI ,  SCHAAR MAURITS VAN DER

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/47 ,  H01L21/66