公开(公告)号：NL1036191A1

公开(公告)日：2009-06-08

申请号：NL1036191

申请日：2008-11-13

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： LALBAHADOERSING SANJAYSINGH ,  MUSA SAMI ,  WARNAAR PATRICK ,  DOYTCHEVA MAYA ANGELOVA ,  HAREN RICHARD JOHANNES FRANCIS

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL1036856A1

公开(公告)日：2009-10-27

申请号：NL1036856

申请日：2009-04-15

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHAAR MAURITS VAN DER ,  BOEF ARIE JEFFREY DEN ,  HAREN RICHARD JOHANNES FRANCIS ,  KERKHOF MARCUS ADRIANUS VAN DE

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/47