公开(公告)号：NL1036734A1

公开(公告)日：2009-10-12

申请号：NL1036734

申请日：2009-03-19

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BOEF ARIE JEFFREY DEN ,  CRAMER HUGO AUGUSTINUS JOSEPH ,  KERKHOF MARCUS ADRIANUS VAN DE ,  PELLEMANS HENRICUS PETRUS MARIA ,  EBERT MARTIN

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/47 ,  H01L21/66

公开(公告)号：NL1036098A1

公开(公告)日：2009-05-11

申请号：NL1036098

申请日：2008-10-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KIERS ANTOINE GASTON MARIE ,  BOEF ARIE JEFFREY DEN ,  CRAMER HUGO AUGUSTINUS JOSEPH

IPC: G01N21/956 ,  H01L23/544

公开(公告)号：NL1036856A1

公开(公告)日：2009-10-27

申请号：NL1036856

申请日：2009-04-15

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHAAR MAURITS VAN DER ,  BOEF ARIE JEFFREY DEN ,  HAREN RICHARD JOHANNES FRANCIS ,  KERKHOF MARCUS ADRIANUS VAN DE

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/47

公开(公告)号：NL1036468A1

公开(公告)日：2009-08-31

申请号：NL1036468

申请日：2009-01-27

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： PELLEMANS HENRICUS PETRUS MARIA ,  BOEF ARIE JEFFREY DEN

IPC: G03F7/20 ,  H01L23/544

公开(公告)号：NL1036018A1

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：NL1036018

申请日：2008-10-06

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BOEF ARIE JEFFREY DEN ,  CRAMER HUGO AUGUSTINUS JOSEPH ,  KRIST JOUKE ,  GROOTJANS WILLEM JAN

IPC: G01J3/45 ,  G03F7/20

公开(公告)号：NL1036331A1

公开(公告)日：2009-06-30

申请号：NL1036331

申请日：2008-12-18

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： MAST KAREL DIEDERICK VAN DER ,  ASTEN NICOLAAS ANTONIUS ALLEGONDUS JOHANNES VAN ,  BOEF ARIE JEFFREY DEN ,  KERKHOF MARCUS ADRIANUS VAN DE

IPC: G01N21/88 ,  G01B9/02 ,  G03F7/20

公开(公告)号：NL1036597A1

公开(公告)日：2009-09-01

申请号：NL1036597

申请日：2009-02-18

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BOEF ARIE JEFFREY DEN

IPC: H01L21/66 ,  G01B11/00 ,  G03F9/00

公开(公告)号：NL1036245A1

公开(公告)日：2009-06-18

申请号：NL1036245

申请日：2008-11-26

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BOEF ARIE JEFFREY DEN

IPC: H01L21/66 ,  G01B11/00 ,  G03F9/00 ,  H01L23/544