公开(公告)号：CN101996839A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN201010510825.X

申请日：2010-07-26

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： 德克·普雷克扎斯 ,  迈克尔·阿尔比兹

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/09 ,  H01J37/141

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J37/15 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及一种粒子束装置(1)，其具有光阑孔可调的第一光阑组件(8)。本发明还涉及一种用于粒子束装置(1)的光阑组件(8)。此外，本发明还涉及一种用于在粒子束装置(1)中调整束流的方法。粒子束装置(1)包括具有第一极靴(6a)和第二极靴(6b)的第一聚束透镜(6)。可以相对于第二光阑组件(9)相互独立地调整第一极靴(6a)与第二极靴(6b)两者。第二光阑组件(9)被设计为压力级光阑，其将具有第一压力的真空的第一区域与具有第二压力的真空的第二区域相互隔开。根据本发明的方法涉及调整该粒子束装置(1)中的束流。

公开(公告)号：CN101074920A

公开(公告)日：2007-11-21

申请号：CN200510074327.4

申请日：2005-06-01

Applicant: 李炳寰

Inventor： 赵治宇 ,  谢文俊

IPC: G01N21/00 ,  G02B21/00 ,  G01N21/01

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2002

Abstract: 本发明是有关一种在真空或低压环境中操作气体且可供观测的装置，包含有：一壳体，一侧形成一较扁部，该壳体内部具有至少一隔板，而将该壳体内部分隔形成一气室，以及于该气室外部形成至少一缓冲室，该气室的顶底面的隔板分别设有一内孔，且该壳体的顶面及底面各设有一外孔，该等内孔与该等外孔同轴且位于该较扁部，该壳体具有一抽气孔连通于该缓冲室，以及具有一注气孔连通于该气室。由此，可在不改变电子显微镜的结构的前提下，达到在电子显微镜的样品室内，于真空环境下控制及操作气体，提供一具有气体的观测环境，使样品能在该气体环境下进行观测。

公开(公告)号：CN101057309A

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200580038508.X

申请日：2005-09-12

Applicant: 代夫特工业大学 ,  科学技术基金会

Inventor： 扬·弗雷德里克·克里默 ,  亨德里克·威廉·桑德贝尔根 ,  帕斯夸利纳·玛丽亚·萨罗

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/206

Abstract: 一种用在显微镜中的微反应器，包括第一和第二覆盖层(13)，这两个覆盖层对于电子显微镜的电子束(14)来说至少是部分透明的，并且彼此延伸一段共有距离，在该二者之间围成腔室(15)，并且其中，设置有用于穿过腔室馈送流体的入口(4)和出口(5)，并且其中，设置有加热装置(8)，用于加热腔室和/或其中提供的元件。

公开(公告)号：CN1565042A

公开(公告)日：2005-01-12

申请号：CN02819609.0

申请日：2002-10-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 元井泰子 ,  上野理惠

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2814 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明提供一种截面评估装置，其能够在样品温度被调节的状态下分析截面结构。本发明还公开了一种信息获取装置，其包括用于放置样品的平台、用于调节样品的温度的温度调节装置、用于使想要得到信息的样品的表面曝光的曝光装置、以及用于获取与由曝光装置曝光的表面有关的信息的信息获取装置。

公开(公告)号：CN107250757A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201680006571.3

申请日：2016-01-14

Applicant: 徕卡显微系统有限公司

Inventor： 立安得·加伊奇特 ,  冈瑟·博克 ,  托马斯·普法伊费尔

IPC: G01N1/42 ,  H01J37/18

CPC classification number: G01N1/42 ,  G01K13/006 ,  G01L19/00 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/204

Abstract: 一种用于接纳样本的样本转移装置(10)，带有被设计用来接纳样本保持器的转移杆(4)，其中，该样本保持器设置在所述样本转移装置(10)的腔(1)中，旨在把所述样本转移至处理或分析单元(200)，其中，在所述样本转移装置(10)的内部设置了用来测量物理参数的至少一个测量装置(3、8)。

公开(公告)号：CN104584181B

公开(公告)日：2017-07-25

申请号：CN201380040935.6

申请日：2013-06-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/00 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明提供一种试样观察方法，其在试样上照射一次带电粒子线，检测由上述照射得到的二次带电粒子信号，并观察上述试样，该试样观察方法的特征在于，使在保持为真空状态的带电粒子光学镜筒内产生的上述一次带电粒子线透过或通过隔膜，该隔膜以使载置上述试样的空间与上述带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，检测通过向置于大气压或比大气压稍低的负压状态的规定的气体环境的上述试样照射上述一次带电粒子线而得到的透过带电粒子线。

公开(公告)号：CN105340050B

公开(公告)日：2017-06-06

申请号：CN201480035014.5

申请日：2014-07-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 上野敦史 ,  高须久幸 ,  武藤宏史

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3053 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/06 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明的离子铣削装置具备真空室(105)、进行该真空室内的真空排气的排气装置(101)、在上述真空室内支撑离子束所照射的试样(102)的试样台(103)、加热上述真空室内的加热装置(107)、向上述真空室内导入作为热介质的气体的气源(106)、控制该气源的控制装置(110)，该控制装置在由上述加热装置进行的加热时，以上述真空室内的压力为预定的状态的方式控制。由此，在冷却试样进行离子铣削后大气开放时，可在短时间内进行用于抑制产生的结露等的温度控制。

公开(公告)号：CN105719982A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201610082472.5

申请日：2016-02-05

Applicant: 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

Inventor： 马卫民 ,  孙伟强

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01J37/20 ,  G03F1/86 ,  G03F7/7065 ,  H01J37/18 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20292 ,  H01J2237/24571 ,  H01J2237/2817 ,  H01L22/12

Abstract: 本发明公开一种检测系统。根据本发明一方面，检测系统包括：感测机构的多个镜筒；移动机构，用以在感测机构的多个镜筒下定位样品；和控制器，执行配置用以将所述镜筒配置成根据功能、权重和性能中的至少一种执行一种类型检测使得所述多个镜筒以适应的方式用于感测被检测的样品的模块。检测系统的感测机构的多个镜筒配置由不同的功能、权重和性能以检测样品，从而显著地减少如果相同地应用全部镜筒时所需的时间。

公开(公告)号：CN104584181A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201380040935.6

申请日：2013-06-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/00 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明提供一种试样观察方法，其在试样上照射一次带电粒子线，检测由上述照射得到的二次带电粒子信号，并观察上述试样，该试样观察方法的特征在于，使在保持为真空状态的带电粒子光学镜筒内产生的上述一次带电粒子线透过或通过隔膜，该隔膜以使载置上述试样的空间与上述带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，检测通过向置于大气压或比大气压稍低的负压状态的规定的气体环境的上述试样照射上述一次带电粒子线而得到的透过带电粒子线。

公开(公告)号：CN104380426A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201380033422.2

申请日：2013-06-04

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 长久保康平 ,  水尾考志

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/20207

Abstract: 在现有的试料冷却支架中，若试料的朝向变换则冷却源容器也一同倾斜，而容纳的冷却源产生起泡。因此，提供一种试料冷却支架(13)，其具有机构(14、15、17、18)，该机构即使在使试料(1)向适于加工或者观察的朝向倾斜，也能够一边沿恒定方向保持冷却源容器的姿势一边冷却试料(1)。另外，提供一种冷却源容器，其在相对于外部空气对保持冷却源的内侧容器(23)进行真空绝热的外侧容器(21)安装有真空保持机构(24、25)。