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公开(公告)号：CN101414128B
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN200810166464.4
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: G03F7/20 , H01J37/317
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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公开(公告)号：CN101414124B
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：CN200810166459.3
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: G03F7/20 , H01J37/317
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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公开(公告)号：CN101414534A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810166457.4
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: H01J37/317 , G03F7/20
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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公开(公告)号：CN101414129A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810166465.9
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: G03F7/20 , H01J37/317
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1244121C
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN01139500.1
申请日：2001-11-27
Applicant: 惠普公司
CPC classification number: B82Y10/00 , G11B9/10 , G11B9/1409 , H01J3/02 , H01J2201/308
Abstract: 电子源(102)包括：活性衬底(104)；在该衬底上的一层，这一层包括平面的多孔硅电子发射区(114)；在该层表面上的形成图案的掩膜，在该形成图案的掩膜中的开孔限定了该发射区；以及用于该发射区的聚焦结构(118，120)。
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公开(公告)号：CN1194055A
公开(公告)日：1998-09-23
申请号：CN96196532.0
申请日：1996-02-23
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01J31/12
CPC classification number: B41J2/4476 , G09G1/20 , G09G3/22 , H01J3/02 , H01J3/24 , H01J29/46 , H01J29/68 , H01J2329/00
Abstract: 一个显示系统包括一个含有显示元件矩阵的显示屏和一个里面开有管道阵列的永磁铁。每一管道与不同的显示元件相对应。每个显示元件包括一个磷靶、一个电子源以及控制电子流的装置,电子流从源出来,经过磁铁中对应的管道,到达靶上。寻址装置包括构成一个栅的第一导线与正交的第二导线。每个显示元件位于不同的一对第一导线与第二导线的交点。每个第一导线连接到一排显示元件中每个显示元件的控制装置的第一控制电极,每个第二导线连接到一排显示元件中每个显示元件的控制装置的第二控制电极。
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公开(公告)号：CN106218261A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610586389.1
申请日：2010-10-12
Applicant: 希乐克公司
Inventor： M·梅多夫
CPC classification number: G06K5/02 , B32B29/002 , B32B2262/0276 , B32B2554/00 , C08B15/00 , C08J7/123 , C12M45/00 , C12M45/06 , C12P19/00 , D21H21/48 , D21H25/04 , G01N33/346 , G01N2223/1013 , G01N2223/102 , G03C11/02 , G06K5/00 , G21K5/00 , H01J3/02 , H01J3/04
Abstract: 提供了标记纸产品的方法和标记纸产品。一些方法包括照射纸产品以改变纸的官能化。
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