公开(公告)号：EP0544663A1

公开(公告)日：1993-06-09

申请号：EP90916608.0

申请日：1990-10-17

Applicant: International Business Machines Corporation

Inventor： ZIMMERMAN, Stephen, Michael

IPC: H01J1 ,  H01J9 ,  H01J21

CPC classification number: H01J9/025 ,  H01J21/105 ,  H01J2201/30457 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: Cette invention concerne globalement un nouveau dispositif microélectronique sous vide intégré (VMD) et un procédé de fabrication de ce dernier. Les dispositifs microélectroniques sous vide nécessitent plusieurs structures spécifiques tridimensionnelles: une extrémité pointue d'émission de champ, l'alignement précis de la pointe à l'intérieur d'une structure de grille de commande dans un environnement sous vide, et une anode pour recueillir les électrons émis par la pointe. L'invention concerne également une nouvelle structure et un procédé pour former des diodes, des triodes, des tétrodes, des pentodes et d'autres structures similaires. La structure finale fabriquée peut également être connectée à d'autres dispositifs VMD similaires ou à d'autres dispositifs électroniques.

公开(公告)号：KR100896109B1

公开(公告)日：2009-05-07

申请号：KR1020077011665

申请日：2005-11-28

Applicant: 고에키자이단호진 고치켄산교신코센타 ,  가시오게산키 가부시키가이샤

Inventor： 니시무라가즈히토 ,  사사오카히데키

IPC: H01J1/304 ,  H01J9/02 ,  C01B31/02 ,  B82Y40/00

CPC classification number: H01J1/3048 ,  H01J2201/30457

Abstract: X-레이 회절에서 다이아몬드 패턴을 갖고, 5㎚ 내지 10 ㎚의 그레인 직경을 갖는 복수의 다이아몬드 미세 그레인으로 형성되는 전자 방출막이 기판 상에 형성된다. 전자 방출막은 방출 전류를 흐르게 할 때, 전계 강도를 낮은 레벨로 제한할 수 있고, 일정한 전자 방출 특성을 갖는다.
전계 방출, 전계 방출 전극, 전계 방출막, 다이아몬드 미세 그레인, 탄소 나노월, 전계 강도, 전류 밀도

公开(公告)号：KR100400818B1

公开(公告)日：2003-12-24

申请号：KR1019950027531

申请日：1995-08-30

Applicant: 에이티 앤드 티 코포레이션

Inventor： 성호진 ,  그레고리피터코칸스키 ,  존톰슨2세

IPC: H01J1/30

CPC classification number: H01J9/025 ,  H01J2201/30403 ,  H01J2201/30457 ,  H01J2329/00

Abstract: A field emission device is made by disposing emitter material on an insulating substrate, applying a sacrificial film to the emitter material and forming over the sacrificial layer a conductive gate layer having a random distribution of apertures therein. In the preferred process, the gate is formed by applying masking particles to the sacrificial film, applying a conductive film over the masking particles and the sacrificial film and then removing the masking particles to reveal a random distribution of apertures. The sacrificial film is then removed. The apertures then extend to the emitter material. In a preferred embodiment, the sacrificial film contains dielectric spacer particles which remain after the film is removed to separate the emitter from the gate. The result is a novel and economical field emission device having numerous randomly distributed emission apertures which can be used to make low cost flat panel displays.

Abstract translation: 通过在绝缘衬底上设置发射极材料，向发射极材料施加牺牲膜并在牺牲层上形成其中具有随机分布的孔的导电栅极层来制造场发射器件。 在优选的工艺中，通过将掩蔽粒子施加到牺牲膜上，在掩蔽粒子和牺牲膜上施加导电膜，然后除去掩蔽粒子以揭示孔的随机分布来形成栅极。 然后去除牺牲膜。 孔然后延伸到发射体材料。 在一个优选实施例中，牺牲膜含有介电间隔物颗粒，在去除该薄膜以将发射极与栅极分离之后该介质间隔物颗粒保留下来。 结果是一种新颖且经济的场发射器件，其具有许多随机分布的发射孔径，可用于制造低成本的平板显示器。

公开(公告)号：KR100397714B1

公开(公告)日：2003-10-17

申请号：KR1019980701066

申请日：1996-08-06

Applicant: 이.아이.듀우판드네모아앤드캄파니

Inventor： 밀러,아서 ,  베치스,데니스,죤 ,  립,스티븐,앨런 ,  존슨,제프리,폴 ,  어메이,다니엘,어윈,쥬니어

IPC: H01J31/12

CPC classification number: B82Y10/00 ,  H01J1/304 ,  H01J29/04 ,  H01J31/126 ,  H01J2201/304 ,  H01J2201/30457 ,  H01J2329/00

Abstract: PCT No. PCT/US96/12822 Sec. 371 Date Feb. 12, 1998 Sec. 102(e) Date Feb. 12, 1998 PCT Filed Aug. 6, 1996 PCT Pub. No. WO97/07524 PCT Pub. Date Feb. 27, 1997Display panels having at least one suspended fibrous cathode containing an electron field emitter are disclosed. The fibrous cathode is supported by a substrate (10) containing two sets of parallel rows of crests and valleys. The first set of parallel crests (11) and valleys (12) provide the valleys along which the fibrous cathode is aligned. The second set of parallel crests (13) and valleys (14) is perpendicular to the first set. The valleys (14) provide the means for suspending the fibrous cathode. The display panels can be produced in large sizes while still maintaining high quality and efficiency.

Abstract translation: PCT No.PCT / US96 / 12822 Sec。 371日期1998年2月12日Sec。 102（e）日期1998年2月12日PCT申请日1996年8月6日PCT公报 No. WO97 / 07524 PCT Pub。 日期1997年2月27日公开了具有至少一个含有电子场发射器的悬浮纤维阴极的显示板。 纤维状阴极由包含两组平行排的峰和谷的衬底（10）支撑。 第一组平行峰部（11）和谷部（12）提供纤维阴极沿其对齐的谷部。 第二组平行波峰（13）和谷（14）垂直于第一组。 谷（14）提供用于悬浮纤维状阴极的装置。 显示面板可以大尺寸生产，同时仍然保持高质量和高效率。

公开(公告)号：KR100319453B1

公开(公告)日：2002-01-05

申请号：KR1019990031976

申请日：1999-08-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 송윤호 ,  이진호 ,  강승열 ,  조경익

IPC: H01J1/30 ,  G09G3/22 ,  C01B31/02

CPC classification number: B82Y10/00 ,  G09G3/22 ,  H01J31/126 ,  H01J2201/30457 ,  H01J2201/30469 ,  H01J2201/319

Abstract: 본발명은전계방출소자(field emission device, field emitter)를평판디스플레이(flat panel display) 장치에응용한전계방출디스플레이(Field Emission Display: FED)에관한것이다. 본발명에의한, 2극형전계에미터를가진전계방출디스플레이는, 서로평행하게진공패키징된상판과하판을구비한 2극형전계에미터를가진전계방출디스플레이에있어서, 상기하판은, 행렬어드레싱을가능하게하는금속으로이루어진행 신호선들및 열신호선들과; 상기임의의행 신호선과열 신호선으로이루어진픽셀내에위치한막 형의전계에미터; 및상기행 신호선과열 신호선, 및전계에미터에각각접속된적어도 3개의단자들을구비하여, 상기행 신호선과열 신호선에각각인가되는스캔신호와데이터신호에따라상기전계에미터를구동하는스위칭수단을포함하고, 상기상판은, 상기전계에미터에대향하여상기전계에미터로부터방출되는전자를고에너지로가속시키는아노드전극을포함한다.

公开(公告)号：KR100303632B1

公开(公告)日：2001-09-26

申请号：KR1019990002830

申请日：1999-01-29

Applicant: 혼다 기켄 고교 가부시키가이샤

Inventor： 이와사다카시 ,  이시카와준조

IPC: H01J1/30

CPC classification number: H01J1/304 ,  H01J2201/30457

Abstract: 냉음극소자는전계를인가함에따라전자를방출하는것으로서, X선광전자분광법에의한 C전자의광전자스펙트럼의반값폭(Hw)이, Hw≥1.72eV인다이아몬드형상탄소막으로구성되어있다. 이냉음극소자는낮은인가전압에의하여도충분히전자를방출하는기능을갖고있어, 실용성이뛰어나다.

公开(公告)号：KR1020010016823A

公开(公告)日：2001-03-05

申请号：KR1019990031976

申请日：1999-08-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 송윤호 ,  이진호 ,  강승열 ,  조경익

IPC: H01J1/30 ,  G09G3/22 ,  C01B31/02

CPC classification number: B82Y10/00 ,  G09G3/22 ,  H01J31/126 ,  H01J2201/30457 ,  H01J2201/30469 ,  H01J2201/319 ,  H01J1/30 ,  C01B32/05

Abstract: PURPOSE: A field emission display with a bipolar field emitter is provided to restrict a cross talk of a display signal by isolating electrically each pixel. CONSTITUTION: A field emission display with a bipolar field emitter comprises an upper substrate and a lower substrate. The lower substrate is formed with a column signal line(41R), a row signal line(41C), a field emitter(42), and three or more terminals. The column and the row signal lines(41R,41C) are formed with a metal. The field emitter(42) is located within the pixel defined by the column and the row signal lines(41R,41C). The terminals are connected the column signal line(41R), the row signal line(41C), and the field emitter(42). The upper substrate is formed with an anode electrode for accelerating electrons.

Abstract translation: 目的：提供具有双极场发射器的场发射显示器，以通过将每个像素电隔离来限制显示信号的串扰。 构成：具有双极场发射器的场发射显示器包括上基板和下基板。 下基板由列信号线（41R），行信号线（41C），场发射器（42）和三个或更多个端子形成。 列和行信号线（41R，41C）由金属形成。 场发射器（42）位于由列和行信号线（41R，41C）限定的像素内。 端子连接列信号线（41R），行信号线（41C）和场发射器（42）。 上基板形成有用于加速电子的阳极电极。

公开(公告)号：KR100181256B1

公开(公告)日：1999-03-20

申请号：KR1019960002455

申请日：1996-02-01

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 은광용 ,  백영준

IPC: H01J1/304 ,  H01J9/02

CPC classification number: H01J9/025 ,  H01J2201/30457

Abstract: 본 발명은 전계 방출부로 사용할 수 있는, 선단의 곡률이 큰 다이아몬드 팁 제조방법에 관한 것으로, 기판 위에, 표면조직이 정사각형의 (100)면과 주위의 (111)면으로 이루어지고 다이아몬드의 성장면인 (100)면과 (111)면 뒤에 각각 형성된 다이아몬드의 결함 밀도가 서로 다른, 다이아몬드 주상입자로 이루어지는 다이아몬드 막을 형성하는 단계 및 상기 다이아몬드 막을 산소 함유 기체를 사용한 플라즈마로 식각하는 단계로 이루어진다. 본 발명의 또다른 방법은 기판 위에, 표면 조직이 정사각형의 (100)면과 주위의 (111)면으로 이루어지고 다이아몬드의 성장면인 (100)면과 (111)면 뒤에 각각 형성된 다이아몬드의 결함밀도가 서로 다른, 다이아몬드 주상입자로 이루어지는 다이아몬드 막을 형성하는 단계; 상기 다이아몬드막 위에 지지후막을 형성하는 단계 및 상기 기판을 제거하는 단계로 이루어지고, 상기 단계중 어느 한 단계 이후에 상기 다이아몬드막을 기체를 사용한 플라즈마로 식각하는 것으로 이루어진다.

公开(公告)号：KR100172634B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019940036701

申请日：1994-12-22

Applicant: 캐논 가부시끼가이샤

Inventor： 사노우요시히사 ,  미쯔다께히데아끼 ,  나까무라나오또 ,  스즈끼히데또시

IPC: H01J31/12

CPC classification number: B82Y10/00 ,  G09G3/2014 ,  G09G3/22 ,  G09G2320/0233 ,  H01J1/316 ,  H01J29/70 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/30457 ,  H01J2201/3165 ,  H01J2329/00

Abstract: 다수의 전자 방출 디바이스를 구비하는 전자빔 소스, 및 전자 방출 디바이스로부터 방출된 전자빔이 조사됨에 따라 화상을 형성하는 화상 형성 부재를 기판 상에 포함하는 화상 형성 장치에 있어서, 상기 화상 형성 부재는 스트라이프형 부재이고, 상기 다수의 전자 방출 디바이스 각각은 스트라이프형 부재가 연장되는 방향에 대해서 수직 방향으로 나란히 기판 표면에 배열되어 있는 음의 전극, 전자 방출 영역 및 양의 전극을 포함한다. 상기 장치에 있어서는, 냉음극 디바이스와 같은 전자 방출 디바이스와, 형광 물질과 같은 화상 형성 부재 간의 위치 관계가 조립 동안에 소정 위치 관계로부터 벗어날지라도 화질이 열화되지 않는다.

公开(公告)号：TWI250546B

公开(公告)日：2006-03-01

申请号：TW090103596

申请日：2001-04-10

Applicant: 富樂林國際公司 FULLERENE INTERNATIONAL CORPORATION

Inventor： 史蒂芬 迪米翠傑維克 STEVEN DIMITRIJEVIC ,  詹姆士C. 威瑟斯 JAMES C. WITHERS ,  拉夫O. 勞特夫 RAOUF O. LOUTFY

IPC: H01J

CPC classification number: B82Y10/00 ,  H01J1/304 ,  H01J1/3044 ,  H01J9/025 ,  H01J2201/30457 ,  H01J2201/30469 ,  Y10S977/745 ,  Y10S977/939

Abstract: 本發明係關於一塗佈鑽石或似鑽石碳之毫微管、一包括該毫微管之場放射器陰極及一包括該陰極之場放射器。此也關於對一包括一由以鑽石或似鑽石碳塗佈之毫微管組成之陰極之場放射器防止碳蒸發之方法。在另一觀點中，本發明係關於對包括一由毫微管組成之陰極之電子場放射器防止碳蒸發之方法，其方法包括以鑽石或似鑽石碳塗佈該毫微管。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一涂布钻石或似钻石碳之毫微管、一包括该毫微管之场放射器阴极及一包括该阴极之场放射器。此也关于对一包括一由以钻石或似钻石碳涂布之毫微管组成之阴极之场放射器防止碳蒸发之方法。在另一观点中，本发明系关于对包括一由毫微管组成之阴极之电子场放射器防止碳蒸发之方法，其方法包括以钻石或似钻石碳涂布该毫微管。