体声波谐振器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107317561A

    公开(公告)日:2017-11-03

    申请号:CN201710032174.X

    申请日:2017-01-13

    Abstract: 提供一种体声波谐振器及其制造方法,所述体声波谐振器可包括:空气腔;蚀刻停止层和蚀刻停止部,限定空气腔的下边界表面和侧边界表面;谐振部,形成在通过空气腔的上边界表面和蚀刻停止部的顶表面形成的近似平坦的表面上。蚀刻停止部的顶表面的宽度可比蚀刻停止部的底表面的宽度大。将蚀刻停止部的顶表面和蚀刻停止部的底表面连接的蚀刻停止部的侧表面可以是倾斜的。

    喷墨印刷头
    47.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103129141A

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201210291672.3

    申请日:2012-08-16

    CPC classification number: B41J2/14233 B41J2002/14411 B41J2202/11

    Abstract: 本发明提供一种喷墨印刷头,所述喷墨印刷头包括:第一基板,在第一基板中形成有第一限流器和压力室;第二基板,在第二基板中形成有歧管、第二限流器和喷嘴,其中,第一限流器连接到歧管和第二限流器,第二限流器连接到第一限流器和压力室。

    体声波谐振器
    50.
    发明公开
    体声波谐振器 审中-公开

    公开(公告)号:CN118868847A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202410483538.6

    申请日:2024-04-22

    Abstract: 本公开涉及体声波谐振器。体声波谐振器包括:有效区域,在该有效区域中,设置在基板上的第一电极、沿着高度方向设置在第一电极上的压电层、以及沿着高度方向设置在压电层上的第二电极在高度方向上彼此重叠;外围区域,在该外围区域中,第一电极或第二电极从有效区域向外延伸,使得第一电极和第二电极在外围区域中在高度方向上彼此不重叠;以及辅助层,设置在外围区域中,其中,有效区域的第一截止频率基本上等于外围区域的第二截止频率。

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