公开(公告)号：KR101685366B1

公开(公告)日：2016-12-12

申请号：KR1020150187842

申请日：2015-12-28

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 서상준 ,  조성민 ,  유지범 ,  정호균

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/22

Abstract: 무기박막의고속증착방법및 상기무기박막의고속증착을위한제조장치에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及无机薄膜的高效率沉积方法和无机薄膜的高速沉积的制造装置。 本发明提供一种无机薄膜的制造方法，其特征在于，包括：使用原料气体和反应气体等离子体处理基材; 在基材上形成无机薄膜作为原料气体，反应气体在基材的表面上反应。

公开(公告)号：KR1020160108665A

公开(公告)日：2016-09-20

申请号：KR1020150030548

申请日：2015-03-04

Applicant: 삼성디스플레이 주식회사 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 허명수 ,  조성민 ,  고동균 ,  김성철 ,  김인교 ,  노철래 ,  서상준 ,  서승우 ,  장철민

IPC: H01L27/32 ,  H01L51/52 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L51/5253 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45565 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/5256 ,  H01L51/5259 ,  H01L51/56 ,  H01L2251/303 ,  H01L27/3274 ,  H01L27/3262 ,  H01L51/5237 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/0104 ,  H01L2924/01072

Abstract: 본발명은표시장치, 표시장치의제조장치및 표시장치의제조방법을개시한다. 본발명은, 기판과, 상기기판상에형성되는표시부와, 상기표시부상에형성되는박막봉지층을포함하고, 상기박막봉지층은무기층을포함하고, 상기무기층은, 알루미늄, 아연, 지르코늄및 하프늄중 적어도 2개이상으로형성된복합산화물을포함하는제1 서브무기층을포함한다.

Abstract translation: 本发明提供一种显示装置及其制造装置及其制造方法。 本发明包括基板，形成在基板上的显示单元和形成在显示单元上的薄膜封装层，其中薄膜封装层包括无机层，无机层包括第一亚无机层，其具有 由铝，锌，锆和铪中的两种以上形成的复合氧化物。

公开(公告)号：KR1020150090866A

公开(公告)日：2015-08-06

申请号：KR1020150014611

申请日：2015-01-29

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 정호균 ,  조덕수 ,  김대경 ,  조성민 ,  채희엽 ,  윤대호

IPC: H01L51/52 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L51/5262 ,  H01L51/56

Abstract: 차세대유연고체조명을위한기능성입자층및 상기기능성입자층의제조방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于下一代柔性固态照明的功能性颗粒层和功能性颗粒层的制造方法。 功能性粒子层包括在粘合性聚合物层中形成的粒子层，其中，粒子包括荧光体，非荧光体，或荧光体与非荧光体的混合物。

公开(公告)号：KR101491762B1

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：KR1020140089854

申请日：2014-07-16

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 서상준 ,  박화선 ,  정호균 ,  조성민 ,  유지범

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/06 ,  C23C16/30

CPC classification number: C23C16/06 ,  C23C16/30 ,  C23C16/44

Abstract: 본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로서, 기재가 로딩되는 기재 로딩부, 기재 로딩부에 결합되어 기재를 교번 이동시키는 기재 수송부, 및 기재 상에 박막을 증착하는 박막 증착부를 포함한다. 이때, 박막 증착부는 복수의 플라즈마 모듈을 포함하고, 각각의 플라즈마 모듈 사이에 배치되어 또는 하강하는 동작을 통해 서로 인접한 플라즈마 발생 모듈 하부의 공간을 연결 또는 차단시키는 격리부를 포함하며, 기재 수송부가 기재 로딩부를 교번 이동하여 기재상에 박막이 증착된다.

Abstract translation: 本发明涉及一种薄膜沉积装置。 用于薄膜的装置包括：基本材料装载单元，其中装载基本材料; 与基本材料装载单元结合的基本材料运输单元，交替地转移基础材料; 以及将薄膜沉积在基材上的薄膜沉积单元。 薄膜沉积单元包括多个等离子体模块和布置在每个等离子体模块之间的隔离单元，并且通过下降运动连接或阻挡彼此相邻的等离子体发生模块的下部。 当基本材料运输单元交替地传送基本材料装载单元时，薄膜沉积在基本材料上。

公开(公告)号：KR101473464B1

公开(公告)日：2014-12-18

申请号：KR1020140097414

申请日：2014-07-30

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 서상준 ,  조성민 ,  유지범 ,  정호균

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/314

CPC classification number: H01L21/02271 ,  C23C16/22 ,  C23C16/455 ,  H01L21/324

Abstract: 무기박막의 제조방법 및 상기 무기박막의 제조장치에 관한 것이다.

Abstract translation: 本发明涉及无机薄膜的制造方法和装置。 根据本发明的实施方式的无机薄膜的制造方法包括以下步骤：使用硅源和反应性气体交替地处理具有等离子体的基材; 以及通过使所述基材的表面与所述硅源和所述反应性气体反应而在所述基材上形成所述无机薄膜。 硅源包括硅前体和惰性气体。

公开(公告)号：KR1020140130016A

公开(公告)日：2014-11-07

申请号：KR1020140015730

申请日：2014-02-11

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 조성민 ,  정호균 ,  채희엽 ,  서상준 ,  서승우

IPC: H01L51/00

Abstract: 본원은, 초극유연성 다층 봉지 박막, 상기 다층 봉지 박막의 제조 방법, 및 상기 다층 봉지 박막의 제조 장치에 관한 것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种超柔性封装薄膜。 更具体地说，本发明涉及超柔性封装薄膜以及制造超柔性封装薄膜的方法。 根据本发明的实施方案的超柔性封装薄膜包括在基板上形成的金属氧化物的无机薄膜和包含在无机薄膜上形成的聚合物的有机薄膜。 根据本发明实施例的多层封装薄膜包括由无机薄膜和有机薄膜组成的层。 根据本发明的实施方案，无机薄膜的单层具有0.1nm至20nm的厚度。

公开(公告)号：KR1020140056117A

公开(公告)日：2014-05-09

申请号：KR1020130131982

申请日：2013-11-01

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 정호균 ,  조덕수 ,  김봉성 ,  조성민 ,  유민선

IPC: H01L51/50 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L51/56 ,  H01L51/0024 ,  H01L51/5012

Abstract: A method for manufacturing an organic light emitting device (OLED) arranges at least one surface of an OLED and an inorganic phosphor to contact each other, joins the OLED and the inorganic phosphor together through a roll-to-roll process, and obtains the OLED having the inorganic phosphor as a color conversion layer. Reliability can be enhanced by reducing the influence of external factors by joining the OLED and the inorganic phosphor through the roll-to-roll process.

Abstract translation: 有机发光器件（OLED）的制造方法将OLED和无机荧光体的至少一个表面配置成彼此接触，通过卷对卷方法将OLED和无机荧光体连接在一起，并获得OLED 具有无机磷光体作为颜色转换层。 可以通过降低外部因素的影响来增强可靠性，方法是通过卷对卷方法连接OLED和无机磷光体。

公开(公告)号：KR1020130117510A

公开(公告)日：2013-10-28

申请号：KR1020120040319

申请日：2012-04-18

Applicant: 가부시키가이샤 가네카 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 조성민

IPC: H01L51/52 ,  H05B33/04 ,  H05B33/10

CPC classification number: C23C16/40 ,  C23C28/042 ,  C23C28/42 ,  H01L51/5237 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/5256 ,  H01L51/56 ,  H05B33/04 ,  H05B33/10

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a moisture penetration-preventing film using an inorganic film, a moisture penetration-preventing film using an organic film, and an electron bag device prevent the penetration of moisture, and absorb the moisture in an element, preventing the degradation of electric elements. CONSTITUTION: A moisture penetration-preventing film (100) comprises a substrate (110), an alternately laminated inorganic film (120) of the amorphous state, and another inorganic film (130) of the amorphous state. The moisture penetration-preventing film successively repeats a first cycle and a second cycle multiple times. The first cycle and the second cycle are performed with the atomic layer deposition mode. The thickness of a film layered for the first cycle is from 0.8Å to 1.4Å inclusively. The thickness of a film layered for the second cycle is from 0.6Å to 1.2Å inclusively.

Abstract translation: 目的：使用无机膜制造防潮透湿膜的方法，使用有机膜的防湿透膜和电子袋装置防止水分渗透，并吸收元件中的水分，防止劣化 的电气元件。 构成：防潮透湿膜（100）包括基板（110），非晶状态的交替层叠无机膜（120）和非晶态的另一无机膜（130）。 防潮透湿膜多次重复第一循环和第二循环。 以原子层沉积模式进行第一周期和第二周期。 在第一周期中层叠的膜的厚度为0.8〜1.4。 第二循环层叠的膜的厚度为0.6〜1.2。

公开(公告)号：KR1020130014919A

公开(公告)日：2013-02-12

申请号：KR1020110076664

申请日：2011-08-01

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유지범 ,  김상우 ,  신동욱 ,  조성민

IPC: C01B31/02 ,  C23C16/26

CPC classification number: C01B32/182 ,  C23C16/26

Abstract: PURPOSE: A transparent graphene sheet and a manufacturing method thereof are provided to enable users to use the sheet as a transparent electrode without separately removing of a metal catalyst particle, by maintaining transparency even when graphene is grown on a transparent substrate with the metal catalyst particle deposited partially. CONSTITUTION: A manufacturing method of a transparent graphene sheet comprises the following steps. A catalyst metal particle(210) is deposited on a transparent substrate(100). The transparent substrate with the metal catalyst particle is exposed with a carbon source to grow graphene. The catalyst metal particle is partially deposited to the transparent substrate. In the step of depositing catalyst metal particle, the catalyst metal particle is deposited when the transparent substrate is heated.

Abstract translation: 目的：提供一种透明的石墨烯片及其制造方法，即使在使用金属催化剂粒子的透明基板上生长石墨烯时，也可以通过保持透明性而使用该片材作为透明电极而无需分别除去金属催化剂粒子 部分存放。 构成：透明石墨烯片的制造方法包括以下步骤。 催化剂金属颗粒（210）沉积在透明基板（100）上。 具有金属催化剂颗粒的透明基板用碳源曝光以生长石墨烯。 催化剂金属颗粒部分地沉积到透明基底上。 在沉积催化剂金属颗粒的步骤中，当透明基板被加热时沉积催化剂金属颗粒。

公开(公告)号：KR100719095B1

公开(公告)日：2007-05-17

申请号：KR1020050069867

申请日：2005-07-29

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 정찬화 ,  김우재 ,  최후곤 ,  이영관 ,  조성민 ,  남재도

IPC: H01M8/02 ,  H01M8/00

CPC classification number: H01M8/1011 ,  H01M8/04186 ,  H01M8/04197 ,  H01M8/04208 ,  H01M2250/30 ,  Y02B90/18 ,  Y02E60/523

Abstract: 본 발명은 연료 확산속도 제어물질층을 포함하여 메탄올 크로스오버 현상을 억제시킨 직접 메탄올 연료전지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 연료 확산속도 제어물질층이 연료극과 연료통 사이에 삽입되어 고농도의 메탄올 연료를 사용하는 경우에도 메탄올의 확산속도를 감소시켜 주입된 메탄올이 촉매층에서 모두 반응되도록 하므로써 미반응 메탄올을 원천적으로 감소시켜 메탄올 크로스오버 현상을 억제하고 높은 전력 밀도를 나타내는 직접 메탄올 연료전지에 관한 것이다.
본 발명에 따른 직접 메탄올 연료전지는 연료 확산속도 제어물질층에 의해 연료 공급 속도를 조절하여 메탄올 크로스오버 현상을 억제하므로, 에너지 밀도 및 출력 밀도가 향상되며 고농도 메탄올 수용액 연료를 사용할 수 있어서 적은 양의 연료로도 장시간 사용할 수 있으며, 또한 연료통의 부피를 감소시켜 연료전지의 소형화를 이룰 수 있다.
따라서, 본 발명에 따르면 활성 또는 불활성 타입 등의 모든 종류의 직접 메탄올 연료전지의 성능을 개선하여 휴대폰, PDA, 노트북 등의 소형 휴대 전자제품의 전원으로 이용할 수 있다.
직접 메탄올 연료전지, 연료 확산속도 제어물질층, 연료전지