公开(公告)号：KR1020010019965A

公开(公告)日：2001-03-15

申请号：KR1019990036643

申请日：1999-08-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김창식 ,  박진호 ,  전병구 ,  채광식

IPC: H01L21/00

Abstract: PURPOSE: An apparatus for controlling radio frequency(RF) of a process chamber is provided to precisely control the RF applied to the process chamber regardless of RF used in a matching network, by precisely detecting the RF applied to the process chamber. CONSTITUTION: A radio frequency(RF) control apparatus compares RF supplied to a process chamber(4) with a predetermined value, and controls an impedance matching state of a matching network(9). An RF sensor(8) detects the RF supplied to the process chamber and supplies the RF to a control unit, installed in a rear end of the matching network. A control unit(6) compares the RF of the process chamber detected by the RF sensor with an established value, and controls an impedance matching state of the matching network.

Abstract translation: 目的：提供一种用于控制处理室的射频（RF）的装置，通过精确检测施加到处理室的RF，精确地控制施加到处理室的RF，而不管匹配网络中使用的RF。 构成：射频（RF）控制装置将提供给处理室（4）的RF与预定值进行比较，并控制匹配网络（9）的阻抗匹配状态。 RF传感器（8）检测提供给处理室的RF，并将RF提供给安装在匹配网络后端的控制单元。 控制单元（6）将由RF传感器检测到的处理室的RF与建立的值进行比较，并且控制匹配网络的阻抗匹配状态。

公开(公告)号：KR2020000018423U

公开(公告)日：2000-10-16

申请号：KR2019990004407

申请日：1999-03-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박진호

IPC: B41J19/00

Abstract: 본고안은인쇄를하기위하여가이드샤프트를따라좌,우왕복운동을하는프레임캐리지와의마찰을감소시키고, 가이드샤프트를회전시켜편마모를방지하고자하는가이드샤프트의편마모가방지되는화상형성장치에관한것으로, 캐리지프레임에의해작동되는작동수단과상기작동수단에의해가이드샤프트를일정하게회전시키는회전수단을구비하여가이드샤프트의편마모를방지하는것으로, 상기작동수단는작동암과탄력부재와앵커를구비하고, 회전수단는앵커에의하여회전하는래칫휠과베벨기어부를구비하는것으로, 가이드샤프트의편마모의방지와, 또한가이드샤프트와캐리지프레임에윤활제의흘러내리는것을방지할수가있으며, 가이드샤프트가삽입된캐리지프레임의유동을방지하게되어인쇄품질을향상시키게되는것이다.

公开(公告)号：KR1020000026468A

公开(公告)日：2000-05-15

申请号：KR1019980043999

申请日：1998-10-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 윤석준 ,  박진호

IPC: H01L21/00

Abstract: PURPOSE: A vacuum device used in semiconductor manufacturing facilities is provided to harmonize the speed of streamlines from the center to the edge of a piping, thereby reducing impulse to a pump and by-products adhered to the piping. CONSTITUTION: A vacuum device used in semiconductor manufacturing facilities comprises a vacuum pump(100), a first piping(120) having a first valve(140), a second piping having a second valve(200), a vacuum gauge connected to the second piping, and a mesh(240). The first valve is extended from the vacuum pump and connected a vacuum chamber. The second valve is extended from the vacuum chamber. The mesh is formed in perpendicular to the first piping direction in prescribed position within the first piping. The size of slots(260) in the mesh increase gradually from the center to the edge.

Abstract translation: 目的：提供半导体制造设备中使用的真空装置，以协调从管道的中心到边缘的流线速度，从而减少对泵的冲击和附着在管道上的副产物。 构成：用于半导体制造设备的真空装置包括真空泵（100），具有第一阀（140）的第一管道（120），具有第二阀门（200）的第二管道，连接到第二阀门 管道和网格（240）。 第一个阀从真空泵延伸并连接一个真空室。 第二个阀从真空室延伸出来。 网格在第一管道内的规定位置处垂直于第一管道方向形成。 网格中的槽（260）的尺寸从中心逐渐增加到边缘。

公开(公告)号：KR1020000019711A

公开(公告)日：2000-04-15

申请号：KR1019980037950

申请日：1998-09-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박진호 ,  박신현 ,  전병구

IPC: H01L21/205

Abstract: PURPOSE: A gas tube of a semiconductor fabrication apparatus is provided to prevent a residual product from being attached at an inner wall of the gas tube. CONSTITUTION: A gas tube of a semiconductor fabrication apparatus comprises a gas tube body(11), a first insulation layer(12), a heater layer(13), and a second insulation layer(14). The gas tube body(11) has an inner space(15). The first insulation layer(12) is formed with an insulation material so as to surround a circumference plane of the gas tube body(11). The heater layer(13) is formed so as to surround a circumference plane of the first insulation layer(12) to conduct a heat operation by a supplied electricity. The second insulation layer(14) is formed with an insulation material so as to surround a circumference plane of the heater layer(13).

Abstract translation: 目的：提供半导体制造装置的气体管，以防止残留产物附着在气体管的内壁。 构成：半导体制造装置的气体管包括气体管体（11），第一绝缘层（12），加热器层（13）和第二绝缘层（14）。 气体管体（11）具有内部空间（15）。 第一绝缘层（12）以包围气体管体（11）的圆周平面的绝缘材料形成。 加热器层（13）形成为围绕第一绝缘层（12）的圆周平面，以通过供电进行热操作。 第二绝缘层（14）由绝缘材料形成以包围加热器层（13）的圆周平面。

公开(公告)号：KR1020000009315A

公开(公告)日：2000-02-15

申请号：KR1019980029628

申请日：1998-07-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박진호

IPC: G09G3/00

Abstract: PURPOSE: A power supply of a liquid crystal display(LCD) is provided to supply stable power and to design small size of the liquid crystal display by dividing a pixel driving power and applying divided pixel driving power to a source driver. CONSTITUTION: The power supply comprises a power supply section, a direct current(DC) transforming section. In the power supply, the supply section generates power for source drivers and gate drivers. The DC transforming section transforms the power supplied from the power supply section to pixel switch control power and applies to gate drivers. The DC transforming section generates pixel switch control powers and a plurality of pixel driving power are applied to a plurality of source drivers to which one pixel driving power is setting.

Abstract translation: 目的：提供液晶显示器（LCD）的电源，以通过划分像素驱动功率并向源极驱动器施加划分的像素驱动电力来提供稳定的电力并设计小尺寸的液晶显示器。 规定：电源包括电源部分，直流（DC）转换部分。 在电源中，供电部分为源极驱动器和栅极驱动器供电。 DC变换部将从电源部供给的电力变换为像素开关控制电力，并施加到栅极驱动器。 DC变换部生成像素开关控制电力，多个像素驱动电力被施加到正在设定一个像素驱动电力的多个源极驱动器。

公开(公告)号：KR1020000001705A

公开(公告)日：2000-01-15

申请号：KR1019980022081

申请日：1998-06-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 고웅 ,  정석용 ,  박진호

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: A bar code detecting system of a semiconductor device fabricating equipment is provided to prevent a wafer loss owing to an operating error. CONSTITUTION: The bar code detecting system of a semiconductor device fabricating equipment comprises: a cassette(10); a bar code reading system(14) attached to an opposite place to a bar code(12) which is contacted to the cassette; a detecting unit(16) connected to the bar code reading system, for detecting a note number; and an alarm unit(18) connected to the detecting unit, for generating an alarm when the node number satisfies a predetermined expected value.

Abstract translation: 目的：提供半导体器件制造设备的条形码检测系统，以防止由于操作错误导致的晶片损失。 构成：半导体器件制造设备的条形码检测系统包括：盒（10）; 附接到与盒子接触的条形码（12）的相对位置的条形码读取系统（14）; 连接到条形码读取系统的检测单元（16），用于检测音符编号; 以及连接到所述检测单元的报警单元（18），用于当所述节点号满足预定期望值时产生报警。

公开(公告)号：KR200162391Y1

公开(公告)日：1999-12-15

申请号：KR2019970040881

申请日：1997-12-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박진호

IPC: B41J29/00

Abstract: 본 고안은 스프링클러치를 사용하는 잉크젯프린터에서 픽업롤러의 역회전을 방지하는 잉크젯프린터용 픽업롤러의 역회전 방지장치에 관한 것으로, 이를 위해 캠에 의해 급지판을 승강시키는 구조의 급지장치에서, 캠의 위치를 유지, 역회전 방지를 위해 캠의 반대편 픽업롤러축에 라체트가 일체로 설치되고, 라체트의 끝단부에 톱니부가 형성되며, 급지판의 일측에 스토퍼레버가 설치되어 상기 라체트의 톱니부에 맞물려 픽업롤러축의 비정상적인 역회전을 방지하도록 형성되어 픽업롤러축의 비정상적인 역회전을 막아주는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100212700B1

公开(公告)日：1999-08-02

申请号：KR1019960023021

申请日：1996-06-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김종현 ,  박진호 ,  김종명 ,  박신현

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 건식 식각 장치의 저장 챔버내에 센서들을 설치하여 로봇 블레이드의 캘리브레이션 불량이나, 로봇 블레이드의 휨으로 인해 상기 저장 챔버내의 저장 엘리베이터 웨이퍼가 잘못 놓여져 있거나 로봇 블레이드가 정상적으로 놓여진 웨이퍼들 사이에 놓여져 있을 때 이를 감지하여 상기 저장 엘리베이터의 구동 모터에 전원 공급을 차단함으로써 상기 저장 엘리베이터의 이동을 중지시켜 상기 저장 엘리베이터에 실린 웨이퍼들이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
따라서, 웨이퍼 파손의 방지에 따라 불량이 처리되는 웨이퍼들의 수량이 감소되어 원가 절감이 가능하고, 또한 웨이퍼 표면 처리용 설비의 가동률 증대가 가능하게 된다.

公开(公告)号：KR100197890B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019960020406

申请日：1996-06-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 배종선 ,  오재영 ,  김한성 ,  박진호

IPC: H01L21/302

Abstract: 건식식각을 위한 전압인가용 전극이 공정 중 적정온도를 유지하도록 냉각시키는 시스템을 자동화 시스템으로 개선시킨 반도체 제조용 식각설비의 냉각장치에 관한 것이다.
본 발명은 식각설비의 전극이 공급라인과 회수라인을 통한 냉각액의 순환방식으로 냉각되도록 구성되는 냉각장치에 있어서, 상기 공급라인에 제1개폐부가 설치되고 상기 제1개폐부와 상기 전극 사이의 공급라인에 결합된 기체 공급용 결합라인에 제2개폐부가 설치되며 상기 회수라인에 제3개폐부가 설치된 개폐수단 및 상기 냉각액이 수용된 탱크의 상부에 공기 배출용 제4개폐부가 설치되고 상기 탱크부터 상기 전극으로의 상기 냉각액의 공급이 이루어지는 공급모드, 상기 탱크의 냉각수 출입이 차단되는 중지모드 및 상기 공급라인, 전극 및 회수라인의 냉각액을 탱크로 모으는 교체모드로 구분하여 상기 냉각액의 순환을 제어하도록 조작수단이 구비된 칠러를 구비하여 이루어진다.
따라서, 냉각 장치의 조작이 용이하고, 밸브의 개폐가 자동화되어 생산성이 극대화되고, 작업성이 향상되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100196899B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019960023288

申请日：1996-06-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임태형 ,  박진호 ,  김익주 ,  유덕수

IPC: H01L21/302

Abstract: 본 발명은 커플링 플렉스에 형성되어 있는 완충 슬레이트를 적어도 2개 이상 형성하여 커플링 플렉스에 균일성을 향상시켜 커플링 플렉스를 장시간 사용하여도 클램프 링 핀이 한쪽으로 기울어지는 것을 방지하여 클램프가 웨이퍼를 클램핑시 웨이퍼를 균일하게 눌러주는 에칭 공정시 웨이퍼 표면이 균일하게 에칭되게 하고, 클램프 백업시 클램프가 한쪽으로 기울어지는 것을 방지하여 백업 시간을 감소시켜 가동률을 증가시킬 수 있다.