公开(公告)号：KR1020080036441A

公开(公告)日：2008-04-28

申请号：KR1020060103036

申请日：2006-10-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 홍선영 ,  박홍식 ,  정종현 ,  김봉균 ,  신원석 ,  이병진 ,  임태빈

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/6708 ,  G03F7/423 ,  B05B1/005

Abstract: An apparatus for eliminating a photoresist is provided to efficiently recover a used process liquid and to reuse the recovered process liquid by employing an inclined support for sloping a glass substrate. A chamber(100) includes a space on which a glass substrate(P) is placed, and a nozzle for spraying a process liquid onto the glass substrate. A transfer unit(17) transfers the glass substrate through the chamber. An inclined support(310) is received on the transfer unit and slopes the glass substrate mounted on its upper portion. An ozone reactor injects ozone to the process liquid which is sprayed onto the glass substrate. A degassing unit removes ozone contained in the process liquid. The degassing unit sprays nitrogen. The transfer unit is a conveyer which is horizontally moved. The glass substrate is sequentially passed through a plurality of baths. The chamber is divided into one or more partitions and includes the plurality of baths including the nozzles.

Abstract translation: 提供一种用于消除光致抗蚀剂的装置，以有效地回收使用的处理液体，并通过使用用于倾斜玻璃基板的倾斜支撑来再利用回收的处理液体。 室（100）包括放置玻璃基板（P）的空间和用于将处理液体喷射到玻璃基板上的喷嘴。 传送单元（17）将玻璃基板传送通过室。 倾斜支撑件（310）被容纳在传送单元上并且倾斜安装在其上部的玻璃基板。 臭氧反应器将臭氧注入喷涂在玻璃基板上的工艺液体。 脱气装置除去处理液中含有的臭氧。 脱气装置喷氮。 转印单元是水平移动的输送机。 玻璃基板依次通过多个槽。 腔室被分成一个或多个分隔件，并且包括多个包括喷嘴的浴槽。

公开(公告)号：KR1020080032983A

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：KR1020060099474

申请日：2006-10-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김봉균 ,  오민석 ,  박홍식 ,  정종현 ,  홍선영 ,  신원석 ,  이병진

IPC: H01L29/786

CPC classification number: G02F1/136286 ,  H01L27/124 ,  H01L29/42384 ,  H01L29/4908

Abstract: A thin film transistor substrate and a method of manufacturing the same are provided to improve the aperture ratio and transmittance by reducing a CD(Critical Dimension) error. A gate line(30) and a data line(40) are formed at both sides of a gate insulating layer(35). A thin film transistor(50) is formed at an intersection between the gate line and the data line. A pixel electrode(80) is connected to the thin film transistor. An active barrier layer(20) is formed at the gate line and a lower side of a gate electrode of the thin film transistor to reduce a CD error. The thickness of the active barrier layer is 200 to 1000 angstrom. A width of an upper surface of the active barrier layer is equal to a width of a lower surface of the gate line.

Abstract translation: 提供薄膜晶体管基板及其制造方法，以通过减小CD（临界尺寸）误差来提高开口率和透射率。 栅极线（30）和数据线（40）形成在栅极绝缘层（35）的两侧。 薄膜晶体管（50）形成在栅极线与数据线之间的交点处。 像素电极（80）连接到薄膜晶体管。 在薄膜晶体管的栅电极的栅极线和栅电极的下侧形成有源阻挡层（20），以减少CD误差。 有源阻挡层的厚度为200〜1000埃。 有源阻挡层的上表面的宽度等于栅极线的下表面的宽度。

公开(公告)号：KR100783594B1

公开(公告)日：2007-12-07

申请号：KR1020010085950

申请日：2001-12-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송근규 ,  박홍식 ,  노남석 ,  김대옥

IPC: G02F1/1345

Abstract: 액정표시장치의 배선 형성방법이 개시되어 있다. 제1 금속막 및 몰리텅스텐(MoW)으로 이루어진 제2 금속막을 순차적으로 증착한다. 제1 금속막의 식각율에 비해 제2 금속막의 식각율이 높은 에천트를 이용하여 제2 금속막 및 제1 금속막을 동시에 식각함으로써 측벽이 45°이하의 테이퍼 각을 갖는 배선을 형성한다. 액정표시장치의 게이트 배선을 알루미늄 합금의 제1 금속막 및 몰리텅스텐의 제2 금속막이 적층된 이중막 구조로 형성할 때, 게이트 배선의 테이퍼 각을 45°이하로 만들어 그 위에 증착되는 층들의 단차 도포성을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR100773545B1

公开(公告)日：2007-11-06

申请号：KR1020060014696

申请日：2006-02-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박홍식 ,  심종엽 ,  홍승범 ,  민동기

IPC: H02K41/02

CPC classification number: G11B9/1436 ,  G01Q10/04 ,  G01Q80/00

Abstract: 로킹장치를 구비한 Ｘ-Ｙ스테이지 구동장치와, 이를 채용한 정보저장기기에 관하여 개시된다. 개시된 로킹장치를 구비한 XY스테이지 구동장치는: XY스테이지; 상기 XY스테이지를 탄성 지지하며, 상기 XY 스테이지의 코너를 지지하는 탄성빔을 구비하는 지지부; 상기 XY 스테이지를 제1방향과, 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 구동하는 구동부; 상기 XY스테이지의 회전을 저지하는 스티프너; 및 상기 스티프너를 정전기력으로 고정하는 로킹장치;를 구비하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020070059294A

公开(公告)日：2007-06-12

申请号：KR1020050117985

申请日：2005-12-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박홍식

IPC: C11D7/22

CPC classification number: C11D11/0047 ,  C11D7/263 ,  C11D7/3281

Abstract: A cleaning agent for a display device is provided to have excellent detergency without causing aluminum corrosion in a manufacturing method of a liquid crystal display device having aluminum signal lines. The cleaning agent for a display device comprises ultrapure water, cyclic amine, pyrogallol, benzotrizole, and methyl glycol. The method for manufacturing a thin film transistor display panel using the cleaning agent includes the steps of: stacking a first thin film layer on a substrate; patterning the first thin film layer through photolithography; cleaning the substrate having the first thin film layer using the cleaning agent; and stacking a second thin film layer on the cleaned substrate.

Abstract translation: 在具有铝信号线的液晶显示装置的制造方法中，提供了用于显示装置的清洁剂，以具有优异的去污力而不引起铝腐蚀。 用于显示装置的清洁剂包括超纯水，环胺，连苯三酚，苯并三唑和甲基二醇。 使用该清洁剂制造薄膜晶体管显示面板的方法包括以下步骤：在基板上层叠第一薄膜层; 通过光刻图案化第一薄膜层; 使用清洁剂清洗具有第一薄膜层的基板; 以及在清洁的基底上堆叠第二薄膜层。

公开(公告)号：KR100723413B1

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：KR1020050113571

申请日：2005-11-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 고형수 ,  홍승범 ,  민동기 ,  박홍식

IPC: G11B9/14

Abstract: 데이터 기록 및 읽기용 멀티 프로브(multi-probe)와 그 동작 방법에 관해 개시되어 있다. 여기서 본 발명은 기록매체에 대한 데이터 기록 및 읽기에 사용되는 멀티 프로브에 있어서, 상기 멀티 프로브에 포함된 모든 프로브는 상기 기록매체에 데이터를 기록하고 상기 기록매체로부터 데이터를 읽을 수 있는 동작 프로브(working probe)인 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 및 그 동작 방법을 제공한다.

Abstract translation: 公开了一种用于数据记录和读取的多探针及其操作方法。 本发明涉及一种多探针被用于数据记录和读出的记录介质上时，包含在记录介质上的多探头记录数据和所有探针操作探针（工作数据可以从记录介质中读取 探针及其操作方法。

公开(公告)号：KR1020070051561A

公开(公告)日：2007-05-18

申请号：KR1020050109285

申请日：2005-11-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이병진 ,  박홍식 ,  홍선영 ,  정종현 ,  김봉균 ,  신원석

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G02F1/133308 ,  G02F2001/133322 ,  G02F2201/46

Abstract: 엘시디 라인에서 투명기판을 다룰 때 발생하는 부주의로부터 투명기판의 파손을 방지할 수 있는 투명기판 수납용 카세트가 제공된다. 투명기판 수납용 카세트는 전면과 후면이 개구되어 투명기판을 수납하는 프레임과, 프레임의 양쪽 내측면에 형성되어 투명기판을 지지하며 프레임의 전면 방향으로 턱이 형성되어 투명기판이 미끄러지는 것을 방지하는 받침대와, 프레임의 후면에 설치된 이탈 방지부를 포함한다.
카세트, 이탈 방지부, 받침대, 턱

公开(公告)号：KR1020070040027A

公开(公告)日：2007-04-16

申请号：KR1020050095274

申请日：2005-10-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신원석 ,  박홍식 ,  정종현

IPC: G02F1/1343

CPC classification number: G02F1/13439 ,  G02F1/133555 ,  G02F1/136227

Abstract: 표시패널용 어레이 기판은 베이스 기판, 신호인가모듈, 제1 전극, 제2 전극 및 보호층을 포함한다. 신호인가모듈은 베이스 기판 상에 배치되며 데이터 신호를 출력하는 출력단을 포함한다. 제1 전극은 베이스 기판 상에 배치되며, 출력단과 전기적으로 연결된다. 제2 전극은 제1 전극 상에 배치되고 제1 전극과 전기적으로 연결되며, 은(Ag)을 포함한다. 보호층은 제2 전극 상에 배치되어, 제2 전극의 적어도 일부를 커버한다. 이에 따라, 제2 전극의 하부막에 대한 부착력을 향상시키고, 제2 전극의 변색을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR100707207B1

公开(公告)日：2007-04-13

申请号：KR1020050126099

申请日：2005-12-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박홍식 ,  홍승범 ,  심종엽

IPC: G11B9/14

Abstract: A method of fabricating a micro actuator is provided including a media stage having a media loading surface and a coil for driving the media stage, formed on the opposite surface of the media stage to the media loading surface. The method includes forming a groove on a first surface of a first substrate, forming a coil on a first surface of a second substrate, bonding the first surface of the first substrate to the first surface of the second substrate, and forming the media loading surface on a second surface of the second substrate, which is opposite the first surface of the second substrate.

Abstract translation: 提供了一种制造微致动器的方法，该方法包括具有介质载入表面和用于驱动介质台的线圈的介质台，其形成在介质台的与介质载入表面相反的表面上。 该方法包括在第一基板的第一表面上形成凹槽，在第二基板的第一表面上形成线圈，将第一基板的第一表面结合到第二基板的第一表面，并且形成介质装载表面 在与第二基板的第一表面相对的第二基板的第二表面上。

公开(公告)号：KR1020070038331A

公开(公告)日：2007-04-10

申请号：KR1020050093539

申请日：2005-10-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김주한 ,  강성욱 ,  임순권 ,  박홍식 ,  김시열 ,  이은국 ,  배양호

IPC: G02F1/1345

CPC classification number: G02F1/1345 ,  G02F1/136227 ,  G02F1/136286 ,  G02F2202/10 ,  H01L21/306 ,  H01L27/124 ,  H01L29/786

Abstract: 본 발명은 박막 트랜지스터 표시판은 기판 위에 형성되어 있는 화소 전극, 상기 기판 위에 형성되어 있는 게이트선, 상기 게이트선 위에 형성되어 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 데이터선 및 드레인 전극, 그리고 상기 데이터선 및 드레인 전극 일부 위에 형성되어 있는 보호막을 포함하고, 상기 게이트선은 상기 화소 전극과 동일한 층에 형성되어 있는 제1 막과 상기 제1 막 위에 형성되어 있는 제2 막을 포함한다. 이와 같이, 하나의 마스크를 이용하여 게이트선과 화소 전극이 형성되므로, 제조 공정이 단순해지고 제조 비용이 줄어든다.
박막트랜지스터표시판, 슬릿, 마스크, 감광막, 화소전극, 게이트선

Abstract translation: 薄膜晶体管阵列面板包括形成在基板上的像素电极，形成在像素电极上的栅极线，形成在栅极线上的栅极绝缘膜，形成在栅极绝缘膜上的半导体，数据线和漏极 形成在栅极绝缘膜上，以及形成在数据线和漏电极的部分上的钝化层。 栅线包括形成在同一层上并具有与像素电极相同的材料的第一膜和形成在第一膜上的第二膜。