Abstract:
A nonvolatile memory device and a manufacturing method thereof are provided to enhance degree of integration by shortening width and separation distance of pins, and to reduce a leakage current and an off current by preventing single channel effect. A semiconductor substrate(110) includes a body(102) and a pair of pins(105a, 105b). A pair of pins is protruded from the body. An insulating layer(157) is filled between a pair of pins. A pair of floating gate electrodes(130a, 130b) is formed on a side of a pair of pins. The floating gate electrodes are higher than a pair of pins. A gate electrode(140) is positioned on a pair of floating gate electrodes.
Abstract:
A semiconductor device and a manufacturing method thereof are provided to prevent penetration of conductive materials into a void by blocking the expansion of a void between fins using a semiconductor pillar. A semiconductor substrate comprises a pair of fins(105a,105b) which are used as an active region. A semiconductor pillar(105d) is inserted between the pins in order to connect the pair of pins. A contact plug is formed on the semiconductor pillar so as to be connected to the upper plane of the pair of fins. Wherein, the fin and the semiconductor pillar are formed of the same semiconductor material.
Abstract:
A non-volatile memory device and a manufacturing method thereof are provided to reduce a manufacturing cost by forming unit cells of a multilayered structure. One or more first semiconductor layers(110) of a first conductive type is stacked apart from each other on a part of a substrate(105). A plurality of resistance change storage layers(155) are formed on the first semiconductor layers in order to cover sidewalls of the semiconductor layers. A plurality of second semiconductor layers(150) of a second conductive type are inserted between the first semiconductor layers and the first resistance change storage layers. The second conductive type is opposite to the first conductive type. A plurality of bit lines connected to the first resistance change storage layers.
Abstract:
A non-volatile memory device having a pair of fins and a method for manufacturing the same are provided to supply a body-bias to the fins by supplying a voltage to a body, while improving a short channel effect. A semiconductor substrate(110) has a body(102) and a pair of fins(105a,105b) protruding from the body. A bridge insulating layer(115) connects upper ends of the fins to confine voids(117) between the fins. A control gate electrode(140) covers at least a portion of outer surfaces of the fins, and extends over the bridge insulating layer. Gate insulating layers(125b) are interposed between the control gate electrode and the fins. Storage nodes(130b) are interposed between the gate insulating layers and the control gate electrode.
Abstract:
A method for forming nano-particle array by convective assembly is provided to uniformly align nano-particles of the array on a large size substrate and a convective assembly apparatus for the same is provided. A method includes a coating step for forming a coating layer on nano-particles; a primary convection current aligning step and a secondary convection current aligning step. The primary convection current aligning step includes parallel moving a first substrate between colloidal solutions containing the coated nano-particles, and the secondary convection current aligning step includes topically heating the top of the colloidal solution and removing the solvent. The first substrate and the second substrate are disposed to face each other.
Abstract:
본 발명은 카메라 렌즈 어셈블리의 손떨림 보정 장치에 있어서, 일면에 이미지 센서가 설치된 보드; 상기 보드의 일측에 설치되어, 일평면상에서 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직하는 제2 방향으로 상기 보드를 유동시키는 더블 액츄에이터(double actuator); 및 상기 보드가 제1 방향 또는 제2 방향으로 유동하는 것을 안내하면서, 상기 카메라 렌즈 어셈블리의 광축에 대하여 상기 보드가 회전하는 것을 방지하는 가이드 수단을 포함하는 카메라 렌즈 어셈블리의 손떨림 보정 장치를 개시한다. 상기와 같이 구성된 카메라 렌즈 어셈블리의 손떨림 보정 장치는 보드를 두 방향으로 유동시키는 액츄에이터를 보드의 일측에 모두 구성함으로써 카메라 렌즈 어셈블리의 소형화에 기여하게 되었다. 더욱이, 보드의 유동은 제1 방향과 제2 방향을 따르는 직선운동만 가능하게 하는 가이드 수단에 의해 이루어지기 때문에, 광축에 대하여 이미지 센서가 회전하는 것을 방지하여 제품의 신뢰성이 향상된다. 카메라, 손떨림, 보정, 보이스 코일 모터, 가이드 수단
Abstract:
A method for manufacturing a material layer capable of increasing the deposition rate of a noble metal layer on a ferroelectric layer, a method for manufacturing a ferroelectric capacitor using the same, a semiconductor memory device having the ferroelectric capacitor, and a manufacturing method thereof are provided to increase electrostatic capacity of the ferroelectric capacitor by forming an upper electrode on a ferroelectric substance. A lower electrode(88) is formed. A ferroelectric layer(90) is formed on the lower electrode. The ferroelectric layer is exposed to a seed plasma. An upper electrode(92) is formed on a section of the ferroelectric layer exposed to the seed plasma. The upper electrode includes a source material of the seed plasma. The lower electrode is formed on a substrate where a trench having predetermined depth and width is formed, thereby covering a sidewall and a bottom of the trench. The width of the trench is narrower than 0.39 mum.
Abstract:
본 발명은 카메라 렌즈 어셈블리의 손떨림 보정 장치에 있어서, 일면에 이미지 센서가 설치된 보드; 상기 보드의 일측에 설치되어, 일평면상에서 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직하는 제2 방향으로 상기 보드를 유동시키는 더블 액츄에이터(double actuator); 및 상기 보드가 제1 방향 또는 제2 방향으로 유동하는 것을 안내하면서, 상기 카메라 렌즈 어셈블리의 광축에 대하여 상기 보드가 회전하는 것을 방지하는 가이드 수단을 포함하는 카메라 렌즈 어셈블리의 손떨림 보정 장치를 개시한다. 상기와 같이 구성된 카메라 렌즈 어셈블리의 손떨림 보정 장치는 보드를 두 방향으로 유동시키는 액츄에이터를 보드의 일측에 모두 구성함으로써 카메라 렌즈 어셈블리의 소형화에 기여하게 되었다. 더욱이, 보드의 유동은 제1 방향과 제2 방향을 따르는 직선운동만 가능하게 하는 가이드 수단에 의해 이루어지기 때문에, 광축에 대하여 이미지 센서가 회전하는 것을 방지하여 제품의 신뢰성이 향상된다. 카메라, 손떨림, 보정, 보이스 코일 모터, 가이드 수단
Abstract:
본 발명은 Ir-Ru 합금 전극 및 이를 하부 전극으로 사용한 강유전체 캐패시터에 관한 것이다. 하부 전극, 상기 하부 전극 상에 형성된 강유전체층 및 상기 강유전체층 상에 형성된 상부 전극을 포함하는 강유전체 캐패시터에 있어서, 상기 하부 전극은, 상온에서 Ir 및 Ru가 다상인 형태이며, 바람직하게는 Ir : Ru 조성비(at% 비)가 약 70:30 내지 30:70의 사이 범위인 Ir-Ru 다상 합금을 포함하는 강유전체 캐패시터를 제공하여, 강유전체층의 표면 거칠기를 감소시키고, 캐패시터의 피로 특성, 누설 전류 특성을 향상시킬 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: An optical branching filter having a Brag diffraction grating and an optical communication module using the same are provided to minimize the cross-talk by using the Brag diffraction grating having wave selectivity. CONSTITUTION: An optical branching filter(100) includes first and second waveguides(110,120), an input waveguide(110a), a dummy waveguide(120a), and first and the second output waveguides(110b,120b). The first and the second waveguides are adjacently arranged each other to perform a mode coupling process. The input waveguide, the dummy waveguide, and the first and the second output waveguides are used for receiving and transmitting optical signals. First and second Brag diffraction gratings(111,121) are formed on the first and the second output waveguides in order to minimize cross-talk.