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公开(公告)号:KR1020180076540A
公开(公告)日:2018-07-06
申请号:KR1020160180818
申请日:2016-12-28
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 박민철 , 송병섭 , 티보루이다비드르펄티에 , 강지훈
CPC classification number: G03H1/04 , G03H1/0443 , G03H1/22 , G03H2001/0083 , G03H2001/0883
Abstract: 이진(binary) 홀로그램(hologram) 생성장치는, 복소홀로그램데이터의관심영역에상응하는크기의이진패턴을생성하도록구성된이진데이터변환부; 상기복소홀로그램데이터를이용하여복소홀로그램복원영상을생성하도록구성된복소홀로그램복원부; 상기이진패턴을이용하여이진홀로그램복원영상을생성하도록구성된이진홀로그램복원부; 및상기이진패턴의이진값을변화시키면서상기이진홀로그램복원영상과상기복소홀로그램복원영상을비교하되, 서로상이한위치에위치하는복수개의초점평면각각에대하여상기이진홀로그램복원영상과상기복소홀로그램복원영상을비교한결과에기초하여상기복소홀로그램데이터에상응하는이진홀로그램데이터를생성하도록구성된제어부를포함한다. 상기이진홀로그램생성장치에의하면다중의기준(reference) 평면에서이진데이터를처리함으로써깊은심도의홀로그램영상을구현하고선명한영상을얻을수 있다.
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公开(公告)号:KR101792564B1
公开(公告)日:2017-11-02
申请号:KR1020160042117
申请日:2016-04-06
Applicant: 한국과학기술연구원 , (주)새론테크놀로지
Abstract: 본발명은영상처리방법및 이를이용항영상처리장치에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른영상처리방법은, 전자현미경으로영상을촬영하는영상촬영단계, 전자현미경의측정스테이지를이동스캔하면서대상체의타깃부분을추적하는영상추적모드또는타깃부분에초점이맞춰진상태에서촬영되는정지영상들의노이즈를제거하고영상을정밀화하는영상정밀화모드중 하나의모드에서영상을처리하는단계및 처리된영상을디스플레이하는영상출력단계를포함한다.
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公开(公告)号:KR101709626B1
公开(公告)日:2017-02-23
申请号:KR1020150117449
申请日:2015-08-20
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/407 , G01N27/12 , G01N33/497 , C07F7/02 , C07F7/10
Abstract: 본발명은기판상에적어도하나의가스감지영역을포함하는가스센서로서, 상기가스감지영역이아미노화합물및 탄소나노튜브를포함하는것을특징으로하는일산화질소를선택적으로감지하는가스센서및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 아미노화합물과탄소나노튜브를감지물질로이용함으로써상온에서동작이가능하고, 저농도 NO 가스를높은감도로감지할수 있는가스센서및 그제조방법을제공할수 있다.
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公开(公告)号:KR101661600B1
公开(公告)日:2016-09-30
申请号:KR1020140195016
申请日:2014-12-31
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 원시 3D 데이터를기초로 3D 오브젝트를구성하는버틱스좌표정보들및 서피스정보들을추출하여 3D 데이터를생성하는데이터추출부, 적어도하나이상의시점들및 상기시점들각각에대응되는데이터그룹들을포함하는다중시야창 데이터를생성하고, 상기데이터그룹들각각은대응되는상기시점에대응되는상기 3D 데이터의버틱스좌표정보들및 서피스정보들을포함하는데이터파싱부, 및상기다중시야창 데이터를랜더링하여상기 3D 오브젝트를재구성한다시점 3D 데이터를생성하는 3D 랜더링부를포함하는데이터처리부, 상기다시점 3D 데이터를이용하여결과영상을출력하는디스플레이부및 사용자입력을통해상기데이터처리부및 상기디스플레이부와상호작용하는인터페이스부를포함하는다중시야창 인터페이스장치.
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公开(公告)号:KR101660332B1
公开(公告)日:2016-09-29
申请号:KR1020140194005
申请日:2014-12-30
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은촉각자극기반의인지피로측정장치및 방법에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른촉각자극기반의인지피로측정방법은, 촉각자극에기초하여뇌전도및 안전도신호를측정하는피로측정태스크가수행되는피로측정단계, 및시각및 청각자극을기 설정된난이도의패턴으로제공하여피로를유발하는피로유발태스크가진행되는상태에서촉각자극에기초하여뇌전도및 안전도신호를측정하는피로측정태스크가진행되는피로측정및 피로유발단계를포함한다.
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公开(公告)号:KR1020160054170A
公开(公告)日:2016-05-16
申请号:KR1020140153384
申请日:2014-11-06
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/02 , G01N27/26 , G01N27/414 , G01N27/327 , H01L21/02
CPC classification number: G01N27/4146 , G01N27/02 , G01N27/00 , G01N27/26 , G01N27/3278 , G01N27/414 , H01L21/02606
Abstract: 본발명은, (a) 기판상에절연막을형성하는단계, (b) 절연막상에탄소나노튜브입자를흡착하는단계, (c) 탄소나노튜브가흡착된절연막상의일정영역에전극들을형성하는단계, (d) 전극들을포토레지스트로코팅하는단계, (e) 절연막을식각하여전극들사이의탄소나노튜브가공중에부양되도록하는단계, (f) 전극들에코팅된포토레지스트를제거하는단계를포함하는탄소나노튜브센서의제조방법을제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种制造碳纳米管传感器的方法,包括:(a)在基板上形成绝缘膜; (b)在绝缘膜上吸收碳纳米管颗粒; (c)在已经吸收了碳纳米管颗粒的绝缘膜上的预定区域处形成电极; (d)用光致抗蚀剂涂覆电极; (2)雕刻绝缘膜,使电极之间的碳纳米管在空气中飞行; 和(f)除去涂有电极的光致抗蚀剂。 本发明除去比特定长度短的碳纳米管以缩短通道的有效长度,从而提高灵敏度。
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公开(公告)号:KR1020150102440A
公开(公告)日:2015-09-07
申请号:KR1020140024306
申请日:2014-02-28
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G03H1/04
Abstract: 본 발명은 RGB 각각의 파장별 레이저를 이용한 컬러 홀로그램의 색수차를 분석하고 조절하는 시스템을 제시한다. 컬러 홀로그램의 영상을 분석하는 방법으로 RGB 파장의 색분산 정도를 확인하기 위하여 컬러 홀로그램의 회절각(grating angle)의 각도를 시뮬레이션 하고, 계산된 파장별 회절각에 맞는 집광 렌즈를 사용하여 컬러 홀로그램에서 발생하는 색분산을 조절한다.
Abstract translation: 在本发明中公开了一种用于使用RGB的每个波长的激光来分析和控制彩色全息图的色差的系统。 该系统模拟彩色全息图的光栅角度,以检查RGB波长的颜色分布的程度,并且使用在每个波长的计算的光栅角度中使用光聚焦透镜拟合在彩色全息图中生成的颜色分布。
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公开(公告)号:KR101507516B1
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:KR1020130109873
申请日:2013-09-12
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은탄소나노튜브센서의제조방법및 이에의하여제조된탄소나노튜브센서에관한것이다. 본발명은기판의표면을개질하는단계(표면처리단계), 표면개질된기판을열처리하는단계(베이킹단계) 및열처리된기판상에탄소나노튜브를흡착시키는단계(흡착단계)를포함하는것을특징으로한다. 본발명에의하면탄소나노튜브와기판사이의결합력이향상되기때문에반복적으로사용하더라도센서의성능이열화되지않아수명이길고안정성이높다.
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公开(公告)号:KR101331202B1
公开(公告)日:2013-11-18
申请号:KR1020110043627
申请日:2011-05-09
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/414 , G01N27/416
Abstract: 본 발명은 센서 지지판의 상부에 안착되는 다중 센서 및 상기 다중 센서에 접촉하여 전기적 특성을 측정하는 복수의 프로브를 포함하는 다중 센서용 프로브 스테이션에 적용되는 다중 센서 자동 측정 시스템에 관한 것으로, 프로브를 통해 검지를 위한 전압을 공급하는 전압 공급부, 전압이 인가된 개별 프로브나 개별 센서의 전류 또는 저항을 측정하는 전류 및 저항 측정부, 다중 센서로 전압을 공급할 때, 또는 다중 센서로부터 측정 신호를 수신할 때 개별 센서 또는 개별 프로브의 단자를 스위칭하는 릴레이부, 개별 센서로의 전압 공급이 끊기지 않는 상태에서 개별 센서에 대한 전류를 측정하도록, 여러 개별 센서 중에서 검지하고자 하는 센서를 선택하는 멀티플렉서부 및, 사용자의 입력을 받아들여 전압 공급부, 전류 및 전압 측정부, 릴레이부 및, 멀티플렉서부를 제어하거나, 또는 프로브 스테이션의 조절 장치를 제어하는 제어부를 구비한다.
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公开(公告)号:KR1020130017189A
公开(公告)日:2013-02-20
申请号:KR1020110079483
申请日:2011-08-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/027 , H01L21/66
CPC classification number: H01L21/0274 , G03F7/70608 , G03F7/70616 , H01L22/12 , H01L22/30
Abstract: PURPOSE: A 3-dimensional image acquisition system for mask pattern inspection and a method thereof are provided to effectively inspect defects by tilting a stage for mounting a mask. CONSTITUTION: A moving unit(500) moves a stage to the X-, Y- or Z-axis. A tilting unit(600) tilts an angle of the stage to acquire the 3D height information of a mask. A CCD(Charged Coupled Device) camera(700) acquires a diffraction image reflected from the mask. A control device(800) performs inverse fast Fourier transform on the diffraction image to recover a pattern image of the mask and controls the moving unit and the tilting unit. [Reference numerals] (800) Control device
Abstract translation: 目的:提供一种用于掩模图案检查的三维图像采集系统及其方法,通过倾斜安装掩模的台架来有效地检测缺陷。 构成:移动单元(500)将平台移动到X轴,Y轴或Z轴。 倾斜单元(600)倾斜台的角度以获得掩模的3D高度信息。 CCD(电荷耦合器件)相机(700)获取从掩模反射的衍射图像。 控制装置(800)对衍射图像进行快速傅立叶逆变换,以恢复掩模的图案图像,并控制移动单元和倾斜单元。 (附图标记)(800)控制装置
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