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公开(公告)号：KR101225011B1
公开(公告)日：2013-01-22
申请号：KR1020110074994
申请日：2011-07-28
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H05H1/0081 , G01N27/02 , H01J37/3211 , H01J37/32183 , H01J37/32935 , H05H1/46 , H05H2001/4682
Abstract: PURPOSE: A super high frequency probe using resonance structure is provided to measure a plasma density over again by using the cut-off frequency from a measured antenna and a radiating antenna exposed to plasma. CONSTITUTION: A radiating antenna(112) radiates a super high frequency which scans a frequency from the inside of plasma. A receiving antenna(114) receives an electromagnetic wave radiated from the radiating antenna by being inserted inside of the plasma. A resonance structure(116)which is arranged at the surrounding of the radiating antenna and the receiving antenna is formed with an electrical material which resonances with an electromagnetic wave. The resonance structure provides resonant frequency. The resonance structure comprises a mesh structure or a planar structure. The resonance structure has a cylinder type which covers the radiating antenna and the receiving antenna. [Reference numerals] (AA) Plasma
Abstract translation: 目的：提供使用谐振结构的超高频探头，通过使用来自测量天线和暴露于等离子体的辐射天线的截止频率再次测量等离子体密度。 构成：辐射天线（112）辐射出从等离子体内部扫描频率的超高频。 接收天线（114）通过插入等离子体内部而接收从辐射天线辐射的电磁波。 布置在辐射天线和接收天线的周围的谐振结构（116）形成有与电磁波共振的电材料。 谐振结构提供谐振频率。 共振结构包括网状结构或平面结构。 谐振结构具有覆盖辐射天线和接收天线的圆筒型。 （标号）（AA）等离子体
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公开(公告)号：KR101135151B1
公开(公告)日：2012-04-20
申请号：KR1020090120897
申请日：2009-12-08
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 열전도도 측정장치를 제공한다. 이 장치는 하부 온도 고정부, 하부 온도 고정부 상에 이격되어 배치된 상부 온도 고정부, 하부 온도 고정부 상에 배치되고 열류를 생성하는 발열부, 발열부 상에 배치되고 열류 중에서 시료에 전달되는 열류를 측정하는 하부 열류 측정부, 및 상부 온도 고정부의 하부에 배치되고 시료를 통과하여 전달되는 열류를 측정하는 상부 열류 측정부를 포함한다. 시료는 하부 열류 측정부의 일면와 상부 열류 측정부의 일면 사이에 개재되고, 발열부 및 상기 하부 열류 측정부는 열전 소자로 구성된다.
열전 소자, 비도전성 시료, 열전도도-
公开(公告)号：KR101129675B1
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：KR1020100041241
申请日：2010-05-03
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명의 변압기 및 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 플라즈마 챔버의 내부에 삽입되는 내부 안테나, 및 내부 안테나에 전력을 공급하는 변압기를 포함한다. 변압기는 중심도선 및 중심도선을 싸고 있는 피복 도선을 포함하는 복수의 동축 케이블을 포함하되, 중심 도선들의 일단은 서로 병렬 연결되어 전원에 연결되고, 중심도선들의 타단은 접지되고, 내부 안테나의 일단은 중심도선의 일단에 연결되고, 내부 안테나의 타단은 피복 도선의 일단에 연결되고, 피복 도선들은 플로팅되고 서로 병결연결된다.
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公开(公告)号：KR1020110109406A
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：KR1020100029120
申请日：2010-03-31
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H05H1/46 , H01J37/3211 , H01J37/32825 , H01Q1/366 , H05H2001/4667
Abstract: 본 발명은 내부 안테나 및 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 내부 안테나는 진공용기의 내부에 직접 삽입되어 플라즈마를 발생시킨다. 내부 안테나는 일단에 전력이 공급되고 타단에서 전력이 4갈래로 분배되는 전원 공급부, 전원 공급부와 수직하게 배치된 전력 분배 평면에 배치되고 전원 공급부의 타단에서 대칭적으로 4 갈래로 갈라지는 주 방사상(main radial) 브랜치들, 인접한 주 방사상 브랜치들을 서로 연결시키는 외곽 브랜치들, 외곽 브랜치들의 중심 영역에서 전원 공급부의 타단 방향으로 연장되는 보조 방사상 브랜치들(sub radial), 및 보조 방사상 브랜치들에 각각 연결되고 전원 공급부와 평행하게 연장되는 접지부들을 포함한다.
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公开(公告)号：KR101013357B1
公开(公告)日：2011-02-14
申请号：KR1020080071607
申请日：2008-07-23
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 고전력 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 장치는 전력을 공급하는 전원부, 전원부와 직렬연결되는 정합회로부, 플라즈마를 감금하는 챔버부, 챔버부의 외부에 배치되는 유도 코일부, 챔버부의 내부에 배치되는 전극부, 및 유도코일부 또는 전극부와 직렬연결되는 가변 소자부를 포함한다. 유도코일부 및 전극부는 상호 병렬연결되어 정합회로부에 연결되고, 가변소자부는 유도 코일부와 전극부의 병렬 공명주파수를 전원부의 구동 주파수와 일치시킨다.
축전결합플라즈마, 유도결합플라즈마, 공명-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100994648B1
公开(公告)日：2010-11-16
申请号：KR1020080051624
申请日：2008-06-02
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/66 , H01L21/3065
Abstract: 본 발명은 플라즈마 모니터링 방법 및 그 장치를 제공한다. 이 방법은 플라즈마를 구속하는 챔버의 창문을 통하여 플라즈마가 방출하는 스펙트럼을 측정하여 광학 신호를 생성하는 단계, 상기 창문의 투과율 감소를 고려하여 상기 광학 신호로부터 기준신호를 추출하는 단계, 및 상기 기준신호와 상기 광학 신호를 이용하여 신호 변화량을 추출하는 단계를 포함한다.
플라즈마, 광학 방출, 모니터링-
公开(公告)号：KR1020100010640A
公开(公告)日：2010-02-02
申请号：KR1020080071607
申请日：2008-07-23
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/32183 , H01J37/3211 , H01J37/32458 , H01J37/32541 , H01J2237/33 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2001/4682
Abstract: PURPOSE: A high power plasma generation apparatus is provided to generate high density plasma under lower pressure by using resonance of ICP and CCP. CONSTITUTION: A power supply unit(150) supplies power. A matching circuit(140) is serially connected to the power supply unit. A chamber(100) confines the plasma. An induction coil(130) is arranged outside the chamber. An electrode(120) is arranged inside the chamber. A variable device(160) is serially connected to the induction coil or the electrode. The induction coil and electrode are connected to parallel with each other. The induction coil and electrode are connected to the matching circuit. The variable device makes a parallel resonant frequency of the electrode identical to a driving frequency of the power supply unit.
Abstract translation: 目的：提供高功率等离子体发生装置，通过使用ICP和CCP的共振来产生较低压力的高密度等离子体。 构成：电源单元（150）供电。 匹配电路（140）串联连接到电源单元。 室（100）限制等离子体。 感应线圈（130）布置在室外。 电极（120）布置在腔室内。 可变装置（160）串联连接到感应线圈或电极。 感应线圈和电极彼此平行地连接。 感应线圈和电极连接到匹配电路。 可变装置使电极的并联谐振频率与电源单元的驱动频率相同。
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公开(公告)号：KR1020090125490A
公开(公告)日：2009-12-07
申请号：KR1020080051624
申请日：2008-06-02
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/66 , H01L21/3065
Abstract: PURPOSE: A plasma monitoring method and an apparatus thereof are provided to monitor chamber wall state and plasma, by measuring spectrum emitted from plasma through the window of the chamber confining the plasma. CONSTITUTION: A chamber including a window and confining plasma is prepared(S100). An optical signal is generated by measuring spectrum emitted from the plasma through the window of the chamber(S200). A reference signal is extracted from the optical signal by considering transmission reduction of the window(S300). Signal variation is extracted using the reference signal and the optical signal(S400). The chamber is controlled by using the signal variation(S500). Reduction rate is calculated by using the temporal variation of the optical signal.
Abstract translation: 目的：提供等离子体监测方法及其装置，通过测量从等离子体发射的限制等离子体的室的窗口来监测室壁状态和等离子体。 构成：制备包括窗口和限制等离子体的室（S100）。 通过测量从等离子体通过室的窗口发出的光谱产生光信号（S200）。 通过考虑窗口的传输减少从光信号中提取参考信号（S300）。 使用参考信号和光信号提取信号变化（S400）。 通过使用信号变化来控制腔室（S500）。 通过使用光信号的时间变化来计算减少率。
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公开(公告)号：KR101567845B1
公开(公告)日：2015-11-10
申请号：KR1020140105022
申请日：2014-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은기체투과도측정장치및 기체투과도측정방법을제공한다. 이기체투과도측정장치는중간에오리피스를가지는측정챔버; 상기측정챔버에연결되고판형의측정하고자하는금속시료를금속가스켓양면접속피팅으로결합한시료챔버; 상기금속시료의주위를감싸도록배치되고유전체로형성된보조챔버; 및상기보조챔버를감싸도록배치된유도가열코일을포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种透气性测定装置和透气性测定方法。 气体渗透性测量装置包括：测量室，其中部具有孔口; 与测量室连接并将要测量的板状金属试样与金属垫圈双面连接配件结合的试样室; 辅助室由电介质材料制成并设置成覆盖金属试样的周围; 以及设置成覆盖辅助室的感应加热线圈。
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公开(公告)号：KR101507383B1
公开(公告)日：2015-03-31
申请号：KR1020130117199
申请日：2013-10-01
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: B01J19/087 , B01J19/247 , C01B32/184
Abstract: 본 발명은 유도 가열 그래핀 형성 장치 및 유도 가열 그래핀 형성 방법을 제공한다. 이 유도 가열 그래핀 형성 장치는 유전체 튜브, 상기 유전체 튜브의 주위에 배치된 유도 가열 코일, 상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공하는 교류 전원, 상기 유도 가열 코일에 의하여 유도 가열되고 상기 유전체 튜브 내에 배치된 가열 블록, 및 상기 유도 가열 코일에 의하여 가열되어 액상으로 유지되고 상기 가열 블록 상에 배치된 금속 촉매를 포함한다. 상기 가열 블록에서 형성된 와류(eddy current)는 폐루프(closed loop)를 형성하고, 상기 유전체 튜브 내에 제공되는 탄소함유가스는 상기 금속 촉매 상에 그래핀(graphene)을 형성한다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于形成感应加热石墨烯的装置和方法。 用于形成感应加热石墨烯的装置包括介电管; 布置在电介质管周围的感应加热线圈; 向所述感应加热线圈提供交流电力的交流电源; 由感应加热线圈感应加热并布置在电介质管中的加热块; 以及由感应加热线圈加热而保持液相的金属催化剂，并配置在加热块上。 在加热块中形成的涡流形成闭环，并且设置在电介质管中的含碳气体在金属催化剂上形成石墨烯。
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