Abstract:
본 발명은 유연소재 히터를 포함하는 그래핀 가스센서에 관한 것으로, 기재 필름; 상기 기재 필름의 일면에 형성된, 패턴화된 그래핀계 층을 포함하는 그래핀 센서부; 및 상기 기재 필름의 타면에 형성된, 그래핀계 층을 포함하는 그래핀 히터부를 포함하는 본 발명의 그래핀 가스센서는 가스의 흡착이 용이하고 그래핀 히터층과 결함됨으로써 가스 검출 감도(sensitivity)가 높아 반응시간이 짧고(low response time) 낮은 저항과 우수한 열적, 화학적 안정성을 가져 CO 2 , NO 2 , NH 3 , O 2 와 같은 가스를 용이하게 흡착할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치 및 이를 통한 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법에 관한 것으로, 무기물 증착을 위한 원자층 증착 챔버와 유기물 증착을 위한 열 증착 챔버가 상하로 연결되어 있고, 상기 챔버들을 연결하는 연결 통로에 게이트 밸브가 배치되어 있으며, 상기 원자층 증착 챔버에는 무기물 증착원을 공급하기 위한 주입구가 구비되어 있고, 상기 열 증착 챔버에는 유기물 증착원을 가열하기 위한 수단이 구비되어 있는, 유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치를 제공한다. 본 발명에 따르면, 분자 단위의 유기-무기 박막 형성에 있어서 열 증착법과 원자층 증착법을 이용하여 유기층/무기층의 물리적 다층 박막과 유기층과 무기층의 계면에서의 화학적 결합에 의한 유기층/무기층의 다층 박막을 형성할 수 있다.