公开(公告)号：CN104103425A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201410145645.4

申请日：2014-04-11

Applicant: 罗德施瓦兹两合股份有限公司

Inventor： 格哈德·卡门

IPC: H01G5/16

CPC classification number: H01G5/16 ,  B81B3/0078 ,  B81B7/00 ,  B81B2201/0221

Abstract: 本发明涉及变容二极管及变容二极管系统。所述变容二极管具有致动器，其中所述致动器的第一致动器表面（2a）呈现在基板（1）上，并且第二致动器表面（2b）呈现在第一可移动膜（3a）上。在该上下文中，所述第一可移动膜（3a）被布置在基板（1）的上侧面（1a）的上方。第二可移动膜（2b）被布置在基板（1）的与该上侧面（1a）相对的下侧面（1b）的下方。本发明进一步涉及由两个这种变容二极管制成的变容二极管系统。

公开(公告)号：CN104051456A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410094159.4

申请日：2014-03-14

Applicant: 应美盛股份有限公司

Inventor： M.J.丹曼 ,  M.林 ,  洪立玟 ,  S.罗伊德

IPC: H01L27/04 ,  B81B7/02

CPC classification number: H01L27/1203 ,  B81B3/0056 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2203/053

Abstract: 本发明涉及具有双向垂直激励的集成结构。一种微机电系统（MEMS）器件包括具有第一表面和第二表面的第一衬底，所述第一衬底包括基底层、被布置在所述基底层上的可移动梁、至少一个金属层、以及被布置在所述基底层上的一个或多个支座，使得一个或多个金属层位于所述一个或多个支座的顶表面上。所述MEMS器件还包括第二衬底，所述第二衬底包括被接合到所述一个或多个支座的一个或多个金属层，导致形成在所述第二衬底的所述一个或多个金属层的至少一部分与底表面上的至少一个电极和顶表面上的至少一个电极中的一个或多个之间的电连接。

公开(公告)号：CN103237755A

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN201180057845.9

申请日：2011-11-30

Applicant: 独立行政法人物质·材料研究机构

Inventor： 唐捷 ,  程骞 ,  新谷纪雄 ,  张晗 ,  秦禄昌

IPC: C01B31/02 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  H01G11/32 ,  H01G11/36

CPC classification number: H01G9/058 ,  B81B2201/0221 ,  B81C1/00158 ,  B82B1/002 ,  B82B3/0047 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/05 ,  C01B32/184 ,  C01B2204/04 ,  H01G11/32 ,  H01G11/36 ,  Y02E60/13 ,  Y02T10/7022 ,  Y10S977/742 ,  Y10S977/842 ,  Y10S977/948 ,  Y10T428/25 ,  Y10T428/30

Abstract: 一种石墨烯片膜，其是两张以上的石墨烯片(11)～(25)被集成，将集成体制成膜状，通过使用所述石墨烯片集成体(101)，可提供涉及能量密度及功率密度的电容器特性高的石墨烯片膜和其制造方法及使用其的石墨烯片电容器。所述石墨烯片集成体(101)具有将石墨烯片(11)～(25)之间接合、且形成以各石墨烯片(11)～(25)的面平行的方式层叠而成的石墨烯片层叠体(61)～(65)的第1碳纳米管(31)～(48)，和连接所述石墨烯片层叠体(61)～(65)之间的第2碳纳米管(51)～(56)。

公开(公告)号：CN103011054A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201210344319.7

申请日：2012-09-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 加藤绫子 ,  虎岛和敏

IPC: B81C1/00 ,  B06B1/02

CPC classification number: B06B1/0292 ,  B81B3/0075 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0315 ,  B81B2203/0392 ,  H04R19/005 ,  H04R31/00

Abstract: 本发明涉及一种机电换能器的制造方法。提供一种由绝缘层的平坦性的变化导致的击穿强度的变化更小的机电换能器的制造方法。在机电换能器的制造方法中，在第一基板上形成第一绝缘层，并且，通过去除第一绝缘层的一部分来形成隔离壁，并且，在去除了第一绝缘层的一部分之后的第一基板的区域上形成第二绝缘层。然后，通过在隔离壁上接合第二基板来形成间隙，并且，由第二基板形成隔着间隙与第二绝缘层相对的振动膜。在形成隔离壁时，沿与第一基板垂直的方向的间隙侧的高度变得比中心部分的高度低。

公开(公告)号：CN102256893A

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：CN200980147111.2

申请日：2009-11-06

Applicant: 卡文迪什动力有限公司

Inventor： 查尔斯·戈登·史密斯 ,  理查德·L·奈普 ,  维克拉姆·乔希 ,  罗伯托·加迪 ,  阿纳特兹·乌纳穆诺 ,  罗伯图斯·彼得勒斯·范坎彭

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81B7/04 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2207/053 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/135 ,  H01G5/18 ,  H01G5/40

Abstract: 本申请公开的多个实施例主要包括利用大量的小MEMS器件来替换单独的较大MEMS器件或数字可变电容器的功能。大量较小的MEMS器件执行与较大的器件相同的功能，但是由于其尺寸较小，因此能够利用互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容工艺将这些较小的MEMS器件封装在空腔中。对大量较小的器件进行平均的信号使得较小器件的阵列的精度相当于该较大的器件的精度。通过考虑使用基于MEMS的加速度开关阵列来举例说明该过程，其中该开关阵列具有集成的惯性响应的模数转换。还通过考虑利用基于MEMS的器件结构来举例说明该过程，其中该MEMS器件并联地工作以作为数字可变电容器。

公开(公告)号：CN102190275A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110043026.0

申请日：2011-02-21

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 岛内岳明 ,  今井雅彦 ,  胜木隆史 ,  丰田治 ,  上田知史

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81C1/00698 ,  B81B2201/0221 ,  H01G5/18

Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极，并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层，所述方法包括以下步骤：在固定电极和可动电极之间施加第一电压，使可动电极与电介质层进行接触，并且，在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前，在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反，并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。

公开(公告)号：CN109205545A

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201810696124.6

申请日：2018-06-29

Applicant: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司

Inventor： E·兰德格拉夫 ,  S·G·阿尔伯特 ,  S·比塞尔特 ,  S·普雷格尔 ,  M·罗斯

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01L9/12 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0021 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0315 ,  B81B2203/04 ,  B81C1/00166 ,  G01L9/12 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/088 ,  B81B3/0032 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2201/0264

Abstract: 一种微机械传感器包括电容式的第一传感器元件和第二传感器元件，分别具有第一电极和第二电极，其中第一电极的电极壁面和第二电极的电极壁面在第一方向上彼此对置并形成电容，其中第一电极可响应于待检测的变量在与第一方向不同的第二方向上移动，并且第二电极是固定的。第一传感器元件的第一电极的电极壁面在第二方向上具有比第一传感器元件的第二电极的对置的电极壁面小的延伸。第二传感器元件的第二电极的电极壁面在第二方向上具有比第二传感器元件的第一电极的对置的电极壁面小的延伸。

公开(公告)号：CN108439325A

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：CN201810243295.3

申请日：2014-03-17

Applicant: 维斯普瑞公司

Inventor： 达娜·德勒斯 ,  肖恩·J·坎宁安 ,  阿瑟·S·莫里斯

IPC: B81B7/02 ,  H01G5/14

CPC classification number: B81B3/001 ,  B81B3/0051 ,  B81B3/0056 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/053 ,  H01G4/1227 ,  H01G5/18

Abstract: 本申请公开了微电子机械系统装置及调整其可动部件的形状的方法，该微电子机械系统装置，其包括：多个致动电极，其附着至第一表面，其中，所述一个或多个致动电极中的每个独立可控；以及可动部件，其与所述第一表面隔开并且相对于所述第一表面可移动，其中，所述可动部件进一步包括与所述多个固定的致动电极隔开的一个或多个可动致动电极。

公开(公告)号：CN107077971A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580052878.2

申请日：2015-10-05

Applicant: 维斯普瑞公司

Inventor： 达娜·德雷乌斯 ,  亚瑟·S·莫里斯 ,  戴维·莫利内罗-贾尔斯

IPC: H01G5/16

CPC classification number: H01G5/16 ,  B81B3/0008 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0221

Abstract: 本主题涉及用于对MEMS装置中的静电致动的隔离以减少或最小化介电充电的装置、系统和方法。一种可调谐部件可以包括：固定致动电极，其定位在基板上；可动致动电极，其承载在悬置于基板上方的可动部件上；一个或多个隔离凸起，所述一个或多个隔离凸起定位在固定致动电极与可动致动电极之间；以及固定隔离着落部，其被隔离在固定致动电极的在一个或多个隔离凸起中的每一个隔离凸起处、在每一个隔离凸起附近、和/或与每一个隔离凸起大致对齐的部分内。在该布置中，可动致动电极可以选择性地朝向固定致动电极移动，但一个或多个隔离凸起可以防止固定致动电极与可动致动电极之间的接触，且固定隔离着落部可以抑制在隔离凸起中产生电场。

公开(公告)号：CN103237755B

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201180057845.9

申请日：2011-11-30

Applicant: 独立行政法人物质·材料研究机构

Inventor： 唐捷 ,  程骞 ,  新谷纪雄 ,  张晗 ,  秦禄昌

IPC: C01B31/02 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  H01G11/32 ,  H01G11/36

CPC classification number: H01G9/058 ,  B81B2201/0221 ,  B81C1/00158 ,  B82B1/002 ,  B82B3/0047 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/05 ,  C01B32/184 ,  C01B2204/04 ,  H01G11/32 ,  H01G11/36 ,  Y02E60/13 ,  Y02T10/7022 ,  Y10S977/742 ,  Y10S977/842 ,  Y10S977/948 ,  Y10T428/25 ,  Y10T428/30

Abstract: 一种石墨烯片膜，其是两张以上的石墨烯片(11)～(25)被集成，将集成体制成膜状，通过使用所述石墨烯片集成体(101)，可提供涉及能量密度及功率密度的电容器特性高的石墨烯片膜和其制造方法及使用其的石墨烯片电容器。所述石墨烯片集成体(101)具有将石墨烯片(11)～(25)之间接合、且形成以各石墨烯片(11)～(25)的面平行的方式层叠而成的石墨烯片层叠体(61)～(65)的第1碳纳米管(31)～(48)，和连接所述石墨烯片层叠体(61)～(65)之间的第2碳纳米管(51)～(56)。