公开(公告)号：WO0243615A3

公开(公告)日：2003-03-13

申请号：PCT/US0144549

申请日：2001-11-28

Applicant: CALIFORNIA INST OF TECHN

Inventor： UNGER MARC A ,  CHOU HOU-PU ,  THORSEN TODD A ,  SCHERER AXEL ,  QUAKE STEPHEN R ,  LIU JIAN ,  ADAMS MARK L ,  HANSEN CARL L

IPC: B01L3/00 ,  B01L7/00 ,  B01L9/00 ,  B67D99/00 ,  B81B1/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  C12Q1/68 ,  F04B43/04 ,  F15C5/00 ,  F16K7/00 ,  F16K31/126 ,  F16K99/00 ,  A61F2/00

CPC classification number: B05D3/04 ,  B01J2219/00355 ,  B01J2219/00378 ,  B01J2219/00396 ,  B01J2219/00398 ,  B01J2219/00439 ,  B01J2219/005 ,  B01J2219/00527 ,  B01J2219/00605 ,  B01J2219/00612 ,  B01J2219/00621 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00707 ,  B01J2219/00722 ,  B01J2219/00725 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L7/54 ,  B01L9/527 ,  B01L2200/025 ,  B01L2200/027 ,  B01L2200/0605 ,  B01L2200/10 ,  B01L2300/0681 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/123 ,  B01L2300/14 ,  B01L2300/18 ,  B01L2400/046 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/06 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/0688 ,  B32B2037/1081 ,  B65B31/00 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81C1/00119 ,  B81C2201/019 ,  C12Q1/6832 ,  C12Q1/6874 ,  C30B29/54 ,  F04B43/043 ,  F15C1/06 ,  F15C3/00 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0051 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/0424 ,  Y10T137/206 ,  Y10T137/2082 ,  Y10T137/2164 ,  Y10T137/2169 ,  Y10T137/2174 ,  Y10T137/2202 ,  Y10T137/2224 ,  Y10T137/3084 ,  Y10T137/7837 ,  Y10T137/86027 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24612 ,  C12Q2535/125

Abstract: A method of fabricating an elastomeric structure, comprising: forming a first elastomeric layer on top of a first micromachined mold, the first micromachined mold having a first raised protrusion which forms a first recess extending along a bottom surface of the first elastomeric layer; forming a second elastomeric layer on top of a second micromachined mold, the second micromachined mold having a second raised protrusion which forms a second recess extending along a bottom surface of the second elastomeric layer; bonding the bottom surface of the second elastomeric layer onto a top surface of the first elastomeric layer such that a control channel forms in the second recess between the first and second elastomeric layers; and positioning the first elastomeric layer on top of a planar substrate such that a flow channel forms in the first recess between the first elastomeric layer and the planar substrate.

Abstract translation: 一种制造弹性体结构的方法，包括：在第一微加工模具的顶部上形成第一弹性体层，所述第一微加工模具具有形成沿所述第一弹性体层的底表面延伸的第一凹槽的第一凸起突起; 在第二微加工模具的顶部上形成第二弹性体层，所述第二微加工模具具有第二凸起突起，所述第二凸起突起形成沿所述第二弹性体层的底表面延伸的第二凹槽; 将第二弹性体层的底表面粘合到第一弹性体层的顶表面上，使得控制通道在第一和第二弹性体层之间的第二凹部中形成; 以及将第一弹性体层定位在平面基底的顶部上，使得流动通道在第一弹性体层和平面基底之间的第一凹部中形成。

公开(公告)号：WO02043615A2

公开(公告)日：2002-06-06

申请号：PCT/US2001/044549

申请日：2001-11-28

IPC: B01L3/00 ,  B01L7/00 ,  B01L9/00 ,  B67D99/00 ,  B81B1/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  C12Q1/68 ,  F04B43/04 ,  F15C5/00 ,  F16K7/00 ,  F16K31/126 ,  F16K99/00 ,  A61F2/00

CPC classification number: B05D3/04 ,  B01J2219/00355 ,  B01J2219/00378 ,  B01J2219/00396 ,  B01J2219/00398 ,  B01J2219/00439 ,  B01J2219/005 ,  B01J2219/00527 ,  B01J2219/00605 ,  B01J2219/00612 ,  B01J2219/00621 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00707 ,  B01J2219/00722 ,  B01J2219/00725 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L7/54 ,  B01L9/527 ,  B01L2200/025 ,  B01L2200/027 ,  B01L2200/0605 ,  B01L2200/10 ,  B01L2300/0681 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/123 ,  B01L2300/14 ,  B01L2300/18 ,  B01L2400/046 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/06 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/0688 ,  B32B2037/1081 ,  B65B31/00 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81C1/00119 ,  B81C2201/019 ,  C12Q1/6832 ,  C12Q1/6874 ,  C30B29/54 ,  F04B43/043 ,  F15C1/06 ,  F15C3/00 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0051 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/0424 ,  Y10T137/206 ,  Y10T137/2082 ,  Y10T137/2164 ,  Y10T137/2169 ,  Y10T137/2174 ,  Y10T137/2202 ,  Y10T137/2224 ,  Y10T137/3084 ,  Y10T137/7837 ,  Y10T137/86027 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24612 ,  C12Q2535/125

Abstract: A method of fabricating an elastomeric structure, comprising: forming a first elastomeric layer on top of a first micromachined mold, the first micromachined mold having a first raised protrusion which forms a first recess extending along a bottom surface of the first elastomeric layer; forming a second elastomeric layer on top of a second micromachined mold, the second micromachined mold having a second raised protrusion which forms a second recess extending along a bottom surface of the second elastomeric layer; bonding the bottom surface of the second elastomeric layer onto a top surface of the first elastomeric layer such that a control channel forms in the second recess between the first and second elastomeric layers; and positioning the first elastomeric layer on top of a planar substrate such that a flow channel forms in the first recess between the first elastomeric layer and the planar substrate.

Abstract translation: 一种制造弹性体结构的方法，包括：在第一微加工模具的顶部上形成第一弹性体层，所述第一微加工模具具有形成沿所述第一弹性体层的底表面延伸的第一凹槽的第一凸起突起; 在第二微加工模具的顶部上形成第二弹性体层，所述第二微加工模具具有第二凸起突起，所述第二凸起突起形成沿所述第二弹性体层的底表面延伸的第二凹槽; 将第二弹性体层的底表面粘合到第一弹性体层的顶表面上，使得控制通道在第一和第二弹性体层之间的第二凹部中形成; 以及将第一弹性体层定位在平面基底的顶部上，使得流动通道在第一弹性体层和平面基底之间的第一凹部中形成。

公开(公告)号：WO99016096A1

公开(公告)日：1999-04-01

申请号：PCT/US1998/018038

申请日：1998-08-28

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  F03G7/06 ,  F15C5/00 ,  F16K99/00 ,  G02B6/38 ,  G02B6/42 ,  H01H1/00 ,  H01H9/14 ,  H01H61/00 ,  H01H61/02 ,  H01H65/00 ,  H01H67/26 ,  H04Q1/16

CPC classification number: F16K99/0001 ,  B81B3/0024 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/051 ,  F03G7/06 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0044 ,  F16K2099/0071 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  G02B6/3803 ,  G02B6/4226 ,  H01H1/0036 ,  H01H9/14 ,  H01H61/00 ,  H01H61/02 ,  H01H67/26 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2001/0047 ,  H01H2001/0068 ,  H01H2061/006 ,  Y10T29/49105

Abstract: A MEMS actuator is provided that produces significant forces and displacements while consumming a reasonable amount of power. The MEMS actuator includes a microelectronic substrate, spaced apart supports on the substrate and a metallic arched beam extending between the spaced apart supports. The MEMS actuator also includes a heater for heating the arched beam to cause futher arching of the beam. In order to effectively transfer heat from the heater to the metallic arched beam, the metallic arched beam extends over and is spaced, albeit slightly, from the heater. As such, the MEMS actuator effectively converts the heat generated by the heater into mechanical motion of the metallic arched beam. A family of other MEMS devices, such as relays, switching arrays and valves, are also provided that include one or more MEMS actuators in order to take advantage of its efficient operating characteristics. In addition, a method of fabricating a MEMS actuator is further provided.

Abstract translation: 提供了一种MEMS致动器，其在消耗合理的功率的同时产生显着的力和位移。 MEMS致动器包括微电子基板，在基板上的间隔开的支撑件和在间隔开的支撑件之间延伸的金属拱形梁。 MEMS致动器还包括加热器，用于加热拱形梁以引起梁的更远的拱形。 为了有效地将热量从加热器传递到金属拱形梁，金属拱形梁从加热器延伸过去并且稍微间隔开。 因此，MEMS致动器有效地将由加热器产生的热量转换成金属拱形梁的机械运动。 还提供了一系列其它MEMS器件，例如继电器，开关阵列和阀，其包括一个或多个MEMS致动器以便利用其有效的操作特性。 此外，还提供了一种制造MEMS致动器的方法。

公开(公告)号：WO2009056654A1

公开(公告)日：2009-05-07

申请号：PCT/ES2007/000622

申请日：2007-11-02

Applicant: IKERLAN CENTRO DE INVESTIGACIONES TECNOLÓGICAS, S.COOP. ,  FERNÁNDEZ LEDESMA, Luis José ,  TIJERO SERNA, María

Inventor： FERNÁNDEZ LEDESMA, Luis José ,  TIJERO SERNA, María

IPC: B81C1/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: B81C3/001 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L3/502746 ,  B81B2201/054 ,  B81C2201/0108 ,  B81C2203/037 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0094

Abstract: La presente invención se refiere a un procedimiento de fabricación de dispositivos micro-nanof luídicos para el control de flujo como son microválvulas, microbombas y reguladores de caudal, utilizando un polímero fotodefinible y un elastómero como materiales estructurales y a los dispositivos micro-nanofluídicos para el control de flujo obtenidos mediante dicho procedimiento.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于生产用于流量控制的微/纳流体装置的方法，例如使用光可定义聚合物和弹性体作为结构材料的微阀，微型泵和流量调节器。 本发明还涉及使用所述方法获得的微/纳流控流量控制装置。

公开(公告)号：WO2007064404A2

公开(公告)日：2007-06-07

申请号：PCT/US2006039135

申请日：2006-10-03

Applicant: KIONIX CORP ,  YOUNG LICOLN ,  ZHOU PENG

Inventor： YOUNG LICOLN ,  ZHOU PENG

IPC: B01L3/00 ,  B32B27/00 ,  F04B43/04 ,  F04B53/10

CPC classification number: F16K7/12 ,  B01F5/0683 ,  B01F5/0688 ,  B01F11/0071 ,  B01F13/0059 ,  B01F2215/0034 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0487 ,  B01L2400/06 ,  B01L2400/0638 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/084 ,  B29C65/4895 ,  B29C66/004 ,  B29C66/54 ,  B29C66/5412 ,  B29C66/71 ,  B29K2025/00 ,  B29K2025/04 ,  B29K2033/08 ,  B29K2069/00 ,  B29K2101/12 ,  B29L2031/7496 ,  B29L2031/7506 ,  B29L2031/756 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00103 ,  B81C1/00158 ,  F04B43/028 ,  F04B43/043 ,  F04B43/06 ,  F15C1/08 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0021 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0055 ,  F16K99/0057 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T29/49405 ,  Y10T137/212 ,  Y10T137/2202 ,  Y10T137/2218 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/85978 ,  Y10T156/1002 ,  Y10T156/1043 ,  B29K2033/12 ,  B29K2025/06

Abstract: Plastic microfluidic structures having a substantially rigid diaphragm that actuates between a relaxed state wherein the diaphragm sits against the surface of a substrate and an actuated state wherein the diaphragm is moved away from the substrate. As will be seen from the following description, the microfluidic structures formed with this diaphragm provide easy to manufacture and robust systems, as well readily made components such as valves and pumps.

Abstract translation: 塑料微流体结构具有基本上刚性的膜片，其在松弛状态之间起作用，其中隔膜抵靠衬底的表面，以及致动状态，其中隔膜移动离开衬底。 从以下描述可以看出，用这种隔膜形成的微流体结构提供易于制造和坚固的系统，以及易于制造的部件，例如阀和泵。

公开(公告)号：WO2004028955A3

公开(公告)日：2005-05-12

申请号：PCT/US0330335

申请日：2003-09-24

Applicant: CALIFORNIA INST OF TECHN ,  MAERKL SEBASTIAN J ,  THORSEN TODD A ,  BAO XIAOYAN ,  QUAKE STEPHEN R ,  STUDER VINCENT

Inventor： MAERKL SEBASTIAN J ,  THORSEN TODD A ,  BAO XIAOYAN ,  QUAKE STEPHEN R ,  STUDER VINCENT

IPC: B01L3/00 ,  F15C5/00 ,  F16K11/20 ,  F16K99/00 ,  B81B1/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: C12Q1/28 ,  B01L3/5025 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0655 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/054 ,  B81B2201/07 ,  B81C1/00119 ,  F15C5/00 ,  F16K11/20 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/0329 ,  Y10T137/2224 ,  Y10T137/85938 ,  Y10T137/87249

Abstract: High-density microfluidic chips contain plumbing networks with thousands of micromechanical valves and hundreds of individually addressable chambers. These fluidic devices are analogous to electronic integrated circuits fabricated using large scale integration (LSI). A component of these networks is the fluidic multiplexor, which is a combinatorial array of binary valve patterns that exponentially increases the processing power of a network by allowing complex fluid manipulations with a minimal number of inputs. These integrated microfluidic networks can be used to construct a variety of highly complex microfluidic devices, for example the microfluidic analog of a comparator array, and a microfluidic memory storage device resembling electronic random access memories.

Abstract translation: 高密度微流控芯片包含具有数千个微机械阀门和数百个单独可寻址腔室的管道网络。 这些流体装置类似于使用大规模集成（LSI）制造的电子集成电路。 这些网络的一个组件是流体多路复用器，它是二进制阀模式的组合阵列，通过允许使用最少数量的输入的复杂流体操纵来指数地增加网络的处理能力。 这些集成的微流体网络可用于构建各种高度复杂的微流体装置，例如比较器阵列的微流体模拟装置和类似于电子随机存取存储器的微流体存储器存储装置。

公开(公告)号：WO02018785A1

公开(公告)日：2002-03-07

申请号：PCT/US2001/027340

申请日：2001-08-31

IPC: A61B5/00 ,  A61B5/103 ,  B01L3/00 ,  B81B1/00 ,  B81B3/00 ,  F04B19/00 ,  F04B19/24 ,  F04B35/02 ,  F04B43/04 ,  F15B15/20 ,  F15C5/00 ,  F16K99/00 ,  G01N27/416 ,  F16K7/04 ,  F16K31/122

CPC classification number: F04B19/006 ,  A61B5/0002 ,  A61B5/145 ,  A61B5/14514 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/14546 ,  A61B5/1491 ,  A61B2560/0412 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2200/10 ,  B01L2300/0636 ,  B01L2300/0645 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/087 ,  B01L2400/0442 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/086 ,  B81B1/00 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  F04B43/046 ,  F15B2015/208 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0036 ,  F16K99/0061 ,  F16K2099/0069 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084

Abstract: According to the present invention, there is provided a micro-fluidic sensor system (6) including a micro-conduit (56) for carrying fluid therethrough having a flexible wall portion (18), at least one micro-fluidic actuator having a closed cavity, flexible mechanism defining a wall of the cavity (11) and flexible wall portion (18) of the micro-conduit for deflecting upon an application of pressure thereto, and expanding mechanism (14) disposed in the cavity for selectively expanding the cavity and thereby selectively flexing said expanding mechanism, and sensor mechanism in fluid communication with the micro-conduit for sensing the presence or absence of molecules. The present invention further provides for a micro-fluidic system for moving micro-fluid amounts including a micro-conduit and at least one micro-fluidic actuator in fluid communication with the micro-conduit.

Abstract translation: 根据本发明，提供了一种微流体传感器系统（6），其包括用于承载流体的微通道（56），其具有柔性壁部分（18），至少一个微流体致动器具有闭合腔 ，柔性机构限定了微管道的空腔（11）和柔性壁部分（18）的壁，用于在施加压力时偏转，以及膨胀机构（14），其设置在空腔中以选择性地扩大空腔，从而 选择性地弯曲所述膨胀机构，以及与微导管流体连通的传感器机构，用于感测分子的存在或不存在。 本发明进一步提供了用于移动微流体量的微流体系统，其包括微导管和至少一个与微导管流体连通的微流体致动器。

公开(公告)号：WO0029770A2

公开(公告)日：2000-05-25

申请号：PCT/US9927450

申请日：1999-11-16

Applicant: CALIFORNIA INST OF TECHN

Inventor： TAI YU-CHONG ,  WANG XUAN-QI

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  F15C5/00 ,  F16K15/14 ,  F16K99/00 ,  F16K

CPC classification number: F16K99/0001 ,  B81B3/001 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81C2201/115 ,  F15C5/00 ,  F16K15/144 ,  F16K99/0009 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0057 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/7888 ,  Y10T137/7895

Abstract: The present disclosure describes a Parylene micro check valve (10) including a micromachined silicon valve seat (15) with a roughened top surface to which a membrane cap (20) is anchored by twist-up tethers (25). The micro check valve is found to exhibit low cracking pressure, high reverse pressure, low reverse flow leakage, and negligible membrane-induced flow resistance when used as a valve over a micro orifice through which flow liquid and gas fluids.

Abstract translation: 本披露描述了一种派瑞林微型止回阀（10），其包括具有粗糙顶面的微机械加工硅阀座（15），膜帽（20）通过绞合系绳（25）锚定到该微型机械阀座（15）。 当微型止回阀用作流过液体和气体流体的微孔时，表现出低开启压力，高反向压力，低反向流动泄漏以及可忽略的膜致流动阻力。

公开(公告)号：WO99024744A1

公开(公告)日：1999-05-20

申请号：PCT/US1998/024072

申请日：1998-11-12

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  F04B19/24 ,  F04B43/04 ,  F15C5/00 ,  F16K99/00 ,  F16K27/00

CPC classification number: F15C5/00 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  F04B19/24 ,  F04B43/043 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0036 ,  F16K99/0044 ,  F16K99/0061 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/7737 ,  Y10T137/7879

Abstract: A micromachined fluid handling device (600) includes a valve (138) made of reinforced parylene. A heater (440) heats a fluid to expand a thermopneumatic fluid (442). The heater (440) is formed on unsupported silicon nitride to provide a reduction in power.

Abstract translation: 微加工流体处理装置（600）包括由增强的聚对二甲苯制成的阀（138）。 加热器（440）加热流体以膨胀热气流体（442）。 加热器（440）形成在未支撑的氮化硅上以提供功率的降低。

公开(公告)号：JP4704398B2

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：JP2007197284

申请日：2007-07-30

Applicant: リサーチ・トライアングル・インスティチュート

Inventor： グッドウィン−ヨハンソン，スコット・エイチ ,  マグワイア，ゲイリー・イー

IPC: F16K31/02 ,  B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  B81C1/00 ,  F15C5/00 ,  F16K7/14 ,  F16K15/16 ,  F16K99/00

CPC classification number: F16K99/0001 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/04 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0007 ,  F16K99/0028 ,  F16K99/0051 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  H01H2059/0081