公开(公告)号：WO2015135534A1

公开(公告)日：2015-09-17

申请号：PCT/DE2015/100097

申请日：2015-03-10

Applicant: LEIBNIZ-INSTITUT FÜR NEUE MATERIALIEN GEMEINNÜTZIGE GESELLSCHAFT MIT BESCHRÄNKTER HAFTUNG

Inventor： DE JONGE, Niels

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/228 ,  B82Y5/00 ,  G02B21/02 ,  G02B21/06 ,  G02B21/18 ,  G02B21/34 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2802 ,  Y10S977/927

Abstract: Vorrichtung für die korrelative Raster-Transmissionselektronenmikroskopie (STEM) und Lichtmikroskopie Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für die korrelative Raster-Transmissionselektronenmikroskopie (STEM) und Lichtmikroskopie. Um eine Vorrichtung für das korrelative Mikroskopieren zu schaffen, die eine verbesserte Kombination von lichtmikroskopischem und STEM-Verfahren ermöglicht, wird im Rahmen der Erfindung vorgeschlagen, daß ein STEM-Detektor (7) mit einer lichtoptischen Linse (8) kombiniert ist. Diese Detektionsvorrichtung kombiniert die effiziente Detektion mittels STEM-Mikroskopie von Materialien mit hoher Atomzahl, beispielsweise spezifischen Nanopartikel-Markern in einer Probe in einer Flüssigkeit, wie einer Zelle, mit gleichzeitiger Lichtmikroskopie.

Abstract translation: 装置相关的扫描透射电子显微镜（STEM）显微术和光学显微镜中，本发明涉及一种用于相关的扫描透射电子显微镜（STEM）显微术和光学显微镜的装置。 为了提供用于相关显微术，它允许光学显微镜和STEM过程的改进的组合的装置中，本发明一个STEM检测器（7）的光的光学透镜（8）组合中提出。 这个检测装置组合由具有高原子序数的材料，如样品中的纳米颗粒的特异性标志物在液体中，例如细胞，并同时光镜STEM显微镜高效的检测。

公开(公告)号：WO2012093474A1

公开(公告)日：2012-07-12

申请号：PCT/JP2011/050044

申请日：2011-01-05

Applicant: 礒部 信一郎 ,  金丸 孝昭 ,  高洲 信一

Inventor： 礒部　信一郎 ,  金丸　孝昭 ,  高洲　信一

IPC: G01N23/225 ,  G01N21/64 ,  G01N23/04 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: G02B21/06 ,  G01N21/6458 ,  G01N23/2251 ,  G01N2021/6463 ,  G01N2021/6484 ,  G02B21/04 ,  G02B21/16 ,  H01J37/228 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2807 ,  H01J2237/2808

Abstract: 　同一の生体組織試料について、電子像観察だけでなく、蛍光像観察、および透視像観察等を行うことも可能な、複数の観察用光源を備えた多光源顕微鏡を提供する。　本発明の多光源顕微鏡は、光源部を備え蛍光を観察するための光学顕微鏡部と、走査型電子顕微鏡部とからなり、該光学顕微鏡は反射面が非球面型であるカセグレン鏡を有し、該カセグレン鏡が該走査型顕微鏡部の鏡筒内に該走査型電子顕微鏡部の電子ビームの光軸と同軸となるように配置されている。

Abstract translation: 本发明提供一种不仅对同一生物组织样品进行电子图像观察，而且能够进行荧光图像观察，荧光透视图像观察等的多光源显微镜，还具备多个观察用光源。 公开了这种多光源显微镜，其由以下部分构成：用于观察荧光的光学显微镜单元，设置有光源单元; 以及扫描电子显微镜单元，其中，所述光学显微镜具有带有非球面反射面的卡塞格林镜，并且所述卡塞格朗格镜布置在所述扫描显微镜单元的透镜镜筒中，以与所述扫描显微镜单元的电子束的光轴同轴 扫描电子显微镜单元。

公开(公告)号：WO2012008836A3

公开(公告)日：2012-03-01

申请号：PCT/NL2011050513

申请日：2011-07-14

Applicant: DELMIC B V ,  KRUIT PIETER ,  HOOGENBOOM JACOB PIETER ,  ZONNEVYLLE AERNOUT CHRISTIAAN

Inventor： KRUIT PIETER ,  HOOGENBOOM JACOB PIETER ,  ZONNEVYLLE AERNOUT CHRISTIAAN

IPC: H01J37/22 ,  G01N21/00 ,  G01N23/225 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/22 ,  G01N21/62 ,  G01N2021/625 ,  H01J37/226 ,  H01J37/228 ,  H01J37/256 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2482 ,  H01J2237/2808

Abstract: An inspection apparatus is provided comprising in combination at least an optical microscope (2, 3, 4) and an ion- or electron microscope (7, 8) equipped with a source (7) for emitting a primary beam (9) of radiation to a sample (10) in a sample holder. The apparatus may comprise a detector (8) for detection of secondary radiation (11) backscattered from the sample and induced by the primary beam. The optical microscope is equipped with an light collecting device (2) to receive in use luminescence light (12) emitted by the sample and to focus it on a photon-detector (4).

Abstract translation: 提供一种检查设备，其包括至少一个光学显微镜（2,3,4）和配备有用于将辐射的主光束（9）发射到光源（7）的源（7）的离子或电子显微镜（7,8） 样品架中的样品（10）。 该设备可以包括检测器（8），用于检测从样本反向散射并由主束引起的次级辐射（11）。 光学显微镜配备有光收集装置（2），以接收由使用样品发射的发光光（12）并将其聚焦在光子检测器（4）上。

公开(公告)号：WO2009089499A2

公开(公告)日：2009-07-16

申请号：PCT/US2009030671

申请日：2009-01-09

Applicant: FEI CO ,  UTLAUT MARK W ,  SMITH NOEL ,  TESCH PAUL P ,  MILLER TOM ,  NARUM DAVID H ,  HENRY CRAIG ,  HONG LIANG ,  STONE STACEY ,  TUGGLE DAVID

Inventor： UTLAUT MARK W ,  SMITH NOEL ,  TESCH PAUL P ,  MILLER TOM ,  NARUM DAVID H ,  HENRY CRAIG ,  HONG LIANG ,  STONE STACEY ,  TUGGLE DAVID

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0279 ,  G03F1/84 ,  H01J37/228 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3056 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/2633

Abstract: A multibeam system in which a charged particle beam and one or more additional beams can be directed to the target within a single vacuum chamber. A first beam column preferably produces a beam for rapid processing, and a second beam column produces a beam for more precise processing. A third beam column can be used to produce a beam useful for forming an image of the sample while producing little or no change in the sample.

Abstract translation: 多光束系统，其中带电粒子束和一个或多个附加光束可以在单个真空室内被引导到目标物。 第一梁柱优选地产生用于快速加工的梁，并且第二梁柱产生用于更精确加工的梁。 可以使用第三光束柱来产生用于形成样品图像的光束，同时产生很少或没有变化的样品。

公开(公告)号：WO01071766A1

公开(公告)日：2001-09-27

申请号：PCT/FR2001/000812

申请日：2001-03-19

IPC: H01J37/22

CPC classification number: H01J37/228 ,  G02B17/082 ,  H01J37/12 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/2482 ,  H01J2237/31749

Abstract: The invention concerns a column for producing a focused particle beam comprising: a device (100) focusing particles including an output electrode (130) with an output hole (131) for allowing through a particle beam (A); an optical focusing device (200) for simultaneously focusing an optical beam (F) including an output aperture (230). The invention is characterised in that said output aperture (230) is transparent to the optical beam (F), while said output electrode (130) is formed by a metallic insert (130) maintained in said aperture (230) and bored with a central hole (131) forming said output orifice.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于生产聚焦粒子束的色谱柱，包括：将包括输出电极（130）的颗粒与用于允许通过粒子束（A）的输出孔（131）聚焦的装置（100）; 用于同时聚焦包括输出孔（230）的光束（F）的光学聚焦装置（200）。 本发明的特征在于，所述输出孔（230）对于光束（F）是透明的，而所述输出电极（130）由保持在所述孔（230）中的金属插入件（130）形成，并且与中心 孔（131）形成所述输出孔。

公开(公告)号：WO1997001862A1

公开(公告)日：1997-01-16

申请号：PCT/JP1995001273

申请日：1995-06-26

Applicant: HITACHI, LTD. ,  YAJIMA, Yusuke ,  TAKAHASHI, Yoshio ,  SUZUKI, Hiroshi ,  KURODA, Katsuhiro

Inventor： HITACHI, LTD.

IPC: H01J37/256

CPC classification number: H01J37/228 ,  H01J37/268 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2455

Abstract: An electron microscope and electron microscopy for observing the magnetization of samples with high resolution. The microscope comprises an electron beam projecting means including a scanning coil (3) and objectives lens (4) to irradiate a desired part of a sample (51) with an electron beam (2) emitted from an electron source (1); and a detector means including a quarter wave plate (8), polarizer (9), and photodetector (11) to detect circular-polarized light from the irradiated part of the sample. Since the intensity of the circular-polarized light generated from the sample irradiated with the electron beam varies depending upon the direction of magnetization of the irradiated part and detecting direction of the light, the distribution of magnetization can be measured when the scanned images are observed by using the intensity of the circular-polarized light as luminance signals while scanning the irradiated part on the surface of the sample (51).

Abstract translation: 用电子显微镜和电子显微镜观察高分辨率样品的磁化强度。 显微镜包括电子束投射装置，其包括用从电子源（1）发射的电子束（2）照射样品（51）的期望部分的扫描线圈（3）和物镜（4）。 以及包括四分之一波片（8），偏振器（9）和光电检测器（11）的检测器装置，用于检测来自被照射部分的样品的圆偏振光。 由于由电子束照射的样品产生的圆偏振光的强度根据照射部分的磁化方向和光的检测方向而变化，所以可以通过观察扫描图像时测量磁化分布 使用圆偏振光的强度作为亮度信号，同时扫描样品（51）的表面上的照射部分。

公开(公告)号：CZ20140184A3

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CZ20140184

申请日：2014-03-26

Applicant: TESCAN ORSAY HOLDING ,  WITEC GMBH

Inventor： JIRUŠE JAROSLAV ,  HOLLRICHER OLAF ,  HANIČINEC MARTIN

IPC: G01N21/65 ,  G01J3/44 ,  G01N23/225 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/068 ,  G01Q30/025 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/226 ,  H01J37/228 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2583 ,  H01J2237/2801 ,  H01J2237/2802

Abstract: Systém využívající množství analytických zařízení, jako jsou elektronový mikroskop (4), Ramanův mikroskop (6), iontový tubus (20) a mikroskop se skenovací sondou (24) pro analýzu vzorku (3) současnou, na sebe navazující nebo se vzájemnou korelací analýz provedených různými zařízeními ve stejném místěči oblasti vzorku (3). Systém využívá spojení optického objektivu (11) Ramanova mikroskopu (6) s manipulátorem (17) objektivu čímž podstatně zkracuje dobu potřebnou na provedení analýz Ramanovým mikroskopem (6) spolu s dalšími přístroji a to při zachování vysoké kvality snímaných signálů srovnatelné se samostatně stojícími analytickými zařízení.

公开(公告)号：NL2012218C

公开(公告)日：2015-08-10

申请号：NL2012218

申请日：2014-02-06

Applicant: UNIV DELFT TECH

Inventor： HOOGENBOOM JACOB PIETER ,  KRUIT PIETER

IPC: G01N21/64 ,  G01N23/225

CPC classification number: G01N21/6456 ,  G01N21/6428 ,  G01N2021/6441 ,  G01N2201/105 ,  H01J37/228

公开(公告)号：NL2005080C

公开(公告)日：2012-01-17

申请号：NL2005080

申请日：2010-07-14

Applicant: UNIV DELFT TECH

Inventor： KRUIT PIETER ,  HOOGENBOOM JACOB PIETER ,  ZONNEVYLLE AERNOUT CHRISTIAAN

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/22 ,  G01N21/62 ,  G01N2021/625 ,  H01J37/226 ,  H01J37/228 ,  H01J37/256 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2482 ,  H01J2237/2808

公开(公告)号：TW591703B

公开(公告)日：2004-06-11

申请号：TW090106480

申请日：2001-03-20

Applicant: 史蘭寶科技公司 SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES, INC. ,  歐莎菲瑞斯公司 ORSAY PHYSICS S.A.

Inventor： 卡賓 安東尼 CORBIN ANTOINE ,  布奇特 帕翠克 BOUCHET PATRICK ,  賓納莎亞 吉瑞得 BENASSAYAG GERARD ,  蘇瑞德 皮耶瑞 SUDRAUD PIERRE

IPC: H01L ,  H01J

CPC classification number: H01J37/228 ,  G02B17/082 ,  H01J37/12 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/2482 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本發明係有關於一種用以產生聚焦微粒束的管柱，包括：
一微粒聚焦裝置(100)，包括一含有可讓微粒束(A)通過的輸出洞孔(131)的輸出電極(130)；
一光學聚焦裝置(200)，用於同時聚焦一光束(F)，包括一輸出孔徑(230)，本發明的特徵為，該輸出孔徑(230)對於該光束(F)而言是透明的，而該輸出電極(130)是製作成金屬嵌入件，承支在該孔徑(230)內並具有一成為該輸出洞孔的中心孔(131)。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系有关于一种用以产生聚焦微粒束的管柱，包括： 一微粒聚焦设备(100)，包括一含有可让微粒束(A)通过的输出洞孔(131)的输出电极(130)； 一光学聚焦设备(200)，用于同时聚焦一光束(F)，包括一输出孔径(230)，本发明的特征为，该输出孔径(230)对于该光束(F)而言是透明的，而该输出电极(130)是制作成金属嵌入件，承支在该孔径(230)内并具有一成为该输出洞孔的中心孔(131)。