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公开(公告)号：KR101322909B1
公开(公告)日：2013-10-29
申请号：KR1020120135482
申请日：2012-11-27
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/027 , G03F1/44
CPC classification number: H01L21/0274 , G03F1/44 , G03F7/70258 , H01L21/68
Abstract: PURPOSE: A camera image alignment system and a method thereof are provided to easily arrange diffracted light by rotating a charged coupled device. CONSTITUTION: A light source part emits an extreme ultra-violet (EUV) beam. An optical module reflects the EUV beam to a measurement target mask. A CCD camera (300) obtains a diffraction image reflected from the measurement target mask. An image process module (400) arranges diffracted light according to the order of brightness. A camera driving module (600) rotates the CCD camera. [Reference numerals] (400) Image process module; (500) Control device; (600) Camera driving module; (700) Diffraction light position storing module
Abstract translation: 目的：提供照相机图像对准系统及其方法，以便通过旋转电荷耦合器件来容易地布置衍射光。 构成：光源部分发射极紫外（EUV）光束。 光学模块将EUV光束反射到测量目标掩模。 CCD相机（300）获得从测量目标掩模反射的衍射图像。 图像处理模块（400）根据亮度的顺序排列衍射光。 相机驱动模块（600）旋转CCD相机。 （附图标记）（400）图像处理模块; （500）控制装置; （600）相机驱动模块; （700）衍射光位置存储模块
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公开(公告)号：KR1020130061466A
公开(公告)日：2013-06-11
申请号：KR1020110127789
申请日：2011-12-01
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: An underwater sensor housing is provided to continuously measure physical or chemical properties of seawater using other underwater sensors in one underwater sensor when one underwater sensor malfunctions, and to enable long-term use in a marine environment. CONSTITUTION: An underwater sensor housing comprises: a housing main body(10) with a plurality of underwater sensor mounting part(15) in which an underwater sensor(60) is placed on the upper side(11); the plurality of underwater sensors; and a cap(40) which is coupled for covering the upper side of a housing main body, and has a plurality of seawater hole(42) and a hole cover(45). The underwater sensor is selectively changed by selectively opening the hole cover.
Abstract translation: 目的：提供水下传感器外壳，以便在一个水下传感器发生故障时，使用其他水下传感器中的其他水下传感器连续测量海水的物理或化学性质，并可在海洋环境中长期使用。 构成：水下传感器壳体包括：具有多个水下传感器安装部分（15）的壳体主体（10），水下传感器（60）放置在上侧（11）上; 多个水下传感器; 以及连接用于覆盖壳体主体的上侧的盖（40），并且具有多个海水孔（42）和孔盖（45）。 通过选择性地打开孔盖来选择性地改变水下传感器。
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公开(公告)号：KR101258681B1
公开(公告)日：2013-04-26
申请号：KR1020110056820
申请日：2011-06-13
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N21/64 , G01N21/31 , G01N33/18 , G01N33/483
Abstract: 본 발명은 수계 환경의 식물성 플랑크톤에 가장 보편적이고 많이 포함된 엽록소-a (chlorophyll-a)의 양을 측정함으로써 식물성 플랑크톤의 농도를 실시간으로 모니터링 할 수 있는 수질 센서에 관한 것이다.
본 발명의 센서는 형광 광도법(fluorometry)과 흡광 광도법(absorption photometry)을 동시에 사용하는 것으로, 수중 식물성 플랑크톤에 포함된 엽록소-a에 의해 흡수되는 빛을 제공하는 발광부; 상기 발광부로부터 제공되는 빛이 통과하는 시료부; 상기 시료부를 통과하면서 식물성 플랑크톤의 엽록소-a에 의해 흡수된 빛의 양을 측정하는 제1센서부; 및 상기 시료부의 식물성 플랑크톤으로부터 방출되는 형광의 양을 측정하는 제2센서부를 포함한다. 상기 발광부로는 식물성 플랑크톤이 흡수할 수 있는 파장대의 광을 방출하는 발광 다이오드(Light Emitting Diode; LED) 또는 레이저 다이오드(Laser Diode; LD)를 사용하고, 상기 제1 및 제2 센서부는 식물성 플랑크톤이 흡수한 흡광의 양 및 식물성 플랑크톤이 재방출하는 형광(fluorescence)을 감지하는 광 검출기(Photo Detector; PD)를 포함한다.
이러한 센서의 일 실시예로서 460 nm 파장 발광 다이오드를 제1센서부 및 제2센서부에 대한 공통의 발광부로 사용하고, 460 nm 파장(흡광 파장)과 680 nm 파장(형광 파장)의 광 검출기를 각각 제1센서부 및 제2센서부로 사용한다.
본 발명의 센서는 형광 광도법(fluorometry)과 흡광 광도법(absorption photometry)을 동시에 사용함으로써 센서의 정밀도를 높이며, 특히 형광의 양을 측정하는 센서부를 2개의 광 검출기로 구성함으로써 미세신호 측정이 가능하도록 한 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR101200536B1
公开(公告)日：2012-11-13
申请号：KR1020100049185
申请日：2010-05-26
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N33/487 , G01N35/08 , G01N21/45
CPC classification number: G02B26/10 , G02B2006/1215 , G02B2006/12159
Abstract: Embodiments of adaptively performing clutter filtering are disclosed. In one embodiment, a beam scanning system includes a light source configured to generate a supercontinuum light beam; an optical device configured to receive the supercontinuum light beam for guidance thereof to at least two output ports; and a power supply unit configured to supply voltage to one output port of the at least two output ports to change a phase of the light beam from said one output port.
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公开(公告)号：KR101193986B1
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：KR1020110094066
申请日：2011-09-19
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2924/00014
Abstract: PURPOSE: A field effect transistor sensor array is provided to simplify maintenance and repair operations by efficiently separating a malfunctioning sensor. CONSTITUTION: An 8 X 8 sensor array(200) is formed on a substrate and has 64 channels. The 8 x 8 sensor array is divided into first to fourth sensor groups(210a-210d). The first to fourth sensor groups include an FET sensor device(F) of a 4 x 4 sensor array type. The FET sensor device is formed by forming a gate electrode and a channel between a source electrode and a drain electrode.
Abstract translation: 目的：提供场效应晶体管传感器阵列，通过有效分离故障传感器来简化维护和维修操作。 构成：在基板上形成8×8传感器阵列（200），并具有64个通道。 8×8传感器阵列被分成第一至第四传感器组（210a-210d）。 第一至第四传感器组包括4×4传感器阵列型的FET传感器装置（F）。 FET传感器装置通过在源极和漏极之间形成栅电极和沟道而形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101128474B1
公开(公告)日：2012-03-23
申请号：KR1020100031759
申请日：2010-04-07
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/203
Abstract: 본 발명은 측면 방출형 증발원, 그 제작방법 및 증발기에 관한 것이다.
진공속에서 도가니를 가열하여, 도가니에서 방출되는 재료를 기판에 증착하는 방법을 사용하는 증발시스템에서, 도가니와 발열부로 구성되고 도가니의 측면에 형성된 방출구를 갖는 증발원, 그 증발원의 제작방법 및 증발기에 관한 것이다.
본 발명에서는 증발장치용 PBN 도가니와, 상기 도가니의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부와, 상기 도가니의 측면에 형성된 방출구와, 상기 도가니의 상부를 덮는 PBN 뚜껑과, 상기 뚜껑의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부를 포함하는 증발원, 그 제작 방법 및 증발기가 제시된다.-
公开(公告)号：KR1020110112584A
公开(公告)日：2011-10-13
申请号：KR1020100031759
申请日：2010-04-07
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/203
CPC classification number: C23C14/28 , C23C14/243
Abstract: 본 발명은 측면 방출형 증발원, 그 제작방법 및 증발기에 관한 것이다.
진공속에서 도가니를 가열하여, 도가니에서 방출되는 재료를 기판에 증착하는 방법을 사용하는 증발시스템에서, 도가니와 발열부로 구성되고 도가니의 측면에 형성된 방출구를 갖는 증발원, 그 증발원의 제작방법 및 증발기에 관한 것이다.
본 발명에서는 증발장치용 PBN 도가니와, 상기 도가니의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부와, 상기 도가니의 측면에 형성된 방출구와, 상기 도가니의 상부를 덮는 PBN 뚜껑과, 상기 뚜껑의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부를 포함하는 증발원, 그 제작 방법 및 증발기가 제시된다.-
公开(公告)号：KR100695674B1
公开(公告)日：2007-03-15
申请号：KR1020040087027
申请日：2004-10-29
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G02F3/00
Abstract: 본 발명은 단일 반도체 광증폭기(SOA)의 이득포화 특성을 이용한 전광 OR 논리소자 구현장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히 광컴퓨팅과 같은 광회로의 임의의 지점에서 전송되는 광신호를 펌프신호와 조사신호로 이용하여 전광 논리동작을 하는 새로운 전광 OR 논리소자를 구현하는 기술에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 광펄스를 생성하기 위한 광펄스 발생기와; 상기 광펄스 발생기로부터 입력신호 패턴 A와 B를 생성하기 위한 모드잠김 광섬유 레이저(MLFL); 상기 모드잠김 광섬유 레이저의 출력광을 50:50으로 분리하기 위한 제1 광분배기; 상기 제1 광분배기로부터 출력광의 시간 지연을 얻기 위한 제1 광지연수단; 상기 제1 광분배기로부터 출력광의 세기와 편광을 조절하기 위한 광조절 수단; 상기 제1 광지연수단 및 광조절 수단으로부터의 출력광을 결합시켜 조사신호로서 입력신호 패턴 A를 발생시키는 제1 광결합기; 상기 제1 광결합기로부터의 출력광을 50:50으로 분리하기 위한 제2 광분배기; 상기 제2 광분배기로부터의 출력광이 시간 지연되어 입력신호 패턴 B가 발생되는 제2 광지연수단; 상기 입력신호 패턴 B가 50:50으로 분리되기 위한 제3 광분배기; 상기 제3 광분배기에서 한 측의 입력신호 패턴 B를 펌프신호로 증폭하기 위한 어븀첨가 광섬유 증폭기(EDFA); 상기 펌프신호와 조사신호가 반대방향으로 입사되는 반도체 광증폭기(SOA); 상기 반도체 광증폭기로부터의 출력신호와 입력 신호 패턴(B)를 결합하는 제2 광결합기; 및 상기 제2 광결합기로부터의 출력광을 검출하여 분석하는 광신호 분석기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전광 OR 논리소자 구현장치 를 제시한다.
반도체 광증폭기(SOA), 전광 OR 논리소자, 조사신호, 펌프신호-
公开(公告)号：KR100539465B1
公开(公告)日：2005-12-29
申请号：KR1020040015790
申请日：2004-03-09
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/20
Abstract: 본 발명은 실리콘 박막분리를 위한 표면기포 형성방법에 관한 것으로서 특히 스마트 컷(Smart-cut) 방법에 의해 SOI 웨이퍼가 제조될 때, 박막층 분리의 필수 조건인 수소에 의해 유기된 미세균열(microcrack)이 형성된 결과로서 나타나는 표면 기포가 형성되는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 의하면 SOI 기판의 박막 분리를 위한 표면기포 형성방법에 있어서, 제 1기판의 일정 두께를 열산화하는 제 1단계와; 상기 제 1기판의 열산화막 두께 보다 깊은 일정 깊이로 이온 주입하는 제 2단계와; 상기 이온 주입된 제 1기판을 제 2기판과 접합하는 제 3단계와; 상기 접합된 제 1 및 제 2기판을 300 ~ 600℃ 범위에서 10 ~ 30분 동안 열처리함으로써 미세균열에 의해 표면 기포가 형성된 이온 주입 박막을 분리하는 제 4단계; 및 상기 분리된 박막 표면을 연마하는 제 5단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면기포 형성방법을 제시한다.
따라서 본 발명은 스마트 컷(Smart-cut) 기술로 SOI 웨이퍼가 제조될 때, 열처리 시간의 감소와 표면 기포의 형성 여부로 박막분리의 여부를 결정함으로써 이온 주입된 실리콘 웨이퍼의 박막분리 공정 에러를 줄일 수 있다.-
公开(公告)号：KR100524580B1
公开(公告)日：2005-10-31
申请号：KR1020030071073
申请日：2003-10-13
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G02B6/12
CPC classification number: G02F1/0955 , G02B6/2813 , G02F2001/212 , G02F2001/217
Abstract: 본 발명은 다중모드 간섭형(Multi-Mode Interference : MMI) 구조 및 자기 광학 물질로 이루어진 클래딩층 이용하여 광 진행시 발생하는 불필요한 반사광들을 제거하고 단길이 집적화가 가능한 MMI 구조의 집적 광 아이솔레이터를 구현하는 것으로서, 광의 진행방향에 따라 광학적 성질들이 변화하는 비가역적 위상변위 효과를 이용한다.
광도파로 형태의 광 아이솔레이터를 구현하기 위해서는 입력되는 광을 동일한 파워를 가지는 두개의 광도파로로 나눠야 한다. 즉, 광 아이솔레이터 소자의 길이를 줄이기 위해서는 입력광을 두개의 도파로로 분리하는데 필요한 길이가 짧아져야 한다. MMI 구조의 광도파로는 입력광을 두개의 도파로로 나누는데 필요한 길이가 마하 젠더 형태의 광도파로보다 훨씬 짧기 때문에 광 아이솔레이터 소자의 길이를 줄일 수 있게 된다. 또한 MMI 구조는 제작상의 허용오차가 크므로 제작이 용이한 장점을 가진다.
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