-
公开(公告)号：KR1020180022218A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：KR1020160107259
申请日：2016-08-23
IPC: H01L23/538 , H01L23/00 , H01L21/762
CPC classification number: H01L23/5387 , H01L21/7624 , H01L23/481 , H01L23/4985 , H01L24/27 , H01L24/28 , H01L24/81
Abstract: 본발명에따른플렉서블소자패키징방법은소자기판(100)을준비하는단계; 상기소자기판(100) 상에 LSI 소자(300)를제조하는단계; 임시기판(500)을상기소자기판(100)의 LSI 소자(300)를덮도록접착제(400)로고정하는단계; 물리화학적방법을통해상기소자기판(100)의하면을식각함으로써상기소자기판(100)의두께를줄이는단계; 상기소자기판(100)의후면을통해컨택홀을형성하고상기컨택홀을통해관통전극(600)을형성하는단계; 상기소자기판(100)의하면상에이방성전도성필름(700)을배치하고, 상기이방성전도성필름(700)의하부에컨택전극(900)이형성된플렉서블회로기판(800)을배치하는단계; 상기임시기판(500)의상부및 상기플렉서블회로기판(800)의하부를통해초음파, 열, 압력등을인가하여상기소자기판(100)의 LSI 소자(300)와상기플렉서블회로기판(800)을접합하는단계;를포함하는것을특징으로한다.
Abstract translation: 根据本发明的柔性器件封装方法包括：准备元件衬底（100）; 在器件衬底（100）上制造LSI器件（300）; 指定临时衬底（500）作为粘合剂（400）以覆盖元件衬底（100）的LSI元件（300）的步骤; 通过物理化学方法蚀刻元件基板（100）来减小元件基板（100）的厚度; 通过器件基板100的后表面形成接触孔并且通过接触孔形成穿透电极600; 在元件基板100上配置各向异性导电膜700，在各向异性导电膜700的下部设置具有接触电极900的柔性电路基板800， 元件基板100的LSI装置300和柔性电路基板800通过在临时基板500的上部和柔性基板800的下部施加超声波，加热，加压等来接合， 该方法包括以下步骤：
-
公开(公告)号：KR101757404B1
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：KR1020150104994
申请日：2015-07-24
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은접촉제어를통한선택적연속전사장치에관한것으로, 본발명의목적은유연기판디바이스제조공정과같이롤을사용하여전사를수행하는연속전사공정에있어서, 원하는위치에만소자가전사되도록하는선택적전사를원활하고용이하게실현할수 있는, 점착력제어를통한선택적연속전사장치를제공함에있다.
-
公开(公告)号：KR101740899B1
公开(公告)日：2017-05-29
申请号：KR1020150041332
申请日：2015-03-25
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은투명기판; 투명기판상에형성된제1그래핀층; 제1그래핀층의일 표면에서단량체를자가중합하여형성된고분자층; 및고분자층상에형성된제2그래핀층;을포함하는투명그래핀전극에관한것이다. 또한, 본발명은투명그래핀전극을포함하여제조된투명슈퍼커패시터에관한것이다. 또한, 본발명은 a) 제1그래핀층을포함하는제1적층구조체및 제2그래핀층을포함하는제2적층구조체를준비하는단계; b) 제1그래핀층의일 표면에서단량체를자가중합하여고분자층을형성하는단계; c) 고분자층과제2그래핀층이접하도록제2적층구조체를고분자층상에적층하여제3적층구조체를제조하는단계; 및 d) 제1그래핀층과투명기판이접하도록제3적층구조체를투명기판상에전사하는단계;를포함하는투명그래핀전극의제조방법에관한것이다.
-
公开(公告)号：KR101729574B1
公开(公告)日：2017-05-12
申请号：KR1020160061913
申请日：2016-05-20
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은계층화메타물질제작용선택적전사롤 스탬프에관한것으로서, 롤러와, 돌기기판과, 점착층을포함한다. 롤러는회전축을중심으로회전된다. 돌기기판은롤러의외주면에결합되고, 표면으로부터돌출되게형성되고원주방향을따라이격되게배치되는다수의돌기부와, 이웃하는돌기부사이의표면에형성되는평탄부를구비한다. 점착층은돌기기판을감싸도록형성되고, 소스기판에배열된소자와접촉되는접촉면이평평하게형성된다. 점착층은, 돌기부의상측에형성되어제1두께를가지는제1점착부와, 평탄부의상측에형성되어제1두께보다두꺼운제2두께를가지는제2점착부를포함한다. 두께차이에의해제1점착부의점착력이제2점착부의점착력보다크고, 소자가제1점착부에는부착되고제2점착부에는부착되지않도록제1점착부의점착력및 제2점착부의점착력이형성된다.
Abstract translation: 本发明涉及用于制造分层超材料的任选转印辊印模，其包括辊，突出基板和粘合剂层。 滚筒绕着旋转轴线旋转。 投影板设置，耦合到所述辊的外周面形成为从表面和多个被在圆周方向上间隔开的突出的突出，形成相邻的突起，其部分之间的表面上的单位。 粘合层形成为围绕突出基板，并且与布置在源基板上的元件接触的接触表面形成为平坦的。 该粘合剂层包括具有第二厚度比在与形成于突出部，所述平坦上部的上侧的最后一个第一厚度的第一粘合部分最后形成的第一厚度厚的第二粘接部。 第一粘接部关闭的厚度差的粘附现在比的粘接第二粘接部时，该装置是第一粘接部附接和第二粘合剂部分具有第一粘合部分和被附接到形成在第二压敏粘合剂的粘合力的粘合强度。
-
公开(公告)号：KR101714737B1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：KR1020150169729
申请日：2015-12-01
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은범프형스탬프를이용한선택적전사방법에관한것으로서, 스탬프형성단계와, 제1성형단계와, 제1전사단계와, 제2성형단계와, 제2전사단계를포함한다. 스탬프형성단계는기판의원하는위치에폴리머액적을디스펜싱하면서기판에액체상태의다수의범프가구비되는범프형스탬프를형성한다. 제1성형단계는범프에열 또는자외선빔을조사하여, 범프의외측에는일정두께의경화층이형성되고경화층내부의범프는액체상태가유지되도록범프를성형한다. 제1전사단계는소자가배치된소스기판과범프형스탬프를접촉시켜, 소스기판의소자를범프에전사한다. 제2성형단계는범프에열 또는자외선빔을조사하여, 경화층내부의범프까지경화되도록범프를성형한다. 제2전사단계는수신기판과범프형스탬프를접촉시켜, 범프에부착된소자를수신기판에전사한다.
Abstract translation: 本发明包括一种印章形成工序和第一成型步骤，在该第一传送步骤中，在第二成型步骤中，一第二转印步骤涉及利用凸块形印模的选择性转移方法。 印模形成步骤在基底上形成具有多个液体凸块的凸块印模，同时将聚合物液滴分配到基底的期望位置。 第一成型步骤照射热或紫外束的凸块，外部，在所述凸块的凸块的固化层的内部形成具有预定厚度的硬化层被形成，使得液体状态被保持在凸块。 第一转印步骤，将接触元件设置在源基板和凸块形印模，以源基板的元件转移到凸块。 第二模制步骤用热或紫外光照射凸块以模制凸块以固化至固化层内的凸块。 在第二转印步骤中，使接收衬底与凸块型印模接触，并且将附接到凸块的器件转移到接收衬底。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170013113A
公开(公告)日：2017-02-06
申请号：KR1020150106128
申请日：2015-07-27
Applicant: 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 , 한국기계연구원 , 세종대학교산학협력단
IPC: H01L45/00
Abstract: 본발명의일 실시예는기판상에형성된하부전극; 상기하부전극과전기적으로연결된도전성콘택; 상기도전속콘택상에형성된상전이물질막; 상기상전이물질막상에형성된전도성박막; 및상기전도성박막상에형성된상부전극;을포함하는상전이메모리소자를개시한다.
-
公开(公告)号：KR1020160127858A
公开(公告)日：2016-11-07
申请号：KR1020150058667
申请日：2015-04-27
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/762 , H01L21/268 , H01L21/28 , H01L21/768
Abstract: 본발명은더미기판을이용하여웨이퍼기판에형성된다수의소자를선택적으로박리하고, 박리된소자를유연기판으로선택적으로전사하는선택적박리및 전사장치에관한것으로서, 패터닝유닛과, 경화제분사유닛과, 실장및 경화유닛과, 보호필름도포유닛과, 드릴링유닛과, 전극연결유닛을포함한다. 패터닝유닛은도전성박막이형성된유연기판에레이저빔을조사하여전극라인및 소자가실장될실장위치를형성한다. 경화제분사유닛은레이저빔이조사되면경화되는경화제를실장위치에분사한다. 실장및 경화유닛은더미기판에부착된소자와실장위치를정렬하여소자를실장위치에실장하고, 경화제에레이저빔을조사하여소자를유연기판에고정시킨다. 보호필름도포유닛은소자및 유연기판의상면에보호필름을도포한다. 드릴링유닛은레이저빔을조사하여, 소자의제1전극부와, 전극라인중 제1전극부와전기적으로연결될제1전극라인과, 소자의제2전극부와, 전극라인중 제2전극부와전기적으로연결될제2전극라인상측의보호필름을관통하는관통홀을각각형성한다. 전극연결유닛은관통홀을통해제1전극부와제1전극라인을전기적으로연결하고, 관통홀을통해제2전극부와제2전극라인을전기적으로연결한다.
-
公开(公告)号：KR101615117B1
公开(公告)日：2016-04-26
申请号：KR1020140093010
申请日：2014-07-23
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은그래핀의결함검출장치, 결함검출방법및 그래핀의결함검출의기준이되는그래핀결함검출지표의산출방법에관한것으로, 본발명에따른그래핀결함검출장치는그래핀에백색광을조사하는백색광원; 상기그래핀의가시광이미지를촬상하는디지털카메라; 및상기디지털카메라의이미지를입력받아, 상기이미지의픽셀별상대휘도를기반으로그래핀의결함유무, 결함의종류및 결함위치를판단하는판단부;를포함한다.
-
公开(公告)号：KR1020160044336A
公开(公告)日：2016-04-25
申请号：KR1020140139245
申请日：2014-10-15
IPC: G01Q60/24
Abstract: 본발명의원자분해능변형분포측정장치는 AFM 시스템을이용하여분해능을높여저비용으로원자스케일의변형률을측정할수 있도록한 것으로서, 레이저빔을발생시키는레이저광원; 원자간력에의해변형이발생되도록측정시편또는기준시편에근접하게배치되는제1캔틸레버및 제2캔틸레버; 레이저빔이상기제1캔틸레버및 상기제2캔틸레버에순차적으로반사되도록하며, 상기제1캔틸레버및 상기제2캔틸레버가상점위치에배치되도록레이저빔의광경로를조절하는광학계; 상기제2캔틸레버에서반사된레이저빔을관측하는관측부; 그위에측정시편또는기준시편이놓여지며, X, Y, Z 3축방향으로이동가능하게형성되는스테이지; 를포함하여이루어진다.
Abstract translation: 本发明涉及使用原子力测量变形分布的装置，以低成本测量高分辨率的原子尺度的变形率。 该装置包括：产生激光束的激光光源; 靠近测量样品或参考样品的第一悬臂和第二悬臂，以产生由于原子力引起的变形; 连续地将激光束反射在第一悬臂和第二悬臂上的光学系统，控制激光束的光路以将第一悬臂和第二悬臂布置在存储器的位置; 观察部分，其观察反射在第二悬臂上的激光束; 以及放置在测量样品或参考样品上的阶段，移动到X，Y和Z的三个轴向。
-
公开(公告)号：KR101605819B1
公开(公告)日：2016-03-24
申请号：KR1020140135527
申请日：2014-10-08
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: Y02E60/13 , H01G11/26 , C01B32/182 , H01G11/36 , H01G11/86
Abstract: 본발명의원자층적층슈퍼커패시터는서로마주보도록배치된한 쌍의집전체; 및상기한 쌍의집전체사이에배치되며전기이중층이형성되는표면적을넓히기위해주름구조를갖는전극구조물;을포함하여이루어짐으로써, 에너지밀도및 출력밀도를극대화시킨원자층적층슈퍼커패시터및 이의제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及原子层叠式超级电容器及其制造方法。 原子层叠型超级电容器包括彼此面对的一对集电体; 以及电极结构，其布置在集电体之间并具有用于加宽形成双电层的表面积的皱纹结构。 能量密度和输出密度最大化。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
208
records
(took 0.032 seconds)
