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公开(公告)号：KR1020170099454A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：KR1020160021344
申请日：2016-02-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01L1/18 , G01L1/22 , H01L21/768 , H01L21/56 , H01L21/3213
CPC classification number: G01L9/0054 , G01L9/0045
Abstract: 그의내부에캐비티를갖는기판, 상기기판내에배치되고, 상기캐비티를둘러싸는격벽, 상기기판의상기상면상에배치되고, 상기캐비티의상단을덮는기판절연층, 상기기판절연층상에배치되는감지부, 및상기기판절연층상에배치되어상기감지부를덮는봉지층을포함하는압력센서를제공하되, 상기캐비티는상기기판의상면으로부터하면을향하여형성되고, 상기격벽은상기캐비티에의해노출되는내측벽을갖고, 상기감지부의적어도일부는평면적으로상기캐비티와중첩될수 있다.
Abstract translation: 具有在其内部的腔室的基板，布置在基板上，围绕空腔，所述分隔壁设置在基板服装蒸汽的一侧，覆盖空腔层的顶部的绝缘基板，感测被布置在所述衬底绝缘层部分上， 和设置在基底绝缘层上，但提供了一个压力传感器，其包括覆盖所述检测的密封层，该空腔朝向如果从衬底的上表面，所述分隔壁具有由空腔露出的内壁上形成 在平面图中，感测部分的至少一部分可以与空腔重叠。
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公开(公告)号：KR1020110020063A
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：KR1020090077760
申请日：2009-08-21
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/02
CPC classification number: G01J5/20
Abstract: PURPOSE: An infrared detection sensor and a manufacturing method thereof are provided to improve a thermal insulation property of a sensor structure by a narrow support arm with low conductivity, thereby increasing sensitivity of the infrared detection sensor. CONSTITUTION: A metal pad(220a) and a reflective film(220b) are formed on a substrate. A sensor structure(200a) is separated from the reflective film. The sensor structure comprises a sensing film(260), a lower protective film(240), and an upper protective film(270). An anchor(200b) has a fixed thickness on the metal pad. A support arm(200c) is expanded from the anchor to support the sensor structure.
Abstract translation: 目的：提供一种红外线检测传感器及其制造方法，以通过具有低导电性的窄支撑臂改善传感器结构的绝热性能，从而提高红外线检测传感器的灵敏度。 构成：在基板上形成金属焊盘（220a）和反射膜（220b）。 传感器结构（200a）与反射膜分离。 传感器结构包括感测膜（260），下保护膜（240）和上保护膜（270）。 锚（200b）在金属垫上具有固定的厚度。 支撑臂（200c）从锚固体扩展以支撑传感器结构。
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公开(公告)号：KR100964970B1
公开(公告)日：2010-06-21
申请号：KR1020070082558
申请日：2007-08-17
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: B81B7/00 , H01L21/304 , B81C1/00
CPC classification number: B81B3/001 , B81C2201/115
Abstract: 본 발명은 3 차원 멤즈 미세구조체를 구비하는 멤즈 소자가 구조체 기판 또는 건조판에 고착되는 것을 방지하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 미세구조체와 구조체 기판 사이에 존재하는 세척액을 제거하면서 발생하는 표면장력으로 미세구조체가 기판에 고착되는 현상을 방지하기 위해 건조판; 및 세척액 제거를 위해 상부에 위치하는 미세구조체로부터 흘러나오는 세척액이 배출되도록 상기 건조판 상부 면에 소정의 높이로 복수 개 형성되는 미세돌기를 포함하는 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치에 관한 것이다.
멤즈(MEMS), 미세구조체, 세척액, 고착방지-
公开(公告)号：KR100930590B1
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：KR1020070130698
申请日：2007-12-14
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/09 , H01L31/101
CPC classification number: G01J5/20 , B81B3/007 , B81B2201/0207 , B81B2203/0118 , G01J5/02 , G01J5/023 , G01J5/024
Abstract: 본 발명은 지지팔 구조를 갖는 적외선 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 종래 기술에 따른 2차원 구조의 지지팔을 개량한 3차원 구조의 지지팔을 갖는 적외선 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 멤스형 적외선 센서 제조 방법은, 판독회로 및 흡수구조 형성을 위한 반사층을 포함하는 기판을 제공하는 단계와, 상기 기판상에 희생층을 형성하는 단계와, 상기 희생층에 요철단면을 갖는 지지팔 구조체를 형성하는 단계와, 상기 지지팔 구조체에 의해 상기 기판과 격리되는 센서부를 형성하는 단계와, 상기 희생층을 제거하는 단계를 포함한다.
멤스, 적외선 센서, 볼로미터Abstract translation: 本发明提供一种具有悬臂结构的微辐射热测量仪及其制造方法，更具体地，提供一种从传统的二维悬臂结构改进的具有三维悬臂结构的微辐射热测定仪及其制造方法。 该方法包括：提供包括用于形成吸收结构的读出集成电路和反射层的衬底，在衬底上形成牺牲层，在牺牲层中形成具有不平坦横截面的悬臂结构，形成传感器部分 通过悬臂结构与衬底隔离，并去除牺牲层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090059771A
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：KR1020070126806
申请日：2007-12-07
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: A fabrication method of MEMS structure is provided to block the diffusion of stress or crack generated in a part of MEMS structures. A fabrication method of MEMS structure comprises a step of preparing a substrate(10), a step of forming a sacrificial layer(11) on the top of the substrate, including empty regions, and a step of forming a device in the empty region of the sacrificial layer. Lattice grooves(20) are located between the empty regions of the sacrificial layer in at least one direction, where the width of the lattice groove is 0.5~2 times the thickness of the sacrificial layer.
Abstract translation: 提供MEMS结构的制造方法来阻止在MEMS结构的一部分中产生的应力或裂纹的扩散。 MEMS结构的制造方法包括制备衬底（10）的步骤，在衬底的顶部上形成牺牲层（11）的步骤，包括空白区域，以及在空白区域中形成器件的步骤 牺牲层。 晶格槽（20）在至少一个方向上位于牺牲层的空白区域之间，栅格槽的宽度为牺牲层厚度的0.5〜2倍。
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公开(公告)号：KR1020090022152A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：KR1020070087256
申请日：2007-08-29
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: A 3D angle of inclination computing circuit is provided to measure 3D angle of inclination by using X, Y, Z vibration sensors, X, Y, Z place value acquisition units and an angle of inclination operation unit. A 3D angle of inclination computing circuit comprises the X, Y, Z vibration sensors(110,120,130) diversifying the electrostatic capacity corresponding to the X, Y, Z according to three dimensional position of a measured plane about the reference surface; X, Y, Z position value acquisition units(210,220,230) obtaining the X, Y, Z position value corresponded to the X, Y, Z electrostatic capacity; and an angle of inclination operation unit(300) computing the angle of inclination of the measured plate about the reference surface.
Abstract translation: 提供三维倾角计算电路，通过使用X，Y，Z振动传感器，X，Y，Z位置值采集单元和倾角操作单元来测量三维倾斜角。 3D倾角计算电路包括X，Y，Z振动传感器（110,120,130），根据测量平面围绕参考表面的三维位置使对应于X，Y，Z的静电电容多样化; X，Y，Z位置值获取单元（210,220,230）获得对应于X，Y，Z静电容量的X，Y，Z位置值; 并且倾斜角度操作单元（300）计算测量板围绕参考表面的倾斜角度。
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公开(公告)号：KR1020080052183A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：KR1020070043804
申请日：2007-05-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01P3/483 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802
Abstract: A capacitive accelerometer is provided to eliminate or reduce largely performance difference in a manufacturing process by keeping the gap between sensing electrodes very narrow. A sensing mass(210) is positioned apart from an upper surface of a substrate(200). The sensing mass includes a main body, a supporting spring, and a sensing electrode. A supporting plate(220) is formed to couple the sensing mass with the substrate. A reference electrode(232) is adjacent to the sensing electrode and is moved in a direction getting near to or a direction getting away from the sensing electrode. A driving unit(240) caused a movement of the reference electrode. A stopper(236) is formed to stop the movement of the reference electrode.
Abstract translation: 提供电容加速度计以通过保持感测电极之间的间隙非常窄而消除或降低制造过程中的很大程度的性能差异。 感测质量块（210）定位成离开衬底（200）的上表面。 感测质量包括主体，支撑弹簧和感测电极。 形成支撑板（220）以将传感块与衬底相耦合。 参考电极（232）与感测电极相邻，并且在接近或远离感测电极的方向上移动。 驱动单元（240）引起参考电极的移动。 形成止动件（236）以停止参考电极的移动。
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公开(公告)号：KR100799566B1
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：KR1020060034653
申请日：2006-04-17
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 금속 나노입자 화학 센서 물질 및 그를 포함하는 화학 센서를 제공한다. 본 발명에 따른 금속 나노입자 화학 센서 물질은 금속 나노입자 및 상기 금속 나노입자 표면에 결합되어 상기 금속 나노입자를 둘러싸고 있는 소수성 및 상기 금속에 비하여 상대적으로 낮은 전도도를 갖는 한 종류 이상의 리간드 분자를 포함하고, 상기 리간드 분자는 선형 또는 분지형의 포화 또는 불포화의 지방족 또는 방향족 하이드로카본인 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 금속 나노입자 화학 센서 물질 및 화학 센서는 습기에 대한 감도는 적고 표적 가스 시료에 대한 감도는 우수하므로, 습기가 많은 환경에서도 낮은 농도의 표적 가스 시료를 용이하고 정확하게 검출할 수 있다. 구체적으로, 다량의 수분을 포함하는 인체 호흡 가스에 존재하는 특정 질병 가스를 유효하게 검출함으로써 상기 특정 질병의 진단에 이용될 수 있다.
나노입자, 화학 센서, 소수성, 센서, 하이드로카본, 습기-
公开(公告)号：KR1020070061042A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：KR1020060036355
申请日：2006-04-21
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: A sensor for detecting gas and electronic nose system having the same are provided to represent an accurate output in response to gas reaction of the sensor by automatically initializing an initial output of the sensor through a resistance matching block. A sensor for detecting gas includes a sensing part(111), a resistance matching part(112), a temperature controller(113), a resistance difference detecting part(114), and an amplifier(115). The sensing part includes sensing materials varying a resistance value thereof according to gas existence and concentration and measures a change of a sensing resistance value according to the gas existence and density. The resistance matching part includes a plurality of base resistors(1121) having another resistance and automatically set the base resistance value matched to an initial sensing resistance value of the sensing part by using the plurality of base resistors. The temperature controller uniformly maintains temperature of the sensing part. The resistance difference detecting part detects a difference of a sensing resistance value of the sensing part and the set value of the base resistor. The amplifier amplifies the resistance difference received from the resistance difference detecting part and transmits an amplified value to a multiplexer(15).
Abstract translation: 提供一种用于检测气体和电子鼻系统的传感器，以通过电阻匹配块自动初始化传感器的初始输出来响应于传感器的气体反应来表示准确的输出。 用于检测气体的传感器包括感测部分（111），电阻匹配部分（112），温度控制器（113），电阻差检测部分（114）和放大器（115）。 感测部件包括根据气体存在和浓度改变其电阻值的感测材料，并且根据气体存在和密度来测量感测电阻值的变化。 电阻匹配部包括具有另一电阻的多个基极电阻（1121），并且通过使用多个基极电阻自动设定与感测部的初始感测电阻值相匹配的基极电阻值。 温度控制器均匀地保持感测部件的温度。 电阻差检测部检测感测部的感测电阻值与基本电阻的设定值的差。 放大器放大从电阻差检测部分接收的电阻差，并将放大的值发送到多路复用器（15）。
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