-
公开(公告)号：KR1020140136671A
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：KR1020130056994
申请日：2013-05-21
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/26
Abstract: 본 발명은 증발 증착 장치를 제공한다. 이 증발 증착 장치는 연결통로를 통하여 증발물질을 제공하는 증발부, 복수의 구멍을 포함하고 구멍을 통하여 증발 물질을 진공 용기의 내부에 토출하는 분배부, 진공 용기의 개구부의 주위에 장착되고 진공 용기에서 돌출되도록 배치되고 증발부 및 분배부를 감싸는 유전체부, 증발부 및 분배부를 감싸고 증발부 및 분배부를 유도 가열하는 유도 코일, 및 유도 코일에 교류를 제공하는 교류 전원을 포함한다.
Abstract translation: 提供一种蒸镀装置。 蒸发沉积装置包括通过连接路径提供沉积材料的蒸发部件，包括孔的分配部件，并且通过该孔将沉积材料注入真空室，安装在真空的周边部分的介质部分 并且从腔室突出并且包围蒸发部分和分配部分，围绕蒸发部分和分配部分并感应加热蒸发部分和分配部分的感应线圈，以及向该蒸发部分和分配部分提供AC的AC电源 感应线圈。
-
公开(公告)号：KR1020140132050A
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：KR1020130051027
申请日：2013-05-07
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H05H1/46
CPC classification number: H01J37/3211 , H01J37/32183 , H01Q1/366 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2001/4682
Abstract: 본 발명은 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체를 제공한다. 이 안테나 구조체는 접지 전극판, 접지 전극판의 측면에 연결되고 접지 전극판의 주위에 배치된 유도 결합 안테나, 및 유도 결합 안테나에 전력을 분배하는 전력 분배부를 포함한다. 유도 결합 안테나는 접지 전극판에 각각 연결되고 접지 전극판의 중심을 기준으로 제1 사분면 내지 제4 사분면에 각각 배치된 제1 내지 제4 보조 안테나들을 포함한다. 제2 보조 안테나는 제1 보조 안테나가 시계방향으로 90도 회전한 형상으로 배치된다. 보조 안테나는 홀수 개의 안테나 브랜치들 및 안테나 브랜치들을 서로 연결하는 안테나 연결부들을 포함한다. 이웃한 안테나 브랜치들의 전류는 서로 반대 방향으로 흐른다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于产生电感耦合等离子体的天线结构。 天线结构包括：接地电极板，与接地电极板侧连接并且设置在接地电极板周围的电感耦合天线;以及将电力分配给电感耦合天线的配电单元。 电感耦合天线包括连接到接地电极板的第一至第四辅助天线，并且基于接地电极板的中心布置在第一至第四象限上。 第二辅助天线布置成使得第一辅助天线顺时针旋转90度的形状。 辅助天线包括连接天线分支的奇数天线分支和天线连接部分。 相邻天线分支的电流沿相反的方向流动。
-
公开(公告)号：KR101456549B1
公开(公告)日：2014-10-31
申请号：KR1020120099710
申请日：2012-09-10
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은 플라즈마 도움 화학 기상 증착 장치 및 방법을 제공한다. 이 장치는 기판을 장착하는 기판 홀더를 포함하는 진공 챔버, 일단은 진공 챔버의 상부면에 형성된 관통홀에 장착되는 유전체 튜브, 유전체 튜브를 감싸도록 배치되고 RF 전력을 제공받아 유전체 튜브의 내부에 플라즈마를 생성하는 플라즈마 발생부, 및 유전체 튜브에 금속 증기를 제공하는 증발원을 포함한다. 금속 증기는 플라즈마를 통과하여 기판에 제공되어 금속-질화막 또는 금속-산화막을 형성한다.
-
公开(公告)号：KR1020140033641A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：KR1020120099710
申请日：2012-09-10
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/205
Abstract: The present invention relates to a plasma enhanced chemical vapor deposition apparatus and a method thereof. The apparatus includes a vacuum chamber including a substrate holder for mounting a substrate, a dielectric tube of which end is mounted in a through hole formed on the upper surface of the vacuum chamber, a plasma generation part surrounding the dielectric tube and generating plasma in the dielectric tube by receiving RF power, and a vapor source supplying metallic vapor to the dielectric tube. A metal-nitride layer or a metal-oxide layer is formed by supplying the metallic vapor passing through the plasma to the substrate. [Reference numerals] (AA) First gas; (BB) Second gas
Abstract translation: 等离子体增强化学气相沉积装置及其方法技术领域本发明涉及一种等离子体增强化学气相沉积装置及其方法。 该装置包括：真空室，包括用于安装基板的基板保持器，其端部安装在形成在真空室的上表面上的通孔中的电介质管;围绕电介质管的等离子体产生部件， 通过接收RF功率的介质管，以及向介质管提供金属蒸气的蒸汽源。 通过将通过等离子体的金属蒸气供给到基板来形成金属氮化物层或金属氧化物层。 （附图标记）（AA）第一气体; （BB）第二气体
-
公开(公告)号：KR1020140022356A
公开(公告)日：2014-02-24
申请号：KR1020130154856
申请日：2013-12-12
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C14/26 , C23C14/243 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: The present invention provides an evaporation deposition device. The device comprises: an inlet for receiving steam; a baffle arranged around the inlet to convert the direction of the steam; a spherical or oval cavity for reflecting the steam; an integrating sphere having an outlet for radially discharging the steam reflected or scattered from the cavity at multiple times using point sources; a crucible for storing evaporated substances inside and supplying the steam evaporated through a first opening part to an inlet of the integrating sphere; and a heating part arranged to surround the integrating sphere and the crucible to heat the integrating sphere and the crucible. The integrating sphere is formed of a conductive material. The evaporated substances are scattered because the inner surface of the cavity is rough.
Abstract translation: 本发明提供蒸发沉积装置。 该装置包括：用于接收蒸汽的入口; 围绕入口设置的挡板以转换蒸汽的方向; 用于反射蒸汽的球形或椭圆形腔; 积分球具有用于使用点源多次使从空腔反射或散射的蒸汽径向排出的出口; 用于将蒸发的物质储存在内并将通过第一开口部分蒸发的蒸汽供给到积分球的入口的坩埚; 以及加热部，其被配置成围绕积分球和坩埚，以加热积分球和坩埚。 积分球由导电材料形成。 蒸发的物质由于腔的内表面粗糙而分散。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020140020045A
公开(公告)日：2014-02-18
申请号：KR1020120086404
申请日：2012-08-07
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01L23/145 , H01L2224/76171 , H01L2924/12044 , Y02B20/36
Abstract: Provided is an evaporation deposition apparatus comprising: a vacuum chamber including a substrate; a crucible which is arranged outside the vacuum chamber and which stores an evaporation substance; a first induction coil for induction-heating the crucible; a first AC power source for applying AC power to the first induction coil; a conductive guide pipe for connecting a first opening formed on the first crucible to a second opening formed on the vacuum chamber; a second induction coil for wrapping and inducting-heating the guide pipe; and a second AC power source for applying AC power to the second induction coil.
Abstract translation: 提供一种蒸发沉积设备，包括：真空室，其包括基板; 坩埚，其布置在真空室的外部并储存蒸发物质; 用于感应加热坩埚的第一感应线圈; 用于向所述第一感应线圈施加AC电力的第一AC电源; 用于将形成在第一坩埚上的第一开口连接到形成在真空室上的第二开口的导电引导管; 第二感应线圈，用于对引导管进行包裹和感应加热; 以及用于向第二感应线圈施加AC电力的第二AC电源。
-
公开(公告)号：KR101324990B1
公开(公告)日：2013-11-04
申请号：KR1020110089172
申请日：2011-09-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 플라즈마 측정 장치 및 플라즈마 측정 방법을 제공한다. 이 장치는 플라즈마 내부에 삽입되고 전자기파를 발산하는 송신 안테나, 플라즈마 내부에 삽입되고 송신 안테나와 나란히 배치되는 수신 안테나, 가변 주파수를 안테나에 송신 안테나에 제공하고, 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 전기적 특성을 측정하여 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 임피던스를 출력하는 네트워크 분석부, 및 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 임피던스를 분석하여 전자-중성 충돌 주파수를 산출하는 처리부를 포함한다.
-
公开(公告)号：KR1020130118464A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：KR1020120041339
申请日：2012-04-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B82B3/00 , B01J19/08 , C23C16/515
Abstract: PURPOSE: A device for synthesizing nanoparticles is provided to easily synthesize various nanoparticles by using an electromagnetic levitation method, a plasma synthesis method, and an evaporation method. CONSTITUTION: A device for synthesizing nanoparticles (100) comprises a dielectric tube (110), an electromagnetic levitation coil (120), a conductive raw material (02), a levitation power source (130), a first gas supply part (116), a process chamber (140), an RF electrode (142), and a process RF power source (144). The electromagnetic levitation coil is wound around the dielectric tube. The conductive raw material is levitated, heated and evaporated by the electric levitation coil. The levitation power source provides power to the electromagnetic levitation coil. The first gas supply part is placed at the end of the dielectric tube. The process chamber is connected to the other end of the dielectric tube. The RF electrode is placed inside the process chamber. The process RF power source forms plasma by providing RF power to the RF electrode. First nanoparticles generated by the evaporation of the conductive raw material move to the process chamber and are treated by the plasma. [Reference numerals] (AA) First gas; (BB) Second gas
Abstract translation: 目的：提供一种用于合成纳米颗粒的装置，通过使用电磁悬浮法，等离子体合成法和蒸发法容易地合成各种纳米颗粒。 构成：用于合成纳米颗粒（100）的装置包括介电管（110），电磁悬浮线圈（120），导电原料（02），悬浮动力源（130），第一气体供应部分（116） ，处理室（140），RF电极（142）和工艺RF电源（144）。 电磁悬浮线圈缠绕在电介质管周围。 导电原料由电动悬浮线圈悬浮，加热和蒸发。 悬浮电源为电磁悬浮线圈提供电力。 第一气体供应部分放置在电介质管的端部。 处理室连接到电介质管的另一端。 RF电极放置在处理室内。 过程RF电源通过向RF电极提供RF功率来形成等离子体。 通过导电原料的蒸发而产生的第一纳米颗粒移动到处理室并且被等离子体处理。 （附图标记）（AA）第一气体; （BB）第二气体
-
公开(公告)号：KR101225010B1
公开(公告)日：2013-01-22
申请号：KR1020110071352
申请日：2011-07-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H05H1/00 , H01L21/3065 , H05H1/46 , C23C16/50
CPC classification number: H05H1/0081 , H01J37/321 , H01J37/32165 , H01J37/32935
Abstract: PURPOSE: A super-high frequency probe is provided to obtain the accurate plasma density even in a discharging plasma condition difficult to measure by using the same type of radiation antenna with the existing rod antenna. CONSTITUTION: A super-high frequency probe(100) comprises a rod shaped radiation antenna(112) for emitting super high frequency which scans a frequency inside a plasma and a receiving antenna(114) which receives an electromagnetic wave radiated from the radiation antenna. The receiving antenna is inserted inside the plasma. The receiving antenna receives an electromagnetic wave radiated from the radiation antenna with a loop-shaped which covers the surrounding of the radiation antenna. A plasma is formed by an energy approval unit(136) inside the chamber. A power(132) can provide power to the energy approval unit. A chamber(131) can include a substrate holder(138), and a substrate(137) mounted on the substrate holder. [Reference numerals] (AA) Plasma
Abstract translation: 目的：提供超高频探头，即使在使用与现有的棒状天线相同类型的辐射天线难以测量的放电等离子体状态下也能获得准确的等离子体密度。 构成：超高频探头（100）包括用于发射扫描等离子体内的频率的超高频的棒状辐射天线（112）和接收从辐射天线辐射的电磁波的接收天线（114）。 接收天线插入等离子体内。 接收天线接收从辐射天线辐射的电磁波，其具有覆盖辐射天线周围的环形。 等离子体由室内的能量认可单元（136）形成。 电源（132）可以向能量认可单元提供电力。 室（131）可以包括衬底保持器（138）和安装在衬底保持器上的衬底（137）。 （标号）（AA）等离子体
-
公开(公告)号：KR101142308B1
公开(公告)日：2012-05-17
申请号：KR1020090085552
申请日：2009-09-10
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A plasma monitoring device, a plasma monitoring method, and a plasma device are provided to measure a cutoff frequency or electron density by measuring the phase of an electromagnetic wave passing through plasma. CONSTITUTION: A transmission antenna(120) is inserted into plasma in order to radiate an electromagnetic wave. A reception antenna(140) is inserted into plasma. The receiving antenna supplies a reception electric signal by receiving the electromagnetic wave. A variable frequency oscillator(20) is electrically connected to the transmission antenna and supplies a transmission electric signal to generate the electromagnetic wave. A phase difference extracting unit(30) is connected to the reception antenna. The phase difference extracting unit extracts the phase difference spectrum of the transmission electric signal and the reception electric signal.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
63
records
(took 0.028 seconds)
