Abstract:
단극성 저항변화 메모리 소자로서, 하부전극; 상기 하부전극 상의 산화물층; 및 상기 산화물층 상의 상부전극을 포함하며, 하부전극 또는 상부전극과 상기 산화물층 사이의 계면에는 절연 나노구조가 적어도 하나 이상 형성된 것을 특징으로 하는 단극성 저항변화 메모리 소자가 제공된다.
Abstract:
PURPOSE: A phase change memory device, a flexible phase change memory device, and a manufacturing method thereof using insulated nano particles are provided to reduce a reset current by decreasing a contact area between a phase change layer and an electrode. CONSTITUTION: A brush layer(11) is laminated on a substrate(10). The coated brush layer is coated with block copolymer solutions. A coated block copolymer(12) is self-assembled by an annealing process. A specific polymer block(13) is removed among the self-assembled block copolymer by patterning process.