유기 용매 증기를 이용한 접착력 제어 방식의 나노 구조체 제조 방법 및 나노 전사 프린팅 방법
    63.
    发明授权
    유기 용매 증기를 이용한 접착력 제어 방식의 나노 구조체 제조 방법 및 나노 전사 프린팅 방법 有权
    基于使用溶剂蒸气的粘附控制和使用其的纳米转印印刷制造纳米结构的方法

    公开(公告)号:KR101632504B1

    公开(公告)日:2016-06-21

    申请号:KR1020140159159

    申请日:2014-11-14

    Abstract: 패턴이형성된템플릿기판상에고분자박막을코팅하는단계; 상기고분자박막에접착필름을접착시켜상기템프릿기판으로부터떼어냄으로써상기고분자박막을복제박막몰드로제작하는단계; 상기복제박막몰드상에기능성물질을증착하여나노구조체를형성하는단계; 및유기용매증기를이용하여상기접착필름과상기복제박막몰드간접착력을선택적으로약화시키는단계;를포함하는것을특징으로하는나노구조체제조방법이제공된다.

    절연 나노입자를 이용한 상변화 메모리 소자, 플렉서블 상변화 메모리 소자 및 그 제조방법
    65.
    发明公开
    절연 나노입자를 이용한 상변화 메모리 소자, 플렉서블 상변화 메모리 소자 및 그 제조방법 有权
    相变存储器件,使用绝缘NANO-DOT的柔性相变存储器件及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020120095602A

    公开(公告)日:2012-08-29

    申请号:KR1020110015021

    申请日:2011-02-21

    Abstract: PURPOSE: A phase change memory device, a flexible phase change memory device, and a manufacturing method thereof using insulated nano particles are provided to reduce a reset current by decreasing a contact area between a phase change layer and an electrode. CONSTITUTION: A brush layer(11) is laminated on a substrate(10). The coated brush layer is coated with block copolymer solutions. A coated block copolymer(12) is self-assembled by an annealing process. A specific polymer block(13) is removed among the self-assembled block copolymer by patterning process.

    Abstract translation: 目的:提供相变存储器件,柔性相变存储器件及其使用绝缘纳米粒子的制造方法,通过减小相变层和电极之间的接触面积来减小复位电流。 构成:将刷层(11)层叠在基板(10)上。 涂覆的刷层涂覆有嵌段共聚物溶液。 涂覆的嵌段共聚物(12)通过退火工艺自组装。 通过图案化方法在自组装嵌段共聚物中除去特定的聚合物嵌段(13)。

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