公开(公告)号：KR1020030077791A

公开(公告)日：2003-10-04

申请号：KR1020020016681

申请日：2002-03-27

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이춘섭 ,  이재덕 ,  황치호 ,  한철희

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81C1/00015 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/03 ,  B81B2201/031 ,  B81B2203/0136 ,  B81C1/00349 ,  B81C1/00388 ,  B81C1/00555

Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a micro-sized driving device is provided to drive the micro-sized driving device with low operating voltage by allowing electrodes having a comb shape to have fine interval. CONSTITUTION: A substrate is firstly prepared. Then, a first oxide layer, a first silicon layer, a second oxide layer, a nitride layer and a third oxide layer are sequentially deposited on the substrate. A first electrode pattern is formed on the third oxide layer by using a photosensitive film. The third oxide layer, the nitride layer, the second oxide layer and the first silicon layer are etched along the first electrode pattern in order to expose the first oxide layer, thereby obtaining a first electrode having a plurality of fingers. An oxide layer is formed at a lateral portion of the first electrode. Then, a second electrode is formed by etching a fourth oxide layer and a second silicon layer formed on the second silicon layer. After that, the first oxide layer, the second oxide layer, the lateral oxide layer, the fourth oxide layer and the nitride layer are removed, thereby achieving a micro-sized driving device.

Abstract translation: 目的：提供一种制造微型驱动装置的方法，通过允许具有梳形形状的电极具有精细的间隔来驱动具有低工作电压的微型驱动装置。 构成：首先制备底物。 然后，在衬底上依次沉积第一氧化物层，第一硅层，第二氧化物层，氮化物层和第三氧化物层。 通过使用感光膜在第三氧化物层上形成第一电极图案。 沿着第一电极图案蚀刻第三氧化物层，氮化物层，第二氧化物层和第一硅层，以暴露第一氧化物层，从而获得具有多个指状物的第一电极。 在第一电极的侧部形成氧化物层。 然后，通过蚀刻形成在第二硅层上的第四氧化物层和第二硅层来形成第二电极。 之后，去除第一氧化物层，第二氧化物层，横向氧化物层，第四氧化物层和氮化物层，从而实现微型驱动装置。

公开(公告)号：KR1020020088925A

公开(公告)日：2002-11-29

申请号：KR1020010028002

申请日：2001-05-22

Applicant: 엘지전자 주식회사

Inventor： 신진국

IPC: B81B3/00 ,  B82Y20/00

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B2201/03 ,  B82Y20/00 ,  C01B32/158

Abstract: PURPOSE: An energy converting device and actuator is provided to transmit energy through a wireless energy supply system in micro electromechanical system, by converting optical energy into mechanical energy. CONSTITUTION: An energy converting device generates light-induced elastic deformation to a bundle type single wall carbon nanotube by radiating light to the carbon nanotube, and converts optical energy into mechanical energy by the deformation force. An actuator generates light-induced elastic deformation to a bundle type single wall carbon nanotube by radiating light to the carbon nanotube, and obtains driving force from the deformation force. The carbon nanotube is arranged in a vertical direction at a surface of a rotatable wheel, and has a window for radiating light to the carbon nanotube. Thus, light-induced elastic deformation is generated at the carbon nanotube. A substrate is arranged in a radial direction at the surface of the rotatable wheel, and the carbon nanotube is arranged in the direction vertical to the substrate.

Abstract translation: 目的：通过将光能转化为机械能，提供能量转换装置和致动器以通过微机电系统中的无线能量供应系统传输能量。 构成：能量转换装置通过向碳纳米管辐射光而向束型单壁碳纳米管产生光诱导的弹性变形，并且通过变形力将光能转换成机械能。 致动器通过向碳纳米管照射光而向束型单壁碳纳米管产生光诱导的弹性变形，并从变形力获得驱动力。 碳纳米管在可旋转轮的表面上沿垂直方向排列，并且具有用于向碳纳米管照射光的窗口。 因此，在碳纳米管处产生光诱导的弹性变形。 基板沿可旋转轮的表面沿径向布置，并且碳纳米管沿垂直于基板的方向排列。

公开(公告)号：KR1020060066266A

公开(公告)日：2006-06-16

申请号：KR1020040104811

申请日：2004-12-13

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 조영호 ,  한원 ,  진영현

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B3/0035 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/03

Abstract: 본 발명은 디지털 신호에 따라 다양한 아날로그 변위를 출력하는 구동기로서, 상기 디지털 신호에 따라 개별적으로 동작하는 복수개의 입력 질량체, 상기 복수개의 입력 질량체의 합력에 따라 변위를 출력하는 출력 질량체, 및 상기 복수개의 입력 질량체와 상기 출력 질량체를 각각 연결하는 복수개의 탄성부재를 포함하고, 상기 복수개의 입력 질량체는 상기 복수개의 탄성부재를 매개로 각기 다른 크기의 구동력을 상기 출력 질량체에 전달하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성된 디지털-아날로그 변환 미소기계 구동기는 구동력의 크기가 다른 다수의 디지털 입력 구동기의 조합을 이용하여 예측 가능한 고정밀도 아날로그 출력변위를 손쉽게 얻을 수 있다.

公开(公告)号：KR1020060036570A

公开(公告)日：2006-05-02

申请号：KR1020040085569

申请日：2004-10-26

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 조영호 ,  한원 ,  진영현

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B3/0035 ,  B81B2201/03

Abstract: 본 발명은 입력부와 출력부를 갖는 미소기계 구동기로서, 상기 입력부에 배치되어 외부신호에 따라 구동되는 복수개의 입력용 질량체, 상기 출력부에 배치되는 복수개의 출력용 질량체, 상기 입력용 질량체와 상기 출력용 질량체를 일대일로 연결하는 제1 탄성체, 상기 제1 탄성체가 병렬로 연결된 형태로 이루어져 상기 복수개의 출력용 질량체를 서로 연결하는 제2 탄성체, 및 상기 출력용 질량체와 상기 구동기의 지지부를 연결하는 부하탄성체를 포함하고, 상기 부하탄성체는 제조공정오차에 강인하도록 설계되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성된 미소기계 구동기는 제조공정오차에 대한 출력오차가 거의 발생하지 않고 소재물성에 무관한 출력변위를 얻을 수 있으므로 미소 구조물의 고정도 위치제어나 미소물질의 고정도 조작 등에 사용될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050037632A

公开(公告)日：2005-04-25

申请号：KR1020030072856

申请日：2003-10-20

Applicant: 동부일렉트로닉스 주식회사

Inventor： 박건욱

IPC: B81B7/02

CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B3/0075 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/03 ,  B81C1/00198

Abstract: 본 발명은 회전 구동기에 관한 것으로, 보다 자세하게는 MEMS 기술을 이용한 마이크로 소자의 새로운 동력 발생 장치로서 정전기적인 힘을 이용하여 회전 운동을 하여 운행 거리를 얻을 수 있고, 또한 정전기적인 힘을 이용함으로써 빠른 반응 속도를 얻을 수 있는 회전 구동기에 관한 것이다.
본 발명의 상기 목적은 실리콘 기판의 상부에 형성된 절연층, 상기 절연층의 상부에 형성된 원형의 마모 방지판, 상기 마모 방지판의 중심 상부에 형성된 회전축, 상기 회전축과 이격되어 상기 마모 방지판의 상부에 형성된 회전부, 상기 회전부와 이격되어 상기 절연층의 상부에 형성된 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 구동기에 의하여 달성된다.
따라서, 본 발명의 회전 구동기는 정전기적인 힘을 이용하여 반원 이동이 가능하며, 암의 길이를 조절함으로써 암 끝의 운동 거리를 신축적으로 조절할 수 있다. 또한 회전부의 회전에 의한 운동을 이용함으로써 운행 거리에 비하여 구동 장치의 면적이 적고, 정전기적인 힘을 이용하므로 반응 속도가 빠른 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020030034609A

公开(公告)日：2003-05-09

申请号：KR1020010066261

申请日：2001-10-26

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 문성욱 ,  채경수 ,  강호관

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B2201/03 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/05

Abstract: PURPOSE: A large displacement operating type actuator is provided to obtain a large displacement by arranging the actuator to operate at the region having a sub micro spacing. CONSTITUTION: A large displacement operating type actuator comprises a fixed electrode(100) for generating displacement at a fixed state; a movable electrode(200) protruded from the front end of a supporting beam(210) and coupled to the fixed electrode so as to generate displacement when the actuator is in operation; and a sub micro gap(400) formed between the electrodes in the portion where the supporting beam of the movable electrode is coupled, when the fixed electrode and the movable electrode are coupled with each other and operate.

Abstract translation: 目的：提供大排量操作型致动器，通过将致动器布置在具有亚微间距的区域上来获得大的位移。 构成：大排量操作型致动器包括用于在固定状态下产生位移的固定电极（100） 从所述支撑梁（210）的前端突出并联接到所述固定电极的可动电极（200），以在所述致动器运行时产生位移; 以及当固定电极和可动电极彼此耦合并且操作时，在可动电极的支撑梁的部分中的电极之间形成的子微间隙（400）。

公开(公告)号：KR20180026351A

公开(公告)日：2018-03-12

申请号：KR20170111744

申请日：2017-09-01

Applicant: IMMERSION CORP

Inventor： KHOSHKAVA VAHID ,  CRUZ HERNANDEZ JUAN MANUEL ,  LEVESQUE VINCENT

IPC: G06F3/01 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/193

CPC classification number: F03G7/065 ,  B06B1/0688 ,  B81B7/0083 ,  B81B2201/03 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/032 ,  C22F1/006 ,  G06F3/016

Abstract: 햅틱작동기디바이스는국부화된온도변화들에응답하는기계적특성을갖는표면을포함한다. 이표면은형상-기억재료를포함하는층 또는시트를포함할수 있다. 햅틱작동기디바이스는시트내의복수의영역을선택적으로변형시키도록구성된작동기; 및복수의영역의온도들을제어하도록적응된온도제어기를더 포함할수 있다. 국부화된작동의방법은복수의영역의온도들을형상-기억재료의형상-기억전이온도위로되도록선택적으로제어하는단계; 영역들중 적어도하나의영역을선택적으로변형시키는단계; 적어도하나의영역의변형을유지하면서, 적어도하나의영역의온도를형상-기억전이온도아래로낮추는단계; 후속적으로가해진응력을중단시키는단계; 및그 이후에적어도하나의영역을형상-기억전이온도위로가열하여, 영역을그것의변형전 형상으로복귀시키는단계를포함한다.

Abstract translation: 触觉致动器装置包括具有响应于局部温度变化的机械特性的表面。 表面可以包括包含形状记忆材料的层或片。 触觉致动器装置可进一步包括致动器，致动器构造成选择性地使片材中的多个区域变形; 以及适于控制多个区域的温度的温度控制器。 局部致动的方法包括选择性地将多个区域的温度控制在形状记忆材料的形状记忆转变温度以上; 选择性地使至少一个区域变形; 同时保持所述至少一个区域的变形，将所述至少一个区域的温度降低到低于形状记忆转变温度; 随后撤回施加的应力; 然后将该至少一个区域加热到高于形状记忆转变温度，使该区域恢复到其预变形形状。

公开(公告)号：KR1020140147163A

公开(公告)日：2014-12-30

申请号：KR1020130067308

申请日：2013-06-12

Applicant: 삼성전기주식회사

Inventor： 이정원 ,  김종운 ,  한승훈 ,  최민규

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5621

CPC classification number: B81B3/0035 ,  B81B3/0018 ,  B81B2201/03 ,  B81C1/00 ,  G01C19/5621

Abstract: An MEMS component according to the present invention comprises: a membrane; a weight body connected to the membrane; and a support part which is connected to the membrane and supports the weight body in a floating state to be displaced. The membrane has an insulating adhesion layer in the center. An upper electrode and an upper piezoelectric body are arranged on one side of the membrane, and a lower electrode and a lower piezoelectric body are arranged on the other side of the membrane.

Abstract translation: 根据本发明的MEMS部件包括：膜; 连接到所述膜的重量体; 以及支撑部分，该支撑部分连接到膜并且以浮动状态支撑重量体以被移位。 该膜在中心具有绝缘粘合层。 上部电极和上部压电体布置在膜的一侧上，下部电极和下部压电体布置在膜的另一侧上。

公开(公告)号：KR1020140026353A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：KR1020137017368

申请日：2011-12-06

Applicant: 제너럴 일렉트릭 캄파니

Inventor： 애릭메흐멧 ,  거소이무스타파 ,  페트로스키제임스

IPC: B81B3/00 ,  H05K7/20 ,  H01L23/467 ,  F04B43/00

CPC classification number: F04B43/046 ,  F04B43/0027 ,  F04B45/047 ,  H01L23/4735 ,  H01L2224/48091 ,  B81B3/0018 ,  B81B3/0035 ,  B81B2201/03 ,  H01L23/467 ,  H05K7/20 ,  H01L2924/00014

Abstract: 합성 제트 장치는 하우징, 외부 전원과 통신하도록 구성된, 하우징 내의 커넥터, 하우징 내의 구동기 전자회로, 하우징 내의 제 1 멤브레인, 및 하우징 내의 제 2 멤브레인을 포함한다.

Abstract translation: 合成喷射装置包括壳体，壳体内的连接器，构造成与外部电源连通，壳体内的驱动器电子元件，壳体内的第一膜，以及壳体内的第二膜。

公开(公告)号：KR1020090105965A

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：KR1020097016626

申请日：2008-01-10

Applicant: 캐논 가부시끼가이샤

Inventor： 칸도리아츠시 ,  장치엔리우

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2201/03

Abstract: A structural member having a plurality of conductive regions electrically insulated from each other, in which the plurality of conductive regions are electrically insulated from each other by continuous oxidized regions, and the oxidized regions are each formed of an oxide made of a material having a plurality of through holes or trenchs formed therein.

Abstract translation: 一种结构构件，其具有多个导电区域，所述多个导电区域彼此电绝缘，其中所述多个导电区域通过连续氧化区域彼此电绝缘，并且所述氧化区域由氧化物形成，所述氧化物由具有多个 的通孔或沟槽形成。