热处理二氧化硅‑氧化钛玻璃来诱导Tzc梯度

    公开(公告)号:CN106061910A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201580010800.4

    申请日:2015-02-24

    CPC classification number: C03B32/00 C03B19/1453 C03B25/02 C03B2201/42

    Abstract: 提供了在二氧化硅‑氧化钛玻璃制品中形成Tzc(零交叉温度)梯度的方法和设备。所述方法包含使玻璃制品(14)的第一表面接触加热设备(40)的第一加热模块(22)的表面,并使玻璃制品(14)的第二表面接触加热设备(40)的第二加热模块(26)的表面。所述方法还包括将第一加热模块的温度升高到第一温度,将第二加热模块的温度升高到第二温度,且将第一加热模块在第一温度下以及将第二加热模块在第二温度下保持预定时间段,从而形成在整个玻璃制品中的热梯度,其中第一温度高于第二温度。所述方法还包括冷却玻璃制品,以形成在玻璃制品整个厚度中的Tzc梯度。

    掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法

    公开(公告)号:CN101639624B

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN200910158613.7

    申请日:2009-07-07

    Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法,该石英玻璃元件具有反射至多70nm波长的EUV光的表面,其中该表面中的折射率分布在该元件的中心80%区域内仅具有一个极点。该掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有高精度水平的表面且因此可形成为平整度和热膨胀性能得到改善的EUV光刻法光掩模衬底。该石英玻璃元件的制备方法包括:提供掺杂二氧化钛的石英玻璃坯锭;在空气中于700-1300℃下将该坯锭保持1-200小时以退火;以1-20℃/h的速率将该坯锭缓慢冷却至500℃;将该坯锭置于在炉子中旋转的成型坩埚中,所述炉子的温度分布具有在1700℃下至少1.5℃/cm的温度梯度;在该坩埚中热加工该掺杂二氧化钛的石英玻璃。

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