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公开(公告)号：CN106396350A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610798102.1
申请日：2016-08-31
Applicant: 中国建筑材料科学研究总院
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03B19/066 , C03B2201/02 , C03B2201/10 , C03B2201/12 , C03B2201/14 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2201/50 , C03B2201/54
Abstract: 本发明是关于一种制备石英玻璃的烧结方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制备领域，主要目的在于避免或降低间接合成法工艺制备石英玻璃中气泡的产生，以及提高石英玻璃的烧结效率、降低成本。用于将二氧化硅疏松体在烧结空间中进行烧结；所述方法包括：对所述烧结空间抽真空至负压环境，对位于烧结空间内的二氧化硅疏松体进行烧结，使所述二氧化硅疏松体中气孔在所述负压环境下排出，并将二氧化硅疏松体烧结为透明化的石英玻璃；对透明化的石英玻璃冷却后，获得所述石英玻璃成品。烧结后获得的石英玻璃成品中可减少其中含有的气泡含量，以提高石英玻璃的产品质量，并通过整体同时受热烧结，提高了二氧化硅疏松体的烧结效率、降低成本。
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公开(公告)号：CN106061910A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201580010800.4
申请日：2015-02-24
Applicant: 康宁股份有限公司
CPC classification number: C03B32/00 , C03B19/1453 , C03B25/02 , C03B2201/42
Abstract: 提供了在二氧化硅‑氧化钛玻璃制品中形成Tzc(零交叉温度)梯度的方法和设备。所述方法包含使玻璃制品(14)的第一表面接触加热设备(40)的第一加热模块(22)的表面，并使玻璃制品(14)的第二表面接触加热设备(40)的第二加热模块(26)的表面。所述方法还包括将第一加热模块的温度升高到第一温度，将第二加热模块的温度升高到第二温度，且将第一加热模块在第一温度下以及将第二加热模块在第二温度下保持预定时间段，从而形成在整个玻璃制品中的热梯度，其中第一温度高于第二温度。所述方法还包括冷却玻璃制品，以形成在玻璃制品整个厚度中的Tzc梯度。
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公开(公告)号：CN105439441A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510614780.3
申请日：2015-09-24
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: G03F1/22 , C03B19/06 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B32/00 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C21/007 , C03C23/00 , C03C23/007 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm-700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2-SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt. ppm-100wt. ppm的平均OH含量和2,500wt. ppm-10,000wt. ppm的平均氟含量。
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公开(公告)号：CN105278006A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510360232.2
申请日：2015-06-26
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B23/04 , C03B19/066 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/06 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/10 , C03C2203/50 , G03F1/24 , G03F7/70316 , G03F7/7095
Abstract: 本发明提供用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件，其具有待配备反射膜的表面部分并具有光学使用区域CA，在光学使用区域CA上的热膨胀系数CTE具有在所述坯件的厚度上取平均的二维dCTE分布曲线，其具有小于5ppb/K的被定义为CTE最大值和CTE最小值之间的差的最大不均匀性dCTE最大，其特征在于，dCTE最大为至少0.5ppb/K，并且CA形成具有所述区域的形心的非圆形区域，其中所述dCTE分布曲线不是旋转对称的并在CA上对其限定，使得被归一化至单位长度并穿过所述区域的形心延伸的直的曲线段产生形成具有小于0.5×dCTE最大带宽的曲线带的dCTE曲线簇。
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公开(公告)号：CN104995557A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201480008162.8
申请日：2014-02-04
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B25/02 , C03B32/00 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , G02B5/0891 , G03F7/70316 , G03F7/70958
Abstract: 为了提供用于EUV-光刻中的镜面基材的由TiO2-SiO2玻璃构成的坯料，其中对于优化热膨胀系数分布和因此过零温度TZC分布的调适需求是小的，在920℃至970℃的假想温度Tf平均值下，所述TiO2-SiO2玻璃具有其过零温度TZC对于假想温度Tf的依赖性，其以微商dTzc/dTf表示小于0.3。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102219372B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201110092930.0
申请日：2011-04-13
Applicant: 德拉克通信科技公司
Inventor： I·米莉瑟维克 , M·J·N·范·斯特劳伦 , J·A·哈特苏克 , E·阿尔迪 , E·A·库伊佩斯
IPC: C03B37/018 , C03B37/025
CPC classification number: C03B37/0183 , C03B37/01807 , C03B2201/12 , C03B2201/24 , C03B2201/28 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/42
Abstract: 本发明涉及内部气相沉积工艺。本发明涉及光纤用初级预制品的制造方法，其使用内部气相沉积工艺，所述方法包括以下步骤：i)设置具有供给侧和排出侧的中空玻璃基管，ii)由加热炉包围至少部分所述中空玻璃基管，iii)将玻璃形成气体的掺杂或未掺杂的气体流经由中空玻璃基管的供给侧供给至中空玻璃基管的内部，iv)创建其中条件为使得玻璃的沉积发生在所述中空玻璃管的内部的反应区，和v)在所述中空玻璃基管的位于供给侧附近的换向点和位于排出侧附近的换向点之间沿中空玻璃基管的纵向往复移动反应区。
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公开(公告)号：CN104395248A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380034214.4
申请日：2013-06-27
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: C03B19/1415 , C03B11/00 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B19/1476 , C03B19/1492 , C03B23/0013 , C03B23/0496 , C03B32/005 , C03B2201/12 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C2201/12 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52
Abstract: SiO2－TiO2系玻璃的制造方法通过直接法在靶上制造SiO2－TiO2系玻璃，其包括：第一工序，预先加热靶；第二工序，使规定长度的SiO2－TiO2系玻璃坯料在被预先加热了的靶上成长；在第一工序中对靶加热，以使得在第二工序中玻璃坯料的成长面的温度维持在规定的下限温度以上。
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公开(公告)号：CN101639624B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN200910158613.7
申请日：2009-07-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B23/0026 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , Y10T428/31616
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法，该石英玻璃元件具有反射至多70nm波长的EUV光的表面，其中该表面中的折射率分布在该元件的中心80％区域内仅具有一个极点。该掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有高精度水平的表面且因此可形成为平整度和热膨胀性能得到改善的EUV光刻法光掩模衬底。该石英玻璃元件的制备方法包括：提供掺杂二氧化钛的石英玻璃坯锭；在空气中于700-1300℃下将该坯锭保持1-200小时以退火；以1-20℃/h的速率将该坯锭缓慢冷却至500℃；将该坯锭置于在炉子中旋转的成型坩埚中，所述炉子的温度分布具有在1700℃下至少1.5℃/cm的温度梯度；在该坩埚中热加工该掺杂二氧化钛的石英玻璃。
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公开(公告)号：CN103003054A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201180034592.3
申请日：2011-07-06
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B29D11/00769 , B24B9/10 , B29C59/002 , B29C59/026 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C19/00 , C03C2201/42 , C03C2204/08 , G03F7/0002 , Y10T428/24355
Abstract: 本发明涉及一种压印模具用含TiO2石英玻璃基材，具有主表面和侧面，其中，所述侧面的算术平均粗糙度(Ra)为1nm以下，所述侧面的10μm至1mm波长范围的凹凸的均方根(MSFR_rms)为10nm以下。
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公开(公告)号：CN102849929A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210297275.7
申请日：2009-07-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B23/0026 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , Y10T428/31616
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法。其中，掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有反射至多70nm波长的EUV光的表面，其中该表面中的折射率分布在该元件的中心80％区域内仅具有一个极点。该掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有高精度水平的表面且因此可形成为平整度和热膨胀性能得到改善的EUV光刻法光掩模衬底。
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