-
公开(公告)号:WO2013171937A1
公开(公告)日:2013-11-21
申请号:PCT/JP2013/000890
申请日:2013-02-19
Applicant: 信越石英株式会社
Inventor: 山形 茂
CPC classification number: C03B19/02 , C03B19/095 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/23 , C03B2201/54 , C03C3/06 , C03C8/02 , C03C10/0009 , C03C21/008 , C03C23/007 , C03C2201/02 , C03C2201/54 , C03C2201/80 , C03C2203/10 , C30B15/10 , C30B29/06 , Y02P40/57 , Y10T117/1032
Abstract: 本発明は、内側に透明シリカガラスから成る透明層を有し、外側に気泡を含有する不透明シリカガラスから成る不透明層を有する単結晶シリコン引き上げ用シリカ容器であって、前記透明層が、前記シリカ容器の内表面側に位置し、OH基を200~2000massppmの濃度で含有する高OH基層と、該高OH基層よりもOH基濃度が低い低OH基層とから成り、前記高OH基層がBaを50~2000massppmの濃度で含有するものである単結晶シリコン引き上げ用シリカ容器である。これにより、単結晶シリコン引き上げ用にシリカ容器を用いた場合に、該容器使用開始後短時間のうちに該容器の透明シリカガラスから成る内側表面の全面が微細結晶化(グラスセラミックス化)することにより、該容器内側表面のシリコン融液に対する耐エッチング性(耐侵食性)を大幅に向上させるようなシリカ容器、及び、そのようなシリカ容器の製造方法が提供される。
Abstract translation: 这种二氧化硅容器用于制造单晶硅,并且在内部具有包括透明石英玻璃的透明层,并且在外部具有包含含有气泡的不透明石英玻璃的不透明层。 透明层位于二氧化硅容器的内表面侧,并且包含OH基浓度为200-2000质量ppm的OH基团和OH基浓度低于OH基浓度的低OH基层的高OH基层。 的高OH基层,高OH基层含有Ba的50-2000质量ppm的浓度。 结果,提供了:二氧化硅容器,使得当二氧化硅容器用于制备单晶硅时,容器内表面相对于熔融硅的耐腐蚀性(耐侵蚀性)通过整个 包含容器的透明石英玻璃的内表面的表面在容器使用开始后的短时间内被微晶化(玻璃化); 以及这种二氧化硅容器的制造方法。
-
公开(公告)号:WO2011045888A1
公开(公告)日:2011-04-21
申请号:PCT/JP2010/005375
申请日:2010-09-01
CPC classification number: C03B19/095 , C01B33/12 , C01P2004/61 , C03B2201/21 , C03B2201/54 , C30B15/10 , C30B29/06 , Y02P40/57 , Y10T428/131 , Y10T428/1317 , Y10T428/2982
Abstract: 本発明は、回転対称性を有し、シリカを主成分とし、少なくとも外周部分に気泡を含有する基体と、該基体の内表面上に形成された、透明シリカガラスからなる内層とを具備するシリカ容器の製造方法であって、少なくとも、前記内層を形成するための原料粉として、粒径が10~1000μmであり、Ca、Sr、Baを50~5000wt.ppmの合計濃度で含有し、真空下にて1000℃に加熱したときの水素分子の放出量が3×10 16 ~3×10 19 分子/gであるシリカ粉を準備し、該内層形成用原料粉であるシリカ粉から、前記内層を形成するシリカ容器の製造方法である。これにより、高寸法精度であり、内壁が実質的に気泡を含まない肉厚の透明シリカガラス層であるとともに、高温でも高い耐久性を有するシリカ容器を低コストで製造できるシリカ容器及びその製造方法、並びにそのようなシリカ容器を製造するためのシリカ粉及びその製造方法が提供される。
Abstract translation: 本发明提供一种具有旋转对称性的二氧化硅容器的制造方法,以二氧化硅为主要成分,至少在外周部具有气泡,形成在本体内表面的内层 ,并且包括透明石英玻璃。 粒径为10〜1000μm的二氧化硅粉末,含有总浓度为50〜5000重量ppm的Ca,Sr,Ba,氢分子的排出量为3×1016〜3×1019分子/克 作为形成内层的原料动力,在真空中在1000℃下加热时,内层由作为形成内层的原料粉末的二氧化硅粉末形成。 因此,提供了即使在高温下也具有高尺寸精度和高耐久性,其内壁是具有基本上不含气泡的厚度的透明石英玻璃层的二氧化硅容器。 还提供了用于生产所述二氧化硅容器的低成本方法,用于生产这种二氧化硅容器的二氧化硅粉末以及所述二氧化硅粉末的制备方法。
-
公开(公告)号:WO2009017020A1
公开(公告)日:2009-02-05
申请号:PCT/JP2008/063258
申请日:2008-07-24
IPC: C03C3/06 , H01L21/3065
CPC classification number: C03B19/01 , C03B2201/30 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2201/40 , C03B2201/54 , C03C3/06 , C03C2201/36 , H01L21/67069 , H01L21/68757 , Y02P40/57
Abstract: プラズマエッチング工程で使用されるドープ石英ガラスで、使用中に、問題となるような弗化物の堆積が起こらないようなプラズマエッチング用ドープ石英ガラス部材を提供する。 半導体製造用治具としてプラズマエッチング工程に用いられるプラズマエッチング用石英ガラス部材であって、少なくとも、該石英ガラス部材が2種類以上の金属元素を併せて0.01wt%以上0.1wt%未満含有し、該金属元素が周期律表第3B族から選ばれた少なくとも1種の第1の金属元素と、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、Ti、Zr、Hf、ランタノイド及びアクチノイドからなる群から選ばれた少なくとも1種の第2の金属元素からなることを特徴とする。
Abstract translation: 用于等离子体蚀刻操作的用于等离子体蚀刻的掺杂石英玻璃构件,在使用期间没有任何有问题的氟化物积聚。 用于等离子体蚀刻的石英玻璃构件是用于等离子体蚀刻操作中的半导体制造的夹具,其特征在于,含有总量为0.01至小于0.1重量%的至少两种或更多种金属元素。 金属元素由选自元素周期表第3B族中的至少一种第一金属元素和选自Mg,Ca,Sr,Ba,Sc,Y的至少一种第二金属元素组成 ,Ti,Zr,Hf,镧系元素和锕系元素。
-
公开(公告)号:WO2004020357A2
公开(公告)日:2004-03-11
申请号:PCT/US2003/024477
申请日:2003-08-05
Applicant: CORNING INCORPORATED
Inventor: MOORE, Lisa, A. , BOOKBINDER, Dana, C. , HOUSE, Keith, L. , SCHIEFELBEIN, Susan, L. , BALL, Laura, J. , BANEY, Bruno, Paul, Marc , KHRAPKO, Rostislav, R.
IPC: C03C25/60
CPC classification number: C03C3/06 , C03B37/01211 , C03B37/01228 , C03B37/01426 , C03B37/01807 , C03B37/01861 , C03B37/01892 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/28 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03B2203/26 , C03B2207/30 , C03B2207/90 , C03C25/602 , C03C25/607 , C03C25/68 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , C03C2201/50 , C03C2203/50 , G02B6/02
Abstract: A method of forming an alkali metal oxide-doped optical fiber by diffusing an alkali metal into a surface of a glass article is disclosed. The silica glass article may be in the form of a tube or a rod, or a collection of tubes or rods. The silica glass article containing the alkali metal, and impurities that may have been unintentionally diffused into the glass article, is etched to a depth sufficient to remove the impurities. The silica glass article may be further processed to form a complete optical fiber preform. The preform, when drawn into an optical fiber, exhibits a low attenuation.
Abstract translation: 公开了一种通过将碱金属扩散到玻璃制品的表面中形成掺杂碱金属氧化物的光纤的方法。 石英玻璃制品可以是管或棒的形式,或者是管或棒的集合。 含有碱金属的二氧化硅玻璃制品和可能已经无意地扩散到玻璃制品中的杂质被蚀刻到足以除去杂质的深度。 石英玻璃制品可以进一步加工以形成完整的光纤预型件。 当预成型件被拉入光纤时,表现出低的衰减。
-
公开(公告)号:WO2003035564A2
公开(公告)日:2003-05-01
申请号:PCT/CA2002/001572
申请日:2002-10-17
Applicant: INSTITUT NATIONAL D'OPTIQUE
Inventor: CARON, Serge
IPC: C03B37/012
CPC classification number: C03B37/01262 , C03B37/01205 , C03B37/01211 , C03B2201/10 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2201/40 , C03B2201/50 , C03B2201/54
Abstract: The present invention concerns a preform for an optical fibre, an optical fibre so obtained and methods for making the same. The fibre is characterized in that porous glass doped with at least one dopant is used. Resulting fibres can be used to make high attenuation fibres.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于光纤的预成型件,如此获得的光纤及其制造方法。 纤维的特征在于使用掺杂有至少一种掺杂剂的多孔玻璃。 所得纤维可用于制造高衰减纤维。
-
66.ULTRALOW-LOSS SILICA GLASS AND OPTICAL FIBERS MADE USING THE SAME 审中-公开
Title translation: 超薄二氧化硅玻璃和使用其的光学纤维公开(公告)号:WO1998002389A1
公开(公告)日:1998-01-22
申请号:PCT/JP1997002427
申请日:1997-07-14
Applicant: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA , TOYOTA SCHOOL FOUNDATION , SAITOH, Kazuya , IKUSHIMA, Akira
IPC: C03C13/04
CPC classification number: C03C13/046 , C03B37/014 , C03B2201/07 , C03B2201/30 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03C3/06 , C03C2201/40 , C03C2201/50 , C03C2201/54 , G02B6/02
Abstract: A ultralow-loss silica glass characterized by comprising a high-purity silica glass and at least one network-modifying oxide in an amount of 1 to 500 ppm (by weight). The oxide is considered to suitably relax the tetrahedral network structure of silica so as to lower the Rayleigh scattering loss. Examples of the network modifying oxides usable herein include Na>2 2 2
Abstract translation: 一种超低损耗二氧化硅玻璃,其特征在于包含1〜500ppm(重量)以上的高纯度二氧化硅玻璃和至少一种网络改性氧化物。 认为氧化物适当地松弛二氧化硅的四面体网络结构,以降低瑞利散射损耗。 可用于本文可用的网络改性氧化物的实例包括Na 2 O,K> 2
-
67.DOPED ULTRA-LOW EXPANSION GLASS AND METHODS FOR MAKING THE SAME 审中-公开
Title translation: 掺杂的超低膨胀玻璃及其制造方法公开(公告)号:WO2016094494A2
公开(公告)日:2016-06-16
申请号:PCT/US2015/064662
申请日:2015-12-09
Applicant: CORNING INCORPORATED
Inventor: ANNAMALAI, Sezhian , DURAN, Carlos Alberto , HRDINA, Kenneth Edward
IPC: C03C3/06
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B25/02 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/14 , C03B2201/23 , C03B2201/32 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03C3/112 , C03C4/00 , C03C2201/12 , C03C2201/14 , C03C2201/32 , C03C2201/40 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2201/54 , C03C2203/52
Abstract: A doped silica-titania glass article is provided that includes a glass article having a glass composition comprising (i) a silica-titania base glass, (ii) a fluorine dopant, and (iii) a second dopant. The fluorine dopant has a concentration of fluorine of up to 5 wt. % and the second dopant comprises one or more oxides selected from the group consisting of Al, Nb, Ta, B, Na, K, Mg, Ca and Li oxides at a total oxide concentration from 50 ppm to 6 wt.%. Further, the glass article has an expansivity slope of less than 0.5 ppb/K 2 at 20 ⃘ C. The second dopant can be optional. The composition of the glass article may also contain an OH concentration of less than 100 ppm.
Abstract translation: 提供一种掺杂二氧化硅 - 二氧化钛玻璃制品,其包括具有玻璃组成的玻璃制品,所述玻璃制品包含(i)二氧化硅 - 二氧化钛基玻璃,(ii)氟掺杂剂,和(iii)第二 掺杂剂。 氟掺杂剂具有高达5wt。%的氟浓度。 %,第二掺杂剂包含一种或多种选自Al,Nb,Ta,B,Na,K,Mg,Ca和Li氧化物的氧化物,总氧化物浓度为50ppm至6wt%。 此外,该玻璃制品在20℃时的膨胀率斜率小于0.5ppb / K 2。 第二掺杂剂可以是可选的。 玻璃制品的组成也可以含有小于100ppm的OH浓度。 p>
-
公开(公告)号:WO2013038794A1
公开(公告)日:2013-03-21
申请号:PCT/JP2012/067913
申请日:2012-07-13
Applicant: 古河電気工業株式会社 , 宮部 亮 , 相曽 景一
IPC: H01S3/067 , C03B37/012 , C03B37/018 , G02B6/00 , G02B6/036 , H01S3/10
CPC classification number: H01S3/06716 , C03B37/01211 , C03B37/01433 , C03B2201/12 , C03B2201/28 , C03B2201/36 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03B2203/223 , C03B2203/23 , G02B6/03633 , H01S3/06733 , H01S3/0675 , H01S3/06754 , H01S3/094007 , H01S3/1618 , H01S3/1693 , H01S3/176
Abstract: 希土類元素とアルミニウムとが添加されたシリカガラスからなるコア部と、前記コア部の外周に形成され、アルカリ金属およびアルカリ土類金属の少なくともいずれか一方が添加されたシリカガラスからなり、前記コア部よりも屈折率が低い内側クラッド層と、前記内側クラッド層の外周に形成され、前記内側クラッド層よりも屈折率が低い外側クラッド層と、を備える光ファイバである。これによって、所望の光学特性を生産性高く実現できる。
Abstract translation: 一种光纤,其特征在于,具有由添加有稀土元素和铝的石英玻璃形成的芯部; 内包层,其形成在所述芯部的外周上,并且由添加了碱金属和/或碱土金属的石英玻璃形成,同时折射率低于所述芯部的折射率; 以及外包层,其形成在所述内包层的外周上并且具有比所述内包层的折射率低的折射率。 因此,可以以高生产率实现期望的光学特性。
-
公开(公告)号:WO2011070703A1
公开(公告)日:2011-06-16
申请号:PCT/JP2010/006179
申请日:2010-10-19
CPC classification number: B65D13/02 , C03B19/095 , C03B2201/54 , C03C3/06 , C03C2201/54 , C30B15/10 , C30B29/06 , C30B35/002 , Y02P40/57
Abstract: 本発明は、Li、Na、Kの合計濃度が50wt.ppm以下である基体形成用原料粉と、Ca、Sr、Baを合計で50~2000wt.ppm含有する内層形成用原料粉を作製し、型枠内で基体の仮成形体を形成し、その内表面上に内層の仮成形体を形成し、水素若しくはヘリウム又はそれらの混合ガスを10vol.%を超える比率で含有するガス雰囲気にて、放電加熱溶融法により基体と内層の仮成形体の内側から加熱することによって、基体の仮成形体の外周部分を焼結体とするとともに、基体の仮成形体の内周部分及び内層の仮成形体を溶融ガラス体とすることにより、外周部分に気泡を含有する基体と、該基体の内表面上に形成された、透明シリカガラスからなる内層とを有するシリカ容器を製造する方法である。これにより、高寸法精度、高耐熱性を有するシリカ容器を低コストで製造できるシリカ容器の製造方法、及び、このようなシリカ容器が提供される。
Abstract translation: 公开了一种生产二氧化硅容器的方法,该方法包括在外周部分含有气泡的基体和由透明石英玻璃组成的内层,并形成在基体的内表面上。 该方法包括:制备总浓度为Li,Na和K为50重量ppm以下的基体形成原料粉末和含有Ca,Sr和Ba的总体含量的内层形成原料粉末 为50〜2000重量ppm; 在模具中形成用于基体的预制件; 在基体的表面的内表面上形成内层的预成型体; 并且通过放电加热熔融法从复合预成型件的内部在含有氢,氦或二者的混合物的气体气氛中加热这样的复合预成型体,以使外周部分 将用于基体的预成型体转变为烧结体,并将用于基体的预成型体的内周部分和用于内层的预成型件转换成熔融玻璃体。 因此,能够以低成本生产具有高尺寸精度和高耐热性的二氧化硅容器的方法和这种二氧化硅容器。
-
70.PHOTONIC CRYSTAL ELECTROOPTIC FIBER AND METHOD FOR MANUFACTURING SUCH A FIBER 审中-公开
Title translation: 光电晶体光纤和制造这种光纤的方法公开(公告)号:WO2008152479A1
公开(公告)日:2008-12-18
申请号:PCT/IB2008/001506
申请日:2008-06-12
Applicant: RESEARCH AND TECHNOLOGICAL INSTITUTE OF OPTICAL MATERIALS SCIENCE (RTIOMS) , ANAN'EV, Anatolii Vladimorovich , ZHELTOV, Valerii Borisovich , IVANOV, Vladimir Nikolaevich , LIPOVSKII, Andrey Aleksandrovich , POLUKHIN, Vladimir Nikolaevich , TAGANTSEV, Dmitry Kirillovich , TATARINTSEV, Boris Vasil'evich , BARTELT, Hartmut , KOBELKE, Jens
Inventor: ANAN'EV, Anatolii Vladimorovich , ZHELTOV, Valerii Borisovich , IVANOV, Vladimir Nikolaevich , LIPOVSKII, Andrey Aleksandrovich , POLUKHIN, Vladimir Nikolaevich , TAGANTSEV, Dmitry Kirillovich , TATARINTSEV, Boris Vasil'evich , BARTELT, Hartmut , KOBELKE, Jens
IPC: G02F1/01 , C03B37/012 , C03B37/026 , C03B37/027
CPC classification number: C03B37/0122 , C03B37/0124 , C03B37/026 , C03B37/0279 , C03B2201/10 , C03B2201/30 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03B2203/42 , C03C13/046 , C03C14/002 , C03C2214/08 , G02F1/0115 , G02F2201/12 , G02F2202/32
Abstract: An electrooptic photonic crystal fiber having a central part forming a Bragg structure, the central part comprising a core (1) made homogeneously from low refractive glass and pre-designed set of altering claddings made of high refractive (2) and low refractive glasses (3); and a peripheral part forming an envelope of the Bragg structure, the peripheral part (5, 7) being formed from multicomponent glasses with low viscosity in the fiber drawing temperature range. Metallic electrodes (8) are embedded in the peripheral part adjacent to the central part on diametrically opposite sides. The method for manufacturing such a fiber includes drawing of separate rods from glass bars constituting fiber elements, drawing of electrodes in the form of metal filled glass capillaries, bundling a package with hexagonal section and internal Bragg structure from the rods, drawing a rod from the package, assembling a secondary package from the rods with Bragg structure, electrode capillaries and glass rods forming the envelope of Bragg structure, re-drawing the secondary package into a preform and then into photonic crystal electrooptic fiber.
Abstract translation: 一种具有形成布拉格结构的中心部分的电光子晶体光纤,该中心部分包括由低折射玻璃均匀地制成的芯部(1)和由高折射率(2)和低折射眼镜(3)制成的预先设计的改变包层 ); 以及形成布拉格结构的外壳的周边部分,周边部分(5,7)由在纤维拉伸温度范围内具有低粘度的多组分玻璃形成。 金属电极(8)嵌入与直径相对的两侧的中心部分相邻的周边部分。 制造这种纤维的方法包括从构成纤维元件的玻璃棒上拉出分开的杆,拉制金属填充的玻璃毛细管形式的电极,将具有六边形截面的包装与内部的布拉格结构从杆拉出, 包装,组装具有布拉格结构的棒的二次包装,形成布拉格结构的包层的电极毛细管和玻璃棒,将二次包装重新拉制成预制件,然后再制成光子晶体电光纤。
-
-
-
-
-
-
-
-
-