公开(公告)号：CN110291221B

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN201880006036.7

申请日：2018-01-30

Applicant: 学校法人东海大学 ,  株式会社新柯隆

Inventor： 室谷裕志 ,  堀口由纪夫 ,  菅原卓哉

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/22

Abstract: 提供一种机械强度高、折射率低的表面层的成膜方法。在基板(S)的表面重复下述工序而形成折射率小于成膜材料的折射率的膜，上述工序为：通过真空蒸镀法将蒸镀材料成膜的工序；和通过溅射将靶材构成物质成膜的工序。

公开(公告)号：CN113337809A

公开(公告)日：2021-09-03

申请号：CN202010092653.2

申请日：2020-02-14

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 长江亦周 ,  宫内充祐 ,  高坂佳弘 ,  青山贵昭 ,  远藤光人

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/455 ,  G02B1/10 ,  G02B1/11

Abstract: 本申请公开一种低折射率薄膜形成装置，包括：用于容纳基板的真空成膜室；用于向所述真空成膜室导入气体的导入机构；用于在所述真空成膜室中形成等离子体的等离子源；所述等离子源能在所述基板上利用所述气体进行等离子体化学气相沉积成膜。本申请所公开的薄膜形成装置能够制造大面积的实用化的且成本的低折射率的薄膜。

公开(公告)号：CN112779507A

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN201911094854.X

申请日：2019-11-11

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 盐田有广 ,  青山贵昭 ,  远藤光人 ,  长江亦周

IPC: C23C14/34

Abstract: 本申请提供一种成膜装置，包括：真空容器；绕垂直轴线转动的基板保持单元，其能保持多个基板；位于所述真空容器内部的成膜区域，所述成膜区域能够通过溅射从靶材释放出溅射离子到达所述基板；可拆卸地安装于所述真空容器内的隔离单元，其将所述成膜区域与所述真空容器内的其他区域隔开。本申请提供的成膜装置能够改善成膜质量。

公开(公告)号：CN110637103A

公开(公告)日：2019-12-31

申请号：CN201880001742.2

申请日：2018-04-20

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 税所慎一郎

IPC: C23C14/34

Abstract: 本发明具备：成膜室(11)；基板支托(12)，其设置于上述成膜室，对进行成膜的基板S进行保持；减压机(13)，其将上述成膜室减压至规定压力；放电气体导入机(15)，其将放电气体导入至上述成膜室；与一个上述基板对置的两个以上的溅射电极(18、19)，它们分别具备作为成膜材料的靶材(T1、T2)；直流电源(20)，其对上述两个以上的溅射电极供给电力；两个以上的脉冲波转换开关(22、23)，它们连接在上述直流电源与上述两个以上的溅射电极之间，将施加至各个溅射电极的直流电压转换成脉冲波电压；可编程发送器(24)，其能够将与供给至上述两个以上的溅射电极的各个电力相对应的脉冲产生控制信号图案编程，按照该编程，分别对上述两个以上的脉冲波转换开关进行控制；和脉冲反应气体导入机(17)，其基于来自上述电力控制器的脉冲产生控制信号图案，对从上述反应气体导入机向上述成膜室的反应气体的导入进行控制。

公开(公告)号：CN110291221A

公开(公告)日：2019-09-27

申请号：CN201880006036.7

申请日：2018-01-30

Applicant: 学校法人 ,  东海大学 ,  株式会社新柯隆

Inventor： 室谷裕志 ,  堀口由纪夫 ,  菅原卓哉

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/22

Abstract: 提供一种机械强度高、折射率低的表面层的成膜方法。在基板(S)的表面重复下述工序而形成折射率小于成膜材料的折射率的膜，上述工序为：通过真空蒸镀法将蒸镀材料成膜的工序；和通过溅射将靶材构成物质成膜的工序。

公开(公告)号：CN104169676B

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201280069673.1

申请日：2012-02-27

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 佐井旭阳 ,  日向阳平 ,  大泷芳幸 ,  宫内充祐 ,  长江亦周

IPC: G01B11/06 ,  H01L21/66

Abstract: 提供能够增大光量变化量的膜厚测量用的LED光源装置(30)。LED光源装置(30)配置有：多个LED发光源(34～36)；多个准直构件(342、352、362)，它们配置于各发光源的下游侧，并使来自各发光源的入射光分别准直地射出；多个第1滤光构件(37、38)，它们配置于各准直构件的下游侧，并仅使入射光中的特定波长区域以上的光透射和/或反射，或者仅使特定波长区域以下的光透射和/或反射而射出；以及聚光构件(39)，其配置于第1滤光构件(38)的更下游侧，并使来自各第1滤光构件的入射光会而射出，并且，在各准直构件(342、352、362)的下游侧且在各第1滤光构件(37、38)的上流侧，配置有仅使来自各准直构件的入射光中的特定范围的波长透射而射出的第2滤光构件(344、354、364)。

公开(公告)号：CN105377451B

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201480007385.2

申请日：2014-05-23

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 佐守真悟 ,  高濑慎一 ,  菅原聪 ,  长江亦周 ,  姜友松

IPC: B05D3/00 ,  B05C9/10

CPC classification number: B05B17/04 ,  B05B9/04 ,  B05B13/0221 ,  B05B14/20 ,  B05B16/60 ,  B05D1/02 ,  B05D3/0493 ,  B05D5/083 ,  B05D2203/35 ,  C03C17/30 ,  C03C2217/76 ,  C03C2218/15

Abstract: 本发明提供一种以低成本成膜出具备耐久性的薄膜的方法。该成膜方法使用成膜装置(1)。该装置(1)包括基板(100)配置于内部下方的真空容器(11)、对该容器(11)内进行排气的真空泵(15)、设置于容器(11)外部且储藏成膜剂溶液(21)的储藏容器(23)、一端具有成为可排出成膜剂溶液(21)的排出部(19)的喷嘴(17)。使用含有2种以上材料的溶液作为成膜剂溶液(21)。将该成膜剂溶液(21)在基于构成该溶液的各材料的蒸汽压而设定的压力的气氛下排出至基板上。

公开(公告)号：CN104395690B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201280073820.2

申请日：2012-06-13

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 佐井旭阳 ,  日向阳平 ,  大泷芳幸 ,  姜友松

IPC: G01B11/06 ,  C23C14/24

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/52 ,  C23C14/547 ,  G01B11/0625

Abstract: 提供能够高精度地测量光学膜厚的膜厚测量装置。膜厚测量装置(6)具备：通过照射侧光纤(f1)向监视基板(Sm)照射光的投光器(11)、通过受光侧光纤(f2)接收从投光器(11)照射后由监视基板(Sm)反射的光的受光装置(22)、和捆扎多个照射侧光纤(f1)和多个受光侧光纤(f2)而形成的光学传感器用探头(13)，其中，在光学传感器用探头(13)的与监视基板(Sm)对置的末端面上分别配置有多个照射侧光纤(f1)的端面和多个受光侧光纤(f2)的端面，照射侧光纤(f1)的各个端面以与受光侧光纤(f2)的端面相邻的状态呈圆弧状或圆环状排列，并且，受光侧光纤(f2)的各个端面以与照射侧光纤(f1)的各个端面相邻的状态呈圆弧状或圆环状排列。

公开(公告)号：CN105377451A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201480007385.2

申请日：2014-05-23

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 佐守真悟 ,  高濑慎一 ,  菅原聪 ,  长江亦周 ,  姜友松

IPC: B05D3/00 ,  B05C9/10

CPC classification number: B05B17/04 ,  B05B9/04 ,  B05B13/0221 ,  B05B14/20 ,  B05B16/60 ,  B05D1/02 ,  B05D3/0493 ,  B05D5/083 ,  B05D2203/35 ,  C03C17/30 ,  C03C2217/76 ,  C03C2218/15

Abstract: 本发明提供一种以低成本成膜出具备耐久性的薄膜的方法。该成膜方法使用成膜装置(1)。该装置(1)包括基板(100)配置于内部下方的真空容器(11)、对该容器(11)内进行排气的真空泵(15)、设置于容器(11)外部且储藏成膜剂溶液(21)的储藏容器(23)、一端具有成为可排出成膜剂溶液(21)的排出部(19)的喷嘴(17)。使用含有2种以上材料的溶液作为成膜剂溶液(21)。将该成膜剂溶液(21)在基于构成该溶液的各材料的蒸汽压而设定的压力的气氛下排出至基板上。

公开(公告)号：CN102472611B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201080029355.3

申请日：2010-06-29

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 佐井旭阳 ,  日向阳平 ,  大泷芳幸 ,  姜友松

IPC: G01B11/06 ,  C23C14/54

CPC classification number: G01B11/06 ,  C23C14/34 ,  C23C14/547 ,  G01B11/0625

Abstract: 本发明提供能够高精度地计测光学膜厚和分光特性的光学式膜厚计以及具有光学式膜厚计的薄膜形成装置。光学式膜厚计由投光器(11)、反射镜(17)、受光器(19)和分光器(20)构成，具有反射镜(17)，该反射镜(17)相对于测定光的入射方向位于实际基板(S)的相反侧，且反射面被配置成与测定光的光轴大致垂直。另外，实际基板(S)被配置成相对于测定光的光轴具有规定的倾斜角度(α)。测定光(出射光和反射光)2次透过实际基板(S)，能够增大透过率(光量)的变化量，能够提高膜厚测定的控制精度。另外，能够防止因透过位置的不同而产生测定误差，另外，在受光器(19)侧不会检测到未通过规定路径而2次透过测定基板的测定光，所以能够高精度地计测光学膜厚和分光特性。