公开(公告)号：FR2837623B1

公开(公告)日：2004-12-31

申请号：FR0203444

申请日：2002-03-20

Applicant: MEMSCAP

Inventor： GIRARDIE LIONEL

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  H01L21/28 ,  H01L21/316 ,  H01L29/51 ,  H01L29/92 ,  H01G4/002

公开(公告)号：DE60105479D1

公开(公告)日：2004-10-21

申请号：DE60105479

申请日：2001-03-19

Applicant: MEMSCAP CROLLES

Inventor： HILL EDWARD ARTHUR ,  DHULER VIIJAYAKUMAR RUDRAPPA ,  COWEN ALLEN BRUCE ,  MAHADEVAN RAMASWAMY ,  WOOD ROBERT L

IPC: B81B7/02 ,  H01H1/00 ,  H01H61/02 ,  G02B6/26

Abstract: Microelectromechanical actuators include a substrate, spaced apart supports on the substrate and a thermal arched beam that extends between the spaced apart supports and that further arches upon heating thereof, for movement along the substrate. One or more driven arched beams are coupled to the thermal arched beam. The end portions of the driven arched beams move relative to one another to change the arching of the driven arched beams in response to the further arching of the thermal arched beam, for movement of the driven arched beams. A driven arched beam also includes an actuated element at an intermediate portion thereof between the end portions, wherein a respective actuated element is mechanically coupled to the associated driven arched beam for movement therewith, and is mechanically decoupled from the remaining driven arched beams for movement independent thereof. By allowing independent movement of the actuated elements, a variety of actuator applications may be provided wherein it is desired to actuate multiple elements in the same or different directions. For example, first and second driven arched beams may extend parallel to one another, such that the actuated elements that are mechanically coupled to the first and second driven arched beams move in a same direction by the further arching of the thermal arched beam. In other embodiments, the first and second arched beams arch away from each other, such that the actuated elements that are coupled to the first and second driven arched beams move in opposite directions by the further arching of the thermal arched beam. In yet other embodiments, the first and second driven arched beams arch toward one another, such that the actuated elements that are mechanically coupled to the first and second driven arched beams move in opposite directions by the further arching of the thermal arched beam.

公开(公告)号：FR2842829B1

公开(公告)日：2004-09-24

申请号：FR0209458

申请日：2002-07-25

Applicant: MEMSCAP

Inventor： GIRARDIE LIONEL

IPC: C23C16/40 ,  H01L21/28 ,  H01L29/51 ,  B32B18/00

公开(公告)号：FR2838526B1

公开(公告)日：2004-07-02

申请号：FR0204512

申请日：2002-04-11

Applicant: MEMSCAP

Inventor： KHALIL DIAA ,  MADKOUR KAREEM ,  SAADANY BASSAM ,  BADRELDIN TAREK ,  HELIN PHILIPPE

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  G02B5/08 ,  G02B6/35 ,  B81C5/00

Abstract: A set of mirrors (5,13) is arranged on a bottom substrate wafer (2) which is covered with a top substrate wafer (20). Several channels (38) are formed between protruding zones (34) present under the wafer (20). The protruding zones comprise housings (33) inside which the mirrors are movable. An Independent claim is also included for optical switching matrix fabrication method.

公开(公告)号：FR2849217A1

公开(公告)日：2004-06-25

申请号：FR0216499

申请日：2002-12-23

Applicant: MEMSCAP

Inventor： KHALIL DIAA ,  BASHIR AYMEN H ,  OSMAN AHMED H ,  KATILA PEKKA ,  EISSA MORSHED AHMED H ,  SAADANY BASSAM

IPC: G02B6/26 ,  G02B26/02 ,  B81B7/02 ,  G02B6/35

Abstract: The variable optical attenuator (1) is based on micro mechanical structures and has two moving walls (5,6) between optical fibres (3,4). The wall stops (7,8) are sloped with respect to the movement direction so as to form a V notch when approaching the optical fibres.

公开(公告)号：FR2849015A1

公开(公告)日：2004-06-25

申请号：FR0216495

申请日：2002-12-23

Applicant: MEMSCAP

Inventor： BADRELDIN TAREK ,  MADKOUR KAREEM ,  SAADANY BASSAM ,  KHALIL DIAA ,  HELIN PHILIPPE

IPC: B81B7/02 ,  G02B6/35 ,  H04Q11/00 ,  G02B6/28

Abstract: The optical microswitch connects 4N optical inputs (I1n to I4n) with 4N optical outputs (O1n to O4n). There are five optical switch connections (S1 to S5) with 2N outputs. A group of four switches are connected together to generate 2N intermediate outputs and to a final output whilst a fifth structure provides the remaining outputs.

公开(公告)号：FR2841995A1

公开(公告)日：2004-01-09

申请号：FR0208373

申请日：2002-07-04

Applicant: MEMSCAP

Inventor： DEHAN CHRISTOPHE ,  KATILA PEKKA ,  HELIN PHILIPPE

IPC: G02B6/26 ,  G02B26/02 ,  B81B7/02 ,  G02B6/35

Abstract: The variable optical attenuator (1) comprises a microelectromechanical structure implemented on a substrate (2), including at least one shutter (31,33,34) whose position can be varied by an actuator with a mobile part (10) combined with the shutters in the form of beams with notches so that the shutter (31) interacts with a light beam (6) propagating from an input optical fibre (3) towards an output optical fibre (4). The mobile part (10) of the actuator can be displaced rotationally around an axis (11) perpendicular to the plane of the substrate, and the axis (11) is also an axis of rotational symmetry of the mobile part. The shutters are laid out in the thickness of the mobile part so to interact with the light beam (6) which propagates substantially in parallel with the rotational axis of the mobile part. The mobile part (10) of the actuator comprises several, in particular 3, zones (27) which cooperate with complementary zones (28) stationary with respect to the substrate, and the zones are distributed in angle around the rotational axis (11). In particular, the zones (27) are of electrostatic combs matching complementary combs of the stationary zones (28). The mobile part (10) is linked to a fixed central platform (24) situated at the center of gravity of the mobile part, and an application of a polarization voltage to the pairs of combs (27,28) causes a rotational motion including slight bending of beams (23) so that the shutter (31) intercepts the light beam (6) at the level of angular notch section. The middle beams (23) joined to the central platform (24) also serve to return the mobile part to its stationary position. The attenuator (claimed) functions by transmission, or by reflection when the shutter (31) comprises a reflecting part.

公开(公告)号：CA2423210A1

公开(公告)日：2003-10-11

申请号：CA2423210

申请日：2003-03-20

Applicant: MEMSCAP

Inventor： MADKOUR KAREEM ,  HELIN PHILIPPE ,  SAADANY BASSAM ,  KHALIL DIAA ,  BADRELDIN TAREK

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  G02B5/08 ,  G02B6/35 ,  H04Q3/52

Abstract: Matrice de commutateurs optiques, réalisée à partir d'un substrat à base de matériau semi-conducteur ou diélectrique, comportant : - au moins un ensemble de fibres optiques d'entrée (12) et au moins un ensemble de fibres optiques de sortie (14) orientés sensiblement perpendiculairement l'un par rapport à l'autre, - un ensemble de miroirs mobiles (5,13) disposés aux intersections des directions définies par les différentes fibres optiques, chaque miroir (13) étant apte à se déplacer pour assurer la réflexion d'un faisceau issu d'une fibre optique d'entrée à destination d'une fibre optique de sortie, - un ensemble de canaux définis entre les miroirs, et à l'intérieur desquels se propagent les différents faisceaux avant et après avoir rencontré les miroirs, caractérisée en ce que : - l'ensemble de miroirs est réalisé sur une première galette de substrat (2), ladite première galette étant recouverte d'une seconde galette de substrat (20), - les différents canaux (38) sont formés entre des zones en excroissance (34) présentes sous la seconde galette de substrat, lesdites zones en excroissance comportant des logements (33) à l'intérieur desquels peuvent se déplacer les miroirs mobiles.

公开(公告)号：CA2415312A1

公开(公告)日：2003-06-30

申请号：CA2415312

申请日：2002-12-30

Applicant: MEMSCAP

Inventor： GIRARDIE LIONEL

IPC: C01G27/00 ,  C23C14/08 ,  C23C16/40 ,  C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  H01B3/12 ,  H01G4/20 ,  H01G4/33 ,  H01L21/28 ,  H01L21/316 ,  H01L21/822 ,  H01L21/8242 ,  H01L27/04 ,  H01L27/108 ,  H01L29/51 ,  H01L29/78 ,  B32B15/20 ,  B32B9/00

Abstract: Structure multicouche, utilisée notamment en tant que matériau de forte permittivité relative, caractérisée en ce qu'elle comporte une pluralité de couches distinctes, chacune d'une épaisseur inférieure à 500 .ANG., et réalisée à base de dioxyde d'hafnium (HfO2), de dioxyde de Zirconium (ZrO2) et d'alumine (Al2O3). En pratique, les couches de dioxyde d'hafnium, de dioxyde de Zirconium et d'alumine forment des alliages de formule Hf x ZrAl y O z. Avantageusement, la st~chiométrie des alliages Hf x ZrAl y O z varie d'une couche à l'autre.

公开(公告)号：CA2414400A1

公开(公告)日：2003-06-30

申请号：CA2414400

申请日：2002-12-10

Applicant: MEMSCAP

Inventor： GIRARDIE LIONEL

IPC: H01L27/04 ,  C23C16/40 ,  C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  H01L21/28 ,  H01L21/316 ,  H01L21/822 ,  H01L29/51 ,  H01L49/00 ,  H01G4/33 ,  H01L27/00 ,  H01L29/94

Abstract: Composant électronique incorporant un circuit intégré réalisé dans un substrat (1) et un condensateur planaire, caractérisé en ce que le condensateur est réalisé au- dessus d'un niveau de métallisation du composant, ce niveau de métallisation formant une première électrode (2) de la capacité, et en ce que le condensateur comporte ~ une première couche (5) barrière à diffusion de l'oxygène, déposée au- dessus du niveau de métallisation (2); ~ un empilement (6) de plusieurs couches d'oxydes différents, chaque couche présentant une épaisseur inférieure à 100 nanomètres, l'empilement étant déposé au-dessus de la première couche barrière (5); ~ une seconde couche (7) barrière à la diffusion de l'oxygène déposée au- dessus de l'empilement (6) des couches d'oxydes; ~ une électrode métallique (20) présente au-dessus de la seconde couche barrière (7).